Способ измерения светочувствительности фоторезистов

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

379998

Сова Советских

Социалистических

Республик

И ABTOPCKOhAY CBHPKTEllbCTBhf

Зависимое от авт. свидетельства K —

Заявлено 30.Ч11.1070 (№ 1464660/28-12) с присоединением заявки М—

Приоритет—

Опубликовано 20.IV.1973. Бюллетень Ме 20

Дата опубликования описания 28.Ч111.1973

М.1 л. G 03Ь 27/76

Комитет Jio делам иаобретеиий и открытий при Совете Миниотров

СССР

УДК 541 147(088.8) Автор изобретения

Л. А. Алатырцев

Заявитель

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ

ФОТОР ЕЗ ИСТО В

Предмет изобретен ня

Изобретение относится к копировальным процессам в полиграфическом, радиотехническом илн другом производстве, использующем органические светочувствительные слои.

Известен способ измерения светочувствительностп, заключающийся в измерении фототока в фотоприемнике, установленном за испытуемым материалом.

Цель изобретения — упростить процесс измерения, повысить точность и качество копий, которые во многом зависят от качества фоторезистов.

Это достигается тем, что измерение светочувствительности производится в тех же условиях, что н копирование.

Способ IH3!M Bp e HIHH ове точу в стви тел ьн Ости фоторезнстов осуществляется следующим образом.

На кварцевую подложку наносится слой органического светочувствительного материала, например нафтохинондиазида. Очувствленную пластину освещают ртутной лампой с одной стороны, а с другой стороны пластины помещают светофильтр, пропускающий только ту часть спектра, в которой происходит изменение поглощения в светочувствительном слое, За светофильтром располагают фотоэлемент, который подключают к усилителю и самописцу для регистрации сигнала.

Прн экспонировании свет проходит через кварцевую пластину с нанесенным на него светочувствительным слоем. Светофильтр попадает на фотоэлемент, ток которого, изменяющийся соответственно изменению поглощения светочувствительного слоя, регистрируется самописцем. По кривой, вычерченной самописцем, оиределяют интервал временен, в течение которого происходило изменение поглощеJQ пня света в выбранном участке спектра.

Подбор светофильтра осуществляют таким образом, чтобы он имел полосу пропусканпя, находящуюся в характеристнческои полосе поглощения испытуемого материала.

Способ измерения светочувствнтельности

20 фоторезпстов путем нх экспонирования н определения фототока, ьозникающего в фотоэлементе, расположенном за фоторезистом, отличаюи1ийся тем, что, с целью упрощения процесса измерения и повышения точности

26 изготовления, между слоем светочувствительного материала фоторезнста и фотоэлементом располагают светофильтр, пропускающий лучи в характеристической полосе поглощения испытуемого материала.