Микрофотонаборное устройство для изготовления фотошаблонов

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБ ЕтЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДВТИЛЬСУВУ

447664

Союз Советеммн

Социалмстмчесммн

Респубямк (б1) Зависимое от авт. свидетельства— (22) ЗаявленоЗОе 04 72 {21 777655/28-I (5l) М Кл.

4 038 2?/32 с присоединением заявки— тасударстаенный намнтет

@вета Мнннстраа СССР ае делам неабретеннй н атнрмтнй (З2) Приоритет (опубликовано 41 толлете 1 (53) УДК

655. 287(088. 8) (45) .Дата опубликования описанияЮИ:?

И.М.Глазков, d.À.3àÉöââ, В.И.Кужелев, Я.А.Райхман и изобретения Ан П. Свидельскии (71) Заявитель (54) МИКРОФОТОНАБОРНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

ФОТОШАБЛОНОВ

Изобретение относится к уст- I ройствам для изготовления фотошаблонов в микроэлектронном производство.

Известно иикрофотонаборное устройство для изготовления фотошаблонов, содержащее двухкоординатный стол с гнездом для крепления фотопластин, наборную диафрагму, проекционный обьектив, осветитель, датчик ориентации по штриховьтй знакам и систему управления, Однако при изготовлении сложных фотошаблонов больших интвграль- >5 ных схем при поиощи такого устройства требуется значительное время, а также затрудняется фотомонтажа так как отсутствует возможность точного выбора фрагментов с рисунка.

Предлагаемое микрофотонаборное устройство производительнее и надежнее в работе.

Для этого оно снабжено двумя каретками со стянлартныии фотошаб

2 (лонами и с датчиками перемещения и промежуточной оптической системой, смонтированной ыежду осветителем и проекционным объективом с вазможностью перемещения во взаимнойерпендикулярных направлениях, параллельно осям двухкоординатного стола. Причем каретки содержат приводы ориентации фотошаблонов, а датчик ориентации электрически связан с датчиками перемещения кареток, На фигД схематически изображено предлагаемое устройство; на фиг. 2- два растровых шаблойа кареток для группового ыикрофотонабора; на фиг.З вЂ” шаблон с фрагментами топологических рисунков и шаблон с выбирающим прямоугольным окном для фотомонтажа; на фиг,4шаблоны с круглыми отверстиями для экспонирования криволинейных фигур .

Устройство содержит точный автоматический двухкоорданатный стол I с гнездом для установки фото1пластины 2 и двв подвижные каретки

3 447664

Ф

3 и 4 со стандартными сменными шаб- гуры . Таким образом набираются лонами 5 расположенные между осве- групйы элементов и производится тителем 6 и проекционным объекти- гру.".повоИ микрофотонабор. вом и смонтированные с возможностью Для осуществления с отомонтаперемещения во взаимно перпендику- ь жа в каретку 3 помещается шаблон лярных направлениях параллельно с фрагментами топологических риосям стола. Сменный шаблон каретки суйков, à в каретку 4 - шаблон с

3 расположен в предметной плоскос- выбирающим прямоугольным окном ти проекционного объектива 7, а таких размеров, что оно ограничипромежуточная оптическая система . Io вает только одйн фрагмент.

8 приводит изображение сменного При необходи1лости впечатать иаблона каретки 4 в плоскость какой-либо фрагмент каретка 3 пешаблона каретки 3 так, что проек- ремещается так, что он оказываетционный об ектив создает на по- ся против столбца, в котором в верхности, отопластины 2 четкое >6 шаблоне каретки 3 имеется выбираюизображение обоих сменных шаоло- щее отверстие, каретка 4 переменов. Ка.сдан из подвижных кареток щается так, что отверстие совпа3,4 содержсит приво д 9 точных пе- дает со строкоИ, содержащеИ нужемещени : с датчиком перемещения ныИ фрагмент, двухкоординатны

О на ди-,па1сционнь1х решетках.и zo стол Тустанавливается в положение, приводы II ор

