Способ получения магнитотвердого рабочего слоя магнитоносителя

 

386428

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЬ.ПЬСТВУ

Союз Соеетскил

Саииалистическил республик

Зав исимое от авт. свидетельства №вЂ”

M. Кл. G lib 5/70

Заявлено 05ЛП.1971 (№ 1637114/18-10) с грисоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Комитет по 1елам изоеретеиий и открытий ори Совете Мииистров

СССР

Опубликовано 14.V1.1973. Бюллетень № 26 УДК 534.852(088.8) Дата опубликования описания 17.IX.1973

1

Авторы изобретения Б. М. Раков, Ф. М. Назаров, Г. Н. Самойлов, А, Ф. Безъязыков, 10. Г. Кирьянов, Е. П. Белов, И. С. Толмасский, М. В. Соболевский, 1О. В. Разоренов и В. П. Гераськов

Заявитель

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МАГНИТОТВЕРДОГО РАБОЧЕГО

СЛОЯ МАГНИТОНОСИГЕЛЯ

Со (СО),NO Co + 3CO+ NO (1)

Со.(CO,) ХО-+-2СоО + 6CO + N, (2) Изобретение отнасится к области приборостроен ия, в частности к технологии изготовления носителей магнитной записи информации.

Известны способы получения магнитотвердого рабочего слоя магнитоносителя электролитическим или химическим осаждением металлов.

Технология известных способов сложна и не позволяет получить достаточно равн омерные по толщине и однородн ые по физическим и магнитным свойствам слои, что ограничивает использование носителей с таким покрытием для записи дискретной информации с высокой плотностью.

С целью получения магнитотвердого рабочего слоя мапнитоносителя с достаточяо высокой однородностью рабочего слоя по магнитным свойствам, позволяющей обеспечить высокую плотность записи информации, по предлагаемому способу магнитный металлический слой наносят на предварительно нагретую поверхность изделия путем парофазного термического разложения легколетучи х металлоорганических соединений, например паров карбонилн итрозила кобальта, в герметичной камере с последующей термической обработкой изделия в востановительной среде, Процесс термического разложения паров карбон илнитрозила кобальта ведут на подложке, нагретой до температуры 100 — 500 С, в при остаточном давлении в камере покрытия 1 ° 10 — мм рт. ст. до 10 мм рт. ст., кроме того указанный процесс ведут при атмосферном давлении в токе несущего газа при пар5 циальном давлении паров карбонилнитрозила

0,1 — 10 мм рт. ст. на нагретой подложке.

Карбонилнитрозил кобальта, находящийся в герметичной емкости испаряется и его пары собираются в и спарителе, откуда с постоян10 ной скоростью н аправляются в камеру покрытия, в которой находится предварительно очищенная и нагретая подложечка. Пары карбонилнитрозила кобальта, попадая на нагретую подложку, разлагаются с осаждением ме15 таллического покрытия и выделением в газовую фазу продуктов реакции, которые непрерывно удаляются вакуумным насосом.

В процессе термического разложения карбонилнитрозила участвуют следующие реак20 ции:

Реакции (1) и (2) проходят одновременно, однако преимущественно протекает реакция (2), поэтому полученное покрытие, в основ30 ном состоит из окиси кобальта.

386428

Составитель T. Иванова

Техред Л. Грачева

Корректор В. Брыксина

Редактор М. Макарова

Заказ 2443/15 Изд. № 1608 Тираж 576 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раугпская наб., д. 4,. 5

Типография, пр. Сапунова, 2

Получение покрытий ведут на подложке, нагретой до температуры 100 †5 С, и при остаточном давлении в камере покрытиями от

1 10 — мм рт. ст. до 10 мм рт. ст.

Процесс ведут при атмосферном давлении в токе несущего газа (инертного или восстановительного) с малым парциальн ым давлением (0,1 — 10 мм рт. ст.) паров карбонилнитрозила кобальта.

Полученные покрытия подвергаются термической обработке в восстановительной среде (водород, окись углерода и т. п.) при температуре 200 †5 С.

После проведения термического восстановления покрытия приобретают магнитные свойства.

Предмет изобретения

1. Способ получения магн итотвердого рабочего слоя магнитоносителя путем нанесения тонкого мапнитотвердого металлического слоя на поверхность очищенной подложки, отличиющийся тем, что, с целью повышения однородности рабочего слоя по магнитным свойствам, магнитный металлически и слой нанюсят

5 на предварительного нагретую поверхность изделия путем термического разложения паров карбонил нитрозила кобальта в герметичной камере с,последующей термической обработкой изделия в восстановительной среде.

10 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что процесс термического разложения паров карбонил нитрозила кобальта ведут на подложке, нагретой до температуры 100 — 500 С, и при остаточном давлении в камере покрытия

15 1 10 — мм рт. ст, до 10 мм рт. ст.

3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что процесс термического разложения паров карбонилнитрозила кобальта ведут при атмосферном давлении в токе несущего газа при

20 парциальнюм давлении паров карбониднитрозила 0,1 — i10 мм рт. ст. на нагретой подложке.