Стабилизатор расхода газа
<п 446876
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬ СТВУ
Союз Советских
Социалистических
Респеолии (61) Зависимое от авт. свидетельства
I (22) Заявлено 14.11.72 (21) 1846040/ 18-24 с присоединением заявки ¹ (32) Приоритет
Опубликовано 15.10.74. Бюллетень № 38
Дата опубликования описания 11.05.75 (51) М. Кл. G 05d 7/06
Государственный комитет
Совета ВЮинисюров СССР (53) УДК 621-543.64 (088.8) лв долам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения
В. И. Дроздов, Г, И. Ляпустин, 3. Ф. Трифонов, В. Т. Соколов и С. Н. Федоров (71) Заявитель (54) СТАБИЛИЗАТОР РАСХОДА ГАЗА
Изобретение может быть использовано для автоматической стабилизации газового потока в пределах от 30 до 80 л/час.
Для стабилизации потоков газа внастоящее время применяются поплавковые ротаметры.
Применение поплавковых ротаметров для стабилизации малых потоков газов принципиально невозможно, так как в этих ротаметрах на поплавок воздействуют одновременно сила движущейся среды и противоположно направленная сила электромагнитной связи системы датчика. При применении ротаметров этого типа для стабилизации потоков газа с малыми расходами (до 80 л/час) последняя сила значительно превосходит силу движущейся среды (газа), то есть, в данном случае поток газа не может переместить чувствительный элемент (поплавок).
Предлагаемый стабилизатор расхода газа позволяет устанавливать заданную величину расхода газа в пределах от 30 до 80 л/чс и автоматически поддерживать эту величину во времени с точностью + 0,3 л/час, Стабилизатор может быть использован в технологическом оборудовании, где необходимо стабилизировать газовый поток в указанных пределах, например в установках для эпитаксиального наращивания тонких слоев на полупроводящие подложки.
Стабилизатор расхода газа (см. чертеж) состоит из чувствительного элемента, содержащего свободно подвешенную заслонку 1, угол отклонения которой зависит от величины
5 потока газа, источника света 2, направляю щего световой луч на зеркальную поверхность заслонки, фотодатчиков 3, корпуса 4 с прозрачным кожухом 5, диафрагмы 6, исполнительного механизма 7, дросселя 8 и усилите10 ля 9.
В нерабочем положении заслонка 1 под
- собственным весом занимает вертикальное положение, при этом световой луч, проходя через диафрагму б, отражается от зеркал -15 ной поверхности заслонки 1 в направлснии источника света 2. При этом дроссель 8 полностью перекрывает канал. Фотодатчики 3 устанавливаются в направляющих корпуса 4 в положение, при котором световой луч, отра20 жаясь от заслонки и засвечивая средний из трех фотодатчиков, соответствовал бы определенной необходимой величине расхода газа, который в последующем нужно стабилизировать. Это положение фотодатчиков определяется при тарировке индикатора чувствительного элемента. Два крайних фотодатчика устанавливаются в зависимости от допустимой величины отклонения расхода газа от заданного. При отклонении расхода газа
З0 от заданного заслонка 1 отклоняется, и све446876
Предмет изобретения
5,3
Составитель А. Моторин
Техред М. Семенов
Корректор Л. Котова
Редактор Б. Нанкина
Заказ 1069!7 Изд. М 1213 Тираж 760 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретения и открытий
Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 товой поток засвечивает один из крайних фотодатчиков, сигнал с которого через усилитель 9 поступает на исполнительный механизм 7. В зависимости от знака рассогласования дроссель 8 увеличивается или уменьшается. Таким образом, проходной канал увеличивается или уменьшается, изменяя расход газа. При достижении заданного расхода заслонка 1 устанавливается в заданное положение, световой сигнал попадает на средний фотодатчик и исполнительный механизм останавливается.
Стабилизатор расхода газа, содержащий последовательно соединенные усилитель, исполнительный механизм, дроссель и чувствительный элемент, отличающийся тем, что, с целью увеличения точности работы стабилизатора, в пем на входе чувствительного элемента установлена свободно подвешенная заслонка, перед зеркальной поверхностью которой размещен источник света и фазодатчики, выходы которых подключены к усилителю.
