Сверхвысоковакуумная установка

 

39I286

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 15.11.1971 (№ 1619991/24-6) с присоединением зая в ки. №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 25.Ч11,1973. Бюллетень № 31

Дата опубликования описания З.XII.1973

М. Кл. Г 04b 37/08

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

УДК 621.527.8,088.8) 1 I

1 И "i "- Щ".спщ

Ф. М. Бабенко, А. 1 .. Янов, H. H. Багров и 1О. К. Кост :=- <110 =

Авторы изобретения

Заявитель Физико-технический институт низких температур АН Украинской ССР

СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА

Изобретение касается вакуумной техники, в частности сверхвысоковакуумных установок, в которых неконденсируемые газы откачивают установленными в рабочем объеме криосорбционными насосами, охлаждаемыми жидким или газообразным гелием.

Известны сверхвысоковакуумные установки, содержащие герметичный корпус, внутри которого расположена теплоизолированная охлаждаемая камера, снабженная в рабочем объеме криосорбционным насосом.

Однако при разгерметизации камеры атмосферы воздействует на сорбент.

Целью изобретения является предотвращение воздействия атмосферы на сорбент разгерметизации рабочего объема установки.

Для этого криосорбционный насос помещен под кожух и для сообщения насоса с рабочим объемом камеры в кожухе выполнено отвер стие, перекрываемое отсечным клапаном при разгерметизации камеры.

Для снижения теплового потока к криосорбпионно..|у насосу кожух снабжен змеевиком дл," циркуляции хладагента, и на входе в отверстие кожуха установлен оптически непрозрачный экран жалюзийного типа.

На чертеже показана описываемая сверхвысокова куумная установка.

В герметичном корпусе 1 расположена охлаждасмая камера 2 с крионасосом 8 и радиационным экраном 4. В рабочем объеме охлаждаемой камеры установлены криосорбцпонный насос 5, расположенный под кожухом 6 с отверстием, перекрываемым отсечным клапаном 7. Кожух герметично соединен с днищем 8 охлаждаемой камеры. С наружной стороны кожуха навит змеевик 9. Отверстие в кожухе защищено экраном 10 жалюзийного типа.

Герметичный корпус 1 соединяется клапаном 11 с насосами предварительного разрежения, рабочий объем камеры 2 при откачке его этими насосами сообщается с межкамерным пространством посредством клапана 12.

15 Клапан 7 используют также и для перекрытия входа откачного тракта 18, используемого при регенерации криосорбционного насоса 5.

Камера 2 оборудована манометром 14 и датчиком массспсктрометра 15, а криосорбцион20 ный насос 5 оснащен нагревателем 16 для высокотемпературной регенерации сорбснта.

Активация сорбента осуществляется через клапан 17.

В процессе активации отверстие на кожу2S хс 6 перекрывается клапаном 7, а откачка камер 1 и 2 насосами предварительного разрежения ведется через клапан 11 (клапан 12 при этом открыт). При давлении в рабочем объеме - 10 †" тор камера 2 отсекается от

30 межкамерпого объема клапаном 12. Клапан 7

391286

Составитель Н. Юшин

Редактор Е. Кравцова

Техред Л. Богданова

Корректор Л. Царькова

Типография, пр. Сапунова, устанавливается в среднее положение, и рабочий объем камеры 2 соединяется с насосами предварительного разрежения клапаном 17.

При температуре стенок камеры 2, радиационного экрана 4 и кожуха 6-80 К конденсируемые газы в рабочем объеме откачиваются крионасосом 8, охлаждаемым холодным газообразным гелием до температуры (20 К, а неконденсируемые газы, — например, диффузионным насосом.

При давлении 10 †о 10 †" тор криосорбционный насос охлаждается до температуры

<20 К, клапан 7 устанавливается в нижнее положение и перекрывает вход откачного тракта 18.

Дальнейшее снижение давления в рабочем объеме осуществляется крионасосом 8 и криосорбционным насосом 5.

Перед разгерметизацией рабочего объема отверстие кожуха перекрывается клапаном 7, что исключает воздействие атмосферы на криосорбционный насос 5. В результате при последующем вакуумировании рабочего объема процесс активации сорбента насосом предварительного разрежения может быть осуществлен в период подготовки к следующему эксперименту.

Предмет изобретения

1. Сверхвысоковакуумная установка, содержащая герметичный корпус, внутри которого расположена теплоизолированная охлаждаемая камера с криосорбционным насосом в рабочем объеме, отличающаяся тем, что, с целью предотвращения воздействия атмосферы на сорбент при разгерметизации ка10 меры, криосорбционный насос заключен в кожух, герметично соединенный со стенкой, например днищем, охлаждаемой камеры и выполненный с отверстием, перекрываемым отсечным клапаном при разгерметизации каме15 ры.

2. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что к криосорбционному насосу подключен трубопровод для отвода газа из кожуха в процессе регенерации сорбента, а всасывающее

20 отверстие трубопровода размещено на одной оси с отверстием в кожухе насоса и в период работы перекрыто отсчетным клапаном.

3. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что, с целью снижения теплового потока к

25 криосорбционному насосу, кожух снабжен змеевиком для циркуляции хладагента и на входе в отверстие кожуха установлен оптически непрозрачный экран жалюзийного типа.

Заказ 3211, 1О Изд. М 841 Тираж 678

Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 1(-35, Раушская наб., д. 4j5