Столик объектов электронного микроскопа

 

-399935

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 14.V.1971 (№ 1659707/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 03.Х.1973. Бюллетень ¹ 39

Дата опубликования описания 7.11,1974

М. Кл. Н Olj 37/26

Государственный комитет

Совета Министров СССР но делам изааретений и открытий

УДК 621.385,833 (088.8) Автор изобретения

П. А. Стоянов

Заявитель

СТОЛИК ОБЪЕКТОВ

ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА

Изобретение относится к электронной оптике, а именно к конструкции столика объектов электронного микроскопа.

Известны конструкции столика объектов, в которых термический дрейф устранен расположением держателя объектов относительно рычагов перемещения объекта.

Однако механические напряжения, которые остаются в элементах устройства столика объектов, могут вызвать дрейф столика.

Целью изобретения является .повышение механической и тепловой устойчивости электронного микроскопа.

Для этого между каждым толкателем и кареткой расположен пьезоэлемент, а устройство возврата выполнено в виде неподви>кно закрепленного соленоида, подвижный сердечник которого гибким элементом механически связан с кареткой, причем обкладки пьезоэлементов и обмотки соленоида подключены к регулируемому устройству.

На чертеже приведена схема конструкции столика объектов.

Столик объектов электронного микроскопа содержит каретку 1, на которой закреплен патрон 2 с объектом 3. Между толкателями 4 и 5 и кареткой 1 расположены пьезоэлементы

6 и 7, закрепленные на каретке или на толкателях 4 и 5. Пьезоэлементы 6 и 7 могут быть расположены и в других местах, например между толкателями 4 и 5 и роликами 8 и 9, Зазор между кареткой и толкателем регулируют винтом 10. К обкладкам пьезоэлементов

6 и 7 подается напряжение от источников ll

5 и 12. Каретка при помощи гибкой связи 13 (шарниров, нити, цепочки и т. д.) связана с подвижным сердечником 14, который втягивается в соленоид 15 магнитным полем, создаваемым током, протекающим по обмотке 16

10 соленоида.

Дл я усиления поля в соленоиде может быть закреплен неподвижный сердечник 17. Питание соленоида производится от источника 18.

Величину тока регулируют от нуля до нско15 торого максимального значения. Источники 11, 12, 18 входят в состав регулирующего устройства.

Для отделения каретки 1 от остальных элементов механизма необходимо уменьшать ток

20 в соленоиде и напряжение на обкладках пьезоэлементов до нуля. То и другое изменяют одновременно, причем законы их изменения подбирают при визуальном наблюдении изоб ражения на конечном экране электронного

25 микроскопа так, чтобы оно не смещалось. После достижения нулевых значений тока и напряжений возникнут зазоры между кареткой и толкателями 4 и 5, а так жс имеется зазор между подвижным сердечником и остальными

30 частями закрепленного солсноида.

399935

Предмет изобретения

15 1b

1 Е Ф 8

Составитель И. Ратенберг

Редактор Л. Зиньковский Техред Л. Богданова Корректор В. Брыксинй

Заказ !89/!4 Изд. № 50 Тираж 780 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Столик объектов электронного микроскопа, содержащий каретку с гнездом для посадки патрона с объектом, механизм перемещения каретки в двух взаимно перпендикулярных направлениях с толкателями и устройством возврата, отличающийся тем, что, с целью повышения механической и тепловой устойчивости электронного микроскопа, в нем, например, между каждым толкателем и кареткой располо>ксн пьезоэлемент, а устройство возврата выполнено в виде неподвижно закрепленного соленоида, подви>кный сердечник которого гибким элементом механически связан с кареткой, причем обкладки пьезоэлементов и обмотки соленоида подключены к регулирующему устройству.

Столик объектов электронного микроскопа Столик объектов электронного микроскопа 

 

Похожие патенты:

Ан ссср // 377922

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим транспортировку и установку зондов и образцов в позиции измерения и функционального воздействия

Изобретение относится к ядерной технике, в частности к исследованию материалов, подвергающихся воздействию радиации

Изобретение относится к способам получения изображений в растровой электронной микроскопии

Изобретение относится к сканирующей туннельной спектроскопии и может быть использовано в зондовых микроскопах и приборах на их основе

Изобретение относится к области научного приборостроения и может быть использовано при выпуске просвечивающих электронных микроскопов

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию и предназначено для замкнутого цикла производства новых изделий наноэлектроники

Изобретение относится к микробиологии и может применяться при профилактике инфекционных болезней

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для проведения операций по перемещению объектов внутри вакуумных систем
Наверх