Установка для изготовления фотошаблонов

 

О П И С А Н И Е I»I42835I

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскил

-Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства— (22) Заявлено 07.02.72 (21) 1745191/18-10 с присоединением заявки М— (32) Приоритет—

Опубликовано 15.05.74. Бюллетень М 18

Дата опубликования описания 26Х3.75 (51) Ч. Кл. 6 03f 7/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изооретений и открытий (53) УДК 531.715.27 (088.8) (72) Авторы изобретенеия

С. А. Забузов, Д. В. Тигин и Г. К. Ульянов

Ленинградский институт авиационного приборостроения (71) Заявитель

Фйц 3ИРЖ (54) УСТАНОВКА ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

ФОТОШАБЛОНОВ

Изобретение относится к области приборостроения и может быть, применено в производстве ультразвуковых линии задержки дисперсионного и недисперсионного тлпов, а также полосовых фильтров на поверхностных волнах.

Известны интерференционные установки для изготовления фотошаблонов, содержащие оптический квантовый генератор, полупрозрачное зеркало, объектив опорного канала и сферическое вогнутое зеркало.

Предлагаемая установка отличается от известной тем, что во вспомогательном канале установлены совместно перемещающиеся в направлении, перпендикулярном оси опорного канала, плоское зеркало и объектив, при этом объектив установлен перемсща|ощимся в направлении, параллельном оси опорного канала.

Такое выполнение установки позволяет повысить точность изготовления фотошаблопов.

На чертеже изображена схема предлагаемой установки, включающей экран 1 для фотоп 13cTHFIIKH, четвертьволновую пластинку 2, полупрозрачное делительное зеркало 8, оптический квантовый генератор 4, плоское зеркало 5, объектив б опорного канала, объектив

7 вспомогательного канала, мимрометрический механизм 8, сферическое вогнутое зеркало 9.

Оптический квантовый генератор 4, может быть, например, типа ЛГ-36. Светоделптельное зеркало 8 служит для деления луча лазера на два пучка. С помощью зеркала 5 формируется вспомогательный пучок. Объективы б и 7 преобразуют параллельный пучок лучей от лазера в расходящийся. Сферическое зеркало 9 строит изображение на эгоране 1.

В плоскости экрана 1 крепят фотопластинку (на чертеже не показана). Луч света генератора 4 делится зеркалом 8 на два когерентных пучка: опорный и вспомогательный.

П 10ClKOE 3epK3;ID 5 II 00 hQKTIf3 7 уKpilлены

15 на микрометрическом механизме 8, который одновременно перемещает зеркало 5 и объектив 7 так, что вспомогательный пучок остается параллельным опорному. Кроме того, объект|ев 7 установлен с возможностью перемещения в направлении, параллельном оси опорного пучка. В задней фокальной плоскости сферического зеркала 9 опорный световой пучок формирует плоскую световую волну в пределах апертуры устройства. В зависимости от положения объектива 7 по отношению к передней фокальной плоскости зеркала 9 формируется световая волна со сферическим фронтом, кривизна которого и определяется положением объектива 7, наклон фронта по отношению к фронту плоской волны опреде428351

Предмет изобретения

Составитель В. Ванторин

Текред А. Камышникова

Корректор В. Гутман

Редактор И. Шубина

Заказ 66/387 Изд. № 1607 Тираж 506 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений н открытий

Москва, Я-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент» ляется положением плоского зеркала 5 относительно опорного светового пучка.

В результате интерференции плоской и сферической световых волн в задней фокальной .плоскости зеркала 9 формируется изображение с постоянной шириной, штрихов по .всей длине преобразователя.

Смещением плоского зеркала 5 и объектива 7 можно плавно в широких пределах изменять ширину штрихов, а следовательно, пара- 10 метры изготавливаемых фотошаблоно в. Повторная засветка фотошаблона при введении в опорный пучок четвертьволновой пластинки при соответствующем диафрагмировании фотопластинки и правильном выборе режимов 15 обработки фотоматериалов позволяет получить фотошаблоны для многоэлементных преобразователей двухфазного типа.

Таким образом, в предлагаемой установке осуществлена воз можность плавного измене- 20 ния угла наклона вспомогательного пучка по отношению к опорному и кривизны его волнового фронта, что позволяет .изготовлять фотошаблоны для дисперсионных устройств на ультразвуковых поверхностных волнах (УПВ) 25 на различные параметры. Изображение фотошабло на представляет собой чередующиеся темные и светлые полосы параллельные друг другу, п ричем,расстояние между штрихами изменяется по ивадратичному закону, это 30 соответствует линейному изменению времени групповой задержки в зависимости от частоты подаваемого сигнала в дисперсионных устройствах на УПВ. Изображение неэквидистантного решетчатого преобразователя получается сразу целиком, причем относительная ширина штриха, т. е. отношение ширины штриха к промежутку, оказывается постоянной по всей длине преобразователя, что является одним из основных требований, предьявляемых к фотошаблонам для дисперсионных устройств на УПВ.

Установка для изготовления фотошаблонов, содержащая оптический кванто1вый генератор, полупрозрачное зеркало, установленное на общей оси опорного и вспомогательного каналов, объектив опорного канала и сферическое вогнутое зеркало, отличающаяся твм, что, с целью повышения точности изготовления фотошаблонов, во вспомогательном канале установлены совместно перемещающиеся в направлении, перпендикулярном оси опорного канала,.плоское зеркало и объектив, при этом объектив установлен пе ремегцающимся в направлении, параллельном оси опорного канала.