Патент ссср 410138

Авторы патента:

C23C14/56 - устройства, специально приспособленные для непрерывного процесса покрытия; приспособления для поддержания вакуума, например вакуумные затворы

Союз Советских

Социалистических

Республик

g 3Q5P ETE HI A Q

Зависимое от авт. свидетельства

М. Кл. С 23с 13f0,8

Заявлено 22.11.1972 (№ 1750632/22-1) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 05.1,1974, Бюлле-e:iü ¹ 1

Дата опубликования описания 24.1Ъ".1974

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР оо делам иэооретений и открытий

УДК 621.793.14.002.52. (08,8.8) Авторы изобретения В. Л. Троицкий, В. Г, Соколов, А. Г. Винокуров и В. Г. Пахмутов

Заявитель

УСТPOACTBO ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Предмет изобретения

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано для металлургии деталей и получения тонких пленок, широко используемых в микроэлектронике.

Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее рабочую камеру, вход и выход которой через шлюзовые камеры соединены с атмссферой, причем на входы крайних шлюзовых камер установлены электромагнитные клапаны для впуска воздуха.

Недостатком известного устройства является то, что крайние шлюзовые камеры соединяются с атмосферой через электромагнитные .клапаны и в камеру попадает загрязненный воздух и влага.

Кроме того, крайние шлюзовые камеры соединяются с атмосферой через небольшие отверстия, в связи с чем воздух врывается в камеры с большой скоростью, образует там завихрение и срывает со стенок, камеры пыль.

Цель изобретения вЂ” повышение качества покрытий.

Поставленная цель достигается тем, что электромагнитные клапаны соединены с атмосферой госредством фильтрующих камер. а между электромагнитными клапанами и крайними шлюзовыми камерами смонтированы расширительные камеры.

На чертеже представлена конструкция предлагаемого устройства.

Устройство состоит из рабочей камеры 1 и шлюзовых камер 2 вЂ” 5. На входы крайних

5 шлюзовых камер 2 и 5 установлены электромагнитные клапаны 6 и 7, которые соединены с атмосферой посредством фильтрующих камер 8 и 9. Между электромагнитными клапанами 6 и 7 и крайними шлюзовыми камерами 2 li 5 смонтированы расширительные камеры 10. Камера 2 работает следующим образом. По команде от пульта срабатывает электромагнитный клапан 6. Воздух проходит через фильтрующую камеру 8 по трубопрово15 ду 11 через входное отверстие 12 в расшири ельну:о камеру 10, и спокойным потоком р а стека ется п о ка мере 2.

После выравнивания давления до атмосферного открывают крышку входного люка

20 3 и следующая заготовка входит в шлюзовую камеру 2.

Шлюзовая камера 5 в конце линии работает аналогично.

Устройство для нанесения покрытий в ва кууме, содержащее рабочую камеру, вход и выход которой через шлюзовые камеры со30 единены с атмосферой, причем на входы край410138

Составитель Л. Анисимова

Техред 3; Тараненко

Корректор Н: Аук

Редактор Е. Левина

Заказ 1017(13 Изд. ¹ 366 Тираж 875 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делаъв.изобретений и открытий

Москва, Ж,-35; 1Раушская наб, д 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 них,шлюзовых камер установлены электромагнитные клапаны, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий, электромагнитные клапаны соединены с атмосферой посредством фильтрующих камер, а между электромагнитными клапанами и крайними шлюзовыми камерами смонтированы расширительные камеры.

Устройство для обработки изделий в вакууме // 405974

Устройство для катодного распыления материалов // 405215

Устройство для перемотки рулонных материалов при нанесении покрытий в вакууме // 391884

Патент 390202 // 390202

Г // 389174

Способ получения металлической фольги // 378559

Всесоюзная•1-^ // 368350

Устройство для нанесения покрытий в bakvvme // 364689

Иблиотена i // 357276

Способ импульсно-периодической ионной и плазменной обработки изделия и устройство для его осуществления // 2113538

Система для обработки полупроводникового изделия (варианты), встроенный геттерный насос и способ обработки полупроводникового изделия // 2125619

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия

Приспособление для использования в установке для нанесения на детали покрытий, приспособление модульного типа, установка для нанесения покрытий на детали и способ нанесения покрытий // 2161075

Установка для нанесения покрытий на ленту // 2167955

Изобретение относится к области нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Способ получения многослойной ленты и устройство для его осуществления // 2180365

Изобретение относится к технологии вакуумно-дуговой обработки металлов, в частности к производству многослойных лент

Способ получения прозрачной электропроводящей пленки на основе оксидов индия и олова // 2181389

Изобретение относится к изготовлению приборов оптоэлектроники и может быть использовано при изготовлении дисплеев, светоизлучающих диодов и затворов полупроводниковых структур типа металл-диэлектрик-полупроводник

Способ получения бериллиевой и бериллийсодержащей фольги и устройство для его осуществления // 2194087

Изобретение относится к области изготовления самонесущих тонких пленок, в частности, к способам и устройствам для получения бериллиевой и бериллийсодержащей фольги, используемых для окон при регистрации низкоэнергетических излучений, и может найти применение в прикладной физике, машиностроении, при обработке металлов и в других отраслях промышленности

Устройство для загрузки и/или выгрузки емкостей // 2198835

Изобретение относится к промышленному транспорту, в частности к устройству для непрерывной загрузки емкостей, например пластиковых бутылок

Установка для нанесения покрытий на широкую ленту // 2203979

Изобретение относится к области нанесения покрытий и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Геттерная система для очистки газовой рабочей атмосферы в процессах физического осаждения из паровой фазы // 2211882

Изобретение относится к геттерной системе для очистки газовой рабочей атмосферы в процессах физического осаждения из паровой фазы