Для контроля базового поло- Для зкспонировангя прямых жения сменных шаблонов одного по линиИ под углом к осям движения отношению к другому и по отношению двухкоординатного стола и кривок оптической оси проекционного линейных фигур на каретке 3 и 4 объектива 7 и основанию двухкоор- помещаются шаблоны с набором кругдинатного стола прикреплен датчик зо лых отверстиИ, а сами каретки по

I2 взаимной ориентации с ленных командам вычислительноИ машины усшаблонов по нанесенным на них оа танавливаются так, что хорда пересечения двух соответствующих круглых отверстий располагается в наустро" Ство работа т Следую IIpag eHNN AN eHNH, a gegNqNHa с орределяет ширину вычерчиваемых ли.

При обычном одиночном микро- ний IlpN этом двухкоординатный, «отонаборе сменные шаблоны обеих стол перемещается по заданноИ кареток имеют по одной прямоуголь- траектории, ной или многоУгольной фигУре . Пе- 4о При вычерчиван. .и фигур с криремещением саретки 3 по одной ooN волинейными участками стол I и каи каретки 4 по друго :; выбирается ретки 3 и 4 выполняют согласованнужный размер наборного зле лента ные движения так, что положение а переме щением двухкоординатного стола в каждый момент времени опстола I относительно оптическоИ 45 ределяет траекторию вычерчивания оси пРоекционной системы Устанав- линиИ, а положения кареток 3 и 4 ливаетсЯ нУжный Участок фотоплас- обеспечивают расположение хорды тины и включением затвора или лам. пересечения двух соответствующих пы Вспышки п«роизводится экспониро- круглых ОтверстиИ под заданным вание . Всеми этими перемещениями ьо угло и. радиус соответствующих кругуправляет электронная вычислитель- лых отверстий, участвующих в вычерная машина в соответствии с :=ада чивании, определяет минимальныИ раваемой программой. диус закругления вычерчиваемоИ криПри изгоl oâëåíNN фотошабло- воИ, а также максимальную ширину нов больших интегральных схем в 55 лин„ и каретках 3 и " шаблоны с одино" Ориентация шаблонов по имеющимными фигурами заменяются на шабло н с ас рами много гольных < игур. ся на них штриховым знакам осуществПеремещен ями нарето1с каждой по "етс " дУющ- обРа.". Р движении кареток с иксируются моменты

™0 gD совпа„ения знаков о базовым положе и столбце " д " экспонируемого нием и по сигналам фотоэлектричесраста, а также размеры каждой фи- кого .датчика ориентации счетчики

5 +47664 датчиков пеРа«еЩенин каРеток сбРа- н, ;.. .вавтся в нуль, запо«иная тем са«ь;и я зовое йоло.::ение по осям nepe.!Gll",опия. (:рнентация по другим Щ

ОС ИЛ ПОРПЕНДИКУЛЯРИЕ. М К УГЛОВЫМ осуществл;ется по сигналам фотоэлектрического датчика привода«и ор : нтации, которых на каждой каретке по дза.

1о

ПРЕМ;1ЕТ ИБОБРЕТЕНИЯ

Г .икро.отонаборное устро ",.ство 15 для изготоBëeния . .отошаблонов, сс:7pr ;àl.tåe лвухкоор инатныИ стол с гнездом для :репления фотопластин, наборную лиа .рагму, проекцион20

6 !! объектив, осветитель, датчик р«ентации по штриховым знакам и !

are«у управления, О Т Л И Ч Л l0Е Е С Я тем, что, с цельа повыения производйтельйости, оно снабено дву,,!я каретками со стандартии: отошаблонами и с датчиками еремецения и про лежуточно".. оптическоИ системоИ, смонтировяпной .ле;;:гу каретка«и, которые установлены «ежду осветителем и проекционным объективом с во з«о:юностью пер с«ещения во в аи«но перпендикулярных направлениях, параллельно осям двухкоординатного стола, причем каратки солер:I àò приводы орие тации ботолаблонов, а датчик ориент аций электрически связан с датчиками перемещения кареток .