Источник вакуумного ультрафиолетового излученияе";-д

Авторы патента:

G01J3/10 - источники света, специально предназначенные для спектрометрии или колориметрии

<1432350

Союз Советских

Социалистических

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Республик (G1) Зависимое от авт. свидетельствавЂ” (22) Заявлено 12.07.71 (21) 1681862/26-25

{5l ) Ë1. Хл. О 0 II 3/I O с присоединением заявки №вЂ”

Государственный комитет

Совета Министров СССР (32) ПриоритетвЂ”

Опубликовано 15.06.74. Вюллетень «¹ 22

Дата опубликования описания 30.0б.75 (53) УДК 537.5 (088.8) по делам изобретений и открытий (72) Автор изобретения

В. П. Стрельников

Физико-технический институт низких температур (71) Заявитель (54) ИСТОЧНИК ВАКУУМНОГО

УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ тролпрустся мановакууммстром б. Включается электронная пушка 3 и электронным пучком возбуждает струю.

С помощью криогенного насоса вакуум в камере 1 поддерживается достаточно высоким. Центральная область струи проходит через отверстие в крпогенном насосе и попадает в камеру 5, давление в которой благодаря спо "îáíîñòè сверхзвуковой струи газа выдерживать определенное противодавление повышается по сравнению с давлением в»ервой камере на несколько порядков н поддерживается обычным откачным устройством.

Излучение источника выводится через отверстие в ка.;1срс 1, pac»oëo>êñííîå перпендикулярно осп электронного пучка.

Источник вакуумного ультрафиолетового излучения, вкл1очающпй вакуумную камеру с соплом Лаваля, электронную пушку и криогенньш насос, отличаюи1айся тем, что, с целью увеличения срока непрерывной работы и сни25 женпя расхода хладагента, он содержит вторую камеру с откачнымп средствамн, соединенную с первой отверстием в криогенном насосе, расположенным соосно с соплом.

Изобретение относится к источникам излучения в области вакуумного ультрафиолета.

Известны газоструйные источники вакуумного ультрафиолетового излучения периодического действия, в которых рабочий газ струи откачпвается криогенным насосом, расположенным на пути струи.

Предлагаемое устройство позволяет увеличить срок непрерывной работы и снизить расход хладагента. Достигается это тем, что устройство содержит вторую камеру с обычными откачнымн средствами, соединенную с первой отверстием в криогенном насосе, расположенным соосно с соплом.

На чертеже представлена схема описываемого прибора.

Оп состоит из вакуумной камеры 1, сопла

Лаваля 2, электронной пушки 3, криогенного насоса 4, вакуумной камеры 5, мановакуумметра б и вентиля 7.

Прибор работает следующим образом, Вакуумные камеры 1 и 5 откачиваются насосами. Криогенный насос 1 охлаждает до температуры, при которой рабочий газ струи конденсируется и имеет достаточно низкую упругость паров. Вентиль 7 подает рабочий газ в сопло Лаваля. Режим истечения конПредмет изобретения

432350

Составитель В. Во цанкии

Текред 3. Тараненко

Редактор 6. Ианкина

Корректор И. Симкина

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент»

Заказ 369/751 Изд, № 1719 Тираж 760 Подписное

ПНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Я-35, Раушская наб., д. 4/5

Источник вакуумного ультрафиолетового излученияе;-д

Похожие патенты:

Патент 428228 // 428228

Генератор возбуждения искрового разрядадля спектралбного анализа // 428227

Устройство для формирования дугового разряда // 424022

Патент 421887 // 421887

Патент 414655 // 414655

Патент 414654 // 414654

Способ автоматического регулирования интенсивности спектрального источника света // 408160

Безэлектродная высокочастотная спектральная // 396753

Спектральная газоразрядная лампа // 396092

Гдропубликованно 27. vii. 1973 бюллетень № 32 дата опубликования описания 14. xi. 1973м. кл. g 01j 3/02g 01п 21/58удк 543.422.5(088.8) // 392361

Осветитель спектрофотометры // 2100784

Способ возбуждения спектра // 2107267

Изобретение относится к эмиссионному спектральному анализу и может быть применено при количественном спектральном анализе химического состава вещества

Импульсный уф-излучатель // 2113695

Изобретение относится к импульсным широкополосным источникам некогерентного оптического излучения высокой пиковой мощности и может быть использовано для проведения научно-исследовательских работ, в микроэлектронике, в медицине и других областях

Устройство подачи порошковых проб для спектрального анализа // 2133016

Изобретение относится к спектральному анализу, в частности к распылителям порошковых проб, направляемых в источник возбуждения спектра и может быть использовано для спектрального анализа проб ограниченной навески, например, при озолении биологических объектов или в минералогии

Интегральный тепловой элемент // 2141649

Изобретение относится к области микроэлектронных и микромеханических устройств и может быть использовано в качестве нагревателя интегрального полупроводникового газового датчика, инфракрасного излучателя адсорбционного оптического газоанализатора, активатора печатающей головки струйного принтера

Устройство для спектрального анализа электропроводных материалов // 2175758

Изобретение относится к спектральному анализу и может быть использовано для проведения анализа электропроводных материалов без предварительной механической пробоподготовки

Источник света с регулируемой длиной волны для оксигемометра // 2199723

Изобретение относится к калибровке светодиодов и их использованию, в частности, в неинвазивных оксигемометрах

Генератор дугового разряда // 2224224

Изобретение относится к области спектрального приборостроения

Многолинейчатый спектральный источник излучения // 2256159

Изобретение относится к измерительной технике

Источник излучения для спектрофотометра // 2264604

Изобретение относится к устройствам, применяемым в спектрофотометрии в качестве излучателя на область спектра от 202 нм до 3500 нм, позволяющим получить интенсивный спектр излучения после монохроматора спектрофотометра