Способ изготовления массивного фотокатода
(11) 4345II5
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Сотоз Советник
Сощиалистимеских
Реса.рбпин (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 15.12.72 (21) 1862312/26-25 с присоединением заявки № (32) Приоритет
Опубликовано 30.06.74. Бюллетень ¹ 24
Дата опубликования описани; 12.11.74 (51) М. Кл. Н 01j 39/06
Государственный камнтет
Саввта Ииннстрав СССР аа делам изааретеннй и аткрытнй (53) УДК 621.383.29. .032.11 (088.8) (72) Авторы изобретения
Л. А. Щекина и Н. Н. Горчакова
Московский завод электровакуумных приборов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАССИВНОГО ФОТОКАТОДА
Предмет изобретения
Изобретение относится к электровакуумной технике, а именно к технологии изготовления фотоэлектронных приборов.
Известные способы изготовления массивных серебряно-кислородно-цезиевых фотокатодов, включающие операции химического нанесения серебра, его окисления и активации цезием, не обеспечивают получения высокой чувствительности, а порог фотоэффекта при этом ограничен длинами волн 1100 — 1200 нм. 10
Предлагаемый способ позволяет повысить чувствительность и сдвинуть спектральную характеристику фотокатода в длинноволновую область благодаря обработке перед активировкой цезием в парах калия. 15
Предлагаемый способ применительно к фотоэлементу заключается в следующем.
Серебро наносят химическим путем и окпсляют до сине-голубого цвета; окисленный слой обрабатывают в парах калия до достижения 20 максимума чувствительности фотокатода (температура обработки 10 — 200 С); ампулу с калием отпаивают и избытки калия отгоняют при 200 †2 С; при 190 †2 С производят активацию цезием до достижения черноватобархатного с переходом в коричневый цвет; при 200 — 230 С отгоняют избытки цезия, остывший фотокатод сенснбилпзируется до максимальной чувствительности в инфракрасной области спектра.
Экспериментальная проверка способа показала, что он обеспечивает получение интегральной чувствительности массивного фотокатода до 45 мка/лм, квантового выхода на
1100 мм до 0,16 " > и порога фотоэффекта до
1400 нм.
Способ изготовления массивного фотокатода, включающий нанесение химическим снособом серсбра на стеклянную подложку, окисление серебра и активацию в парах цезия, о тл и ч а ю щи и с я тем, что, с целью увеличения чувствительности фотокатода и сдвига спектральной характеристики в длинноволновую область, перед активацией в парах цезия производят обработку окисленного слоя серебра в парах калия.
