Высоковакуумный шибер
Союз Советских
Социалистических
Реслублик
Qll ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (11) 450920 (61) Зависимое.от авт. свидетельства(22) Заявлено 02.03. 73(21)Х888234/25-8 (51) M- K .
РХ6а 3/фО
Государственный ноиитет
Соаатв Министров СССР вв делам изобретений и открытий с присоединением заявки(32) Приоритет»
Опубликовано25,ХХ74 Бюллетень № 43
Дата опубликования описания П). Х2 74 (5З) УДК 621.646 (088.8) (72) Авторы изобретения М с АИИС8ВдрОВев еВеК.ЛИЛЬЕ И Б.7.ЛЬВОВ (71) Заявитель
МоскоВский институт электронного машиностроения (54) ВЫСОЮВАКУ МНЫЙ ШИБЕР
Изобретение относится к ваку= умной технике.
Известные высоковакуумныв шиберы, содержащие внутри корпуса с седлом подвижную в осевом направле 5 нии герметизированную сильфонами ,запорную втулку и перемещаемую пер. пвндикулярно потоку при помощи привода шиберную заслонку, контактиру. ющую в крайнем закрытом положении ю с втулкои и седлом, не обеспечивают равномерности распределения запирающего усилия по периметру седлае
Цель изобретения — повышение 16 надежности шибера за счет обеспече-. ния равномерности распределения запирающего усилия по периметру седла, Для этого привод запорной втулки выполнен в виде аксиально 20 расположенных, взаимодействующих друг с другом шестерни с кулачковой профильной торцовой поверхностью, контактирующей с корпусом че рез радиально-упорный подшипник, al m
2 жестко соединвйного с запорнои втулкой. диска, подпружиненного с одной стороны пакетом тарельчатых пружин и контактирующего другой стороной при помощи роликов с торцом шестерни.
На чертеже показана конструктивная схема предлагаемого высоковакуумного шибера.
Бибер содержит внутри корпуса
Х с седлом 2 подвижную в осевом направлении гермвтизированную сильфонами запорную втулку 3 и перемещаемую перпендикулярно потоку при помощи привода шиберную заслонку 4, контактирующую в крайнем закрытом положении с втулкой и седлом.
Привод запорной втулки выполнен в виде аксиально расположенных и взаимодействующих друг с другом шестерни 5 с кулачковой профильнЫ торцовой поверхностью, контактиру.ющей с корпусом через радиально- . упорный подшипник 6 и жеотко сое(диненного с запорной втулкой диска
4
7, подпружиненного с одной сторонц пакетом тарельчатых пружин 8 и контактирующего другой стороноИ при помощи роликов Э с торцом шестерни.
Для открытия шибера приводит ся во вращение шестерня 5, переме щающая кулачковый профильйой поверхностью диск и запорную втулку влево (см. чертеж).
Шиберная заслонка перемещает-. ся с помощью привода (на чертеже не показан).
Для закрытия шибера указанные операции выполняются в обратной последовательности и в-дополнение к ним, через штуцер 10 проводится вакуумирование замкнутой полости И.
ПРЕДМЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Высоковакуумный шибер, содержащий внутри корпуса с седлом подвижную в осевом направлении герметизированную сильфойами запорную втулку и перемещаемую перпендикулярно потоку при помощи привода ши берную заслонку, контактирующую в крайнем закрытом положении с втул.коИ и седлом, о т л и ч а ю щ и И с я тем, что, с целью повышения надежности за счет обеспечения рав:номерности распределения запирающего го усилия по периметру седла, привод запорноИ втулки выполнен в виде аксиально расположенных, взаимодействующих друг с другом шестерни с кулачковой профильной торцовой поверхностью, контактирующеИ с корпусом через. радиально-упорный подшипник, и жестко соединенного с запорной втулкой диска, подпружиненного с одной стороны пакетом тарель чатых пружин и контактирующего другой стороной при помощи роликов с торцом шестерни..
Составитель Я(КЯЯ3ЩЯ
Pe «>îð НКОЗЛОЗй Техред Н СОНЕН8 Корректоры: РКИСВДО)Щ
Заказ /,5,35О Изд. И Qg Тираж 8Й Поднисное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений н открытый
Москва, 1l3035, Раушская наб., 4
Предприятие «Патент», Москва, Г-59, Бережковская наб., 24
