Установка для бестигельной зонной плавки

 

Лс,е.-. м ен тле-зам

4g ет. МЬ о и и с - е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советскик

Социалистических

Республик (11) 452 9 86

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61} Дополнительное. к авт. свид-ву(22) ЗаЯвлено 060470 (2!) 1418601/22-01 с присоединением заявки 36COIgIyItIIIISl ВВПП

COINI 1INIlPOI COCA

II lINI OIOIIIVOIII о ата)аней (23) Приоритет(43) Опубликовано 05,1 1,77.Áþëëåòåíü 3641 (4S) Дата опубликования описания 221177

В. Ф. Белов, B. И.Добровольская, В.И. Кирьянов, М; И. Осовский, Д. Г. Ратников, О. В. Семенов и К.Н.Неймарк (72) Авторы изобретении

Pl) Заявитель (54) УСТАНОВКА ДЛЯ БЕСТИГЕЛЬНОЙ ЗОННОЙ ПЛАВКИ ет производить повторные проходы зо" ны, не разрывая расплавленную зону.

На чертеже изображена установка, общий вид. . Образец 1 из электропроводящего материала, подвергаемый эонной плавке, устанавливают в полости герметичной камеры 2 при помощи соосных вертикальных штоков 3 и 4. Затравка 5 крепится,в нижнем зажиме 6, соединенном со штоком 4 фрикционно. Хвостовик 7 образца крепится в зажиме 8, имеющем горизонтальные штыри 9, соединение между зажимом 8 и штоком 3 осуществляется введением штырей 9 в

Г-образные прорези 10 на конце штока 3. Расплавленную зону создают индуктором 11, укрепленном на вертикальном коаксиальном токовводе 12, внутренний диаметр которого меньше диаметра образца.

По окончании прохода зоны снизу вверх индуктор поднимают выше зажима 8, верхний шток поворачивают до становления штырей заасима 8 против вертикальных участков прорезей и поднимают на расстояние, необходимое для отвода индуктора вбок н вниз. Затем соединяют зажим 8 со штоком и подни мают верхний шток с зажимом 8, образИзобретение может быть использовано в области выращивания монокрнсталлов полупроводников бестигельной зонной плавкой.

Известна установка для бестигельной зонной плавки злектропроводящих материалов с индукционным нагревом зоны при помощи неразъемного индуктора с произвольным количеством витков, имеющего внутренний диаметр меньше : . .1О диаметра подвергаемого зонной плавке образца. Установка включает герметичную камеру, в полости которой между вертикальными штоками, снабженными на концах зажимами, укреплен образец.

Индуктор укреплен на вертикальном коаксиальном токовводе, снабженном приводами для перемещения его по вертикали и смещения индуктора в горизонтальной плоскости. Для смещения индуктора я0 в горизонтальной плоскости при повторных проходах необходимо создать и разорвать расплавленную зону. В предлагаемой установке нижний зажим присоединен к штоку при помощи фрикцион- э5 ного конусного соединения, а верхний зажим присоединен к штоку с помощьюприкрепленных к зажиму горизонтальных штырей, входящих в Г-образные (прорези на конце штока. Это позволя- 3) (61) N. Кл. В 01 J 17/10 (83) УДК 669.054-172.002.

° 5 (088.8) 45298á

Формула изобретения цом и нижним зажимом б для возвращения индуктора в исходное положение.

После этого производят повторный проход. установка для бестигельной зонной плавки электропроводящих материалов с индукционным нагревом зоны, включающая герметичную камеру с введенными в ее полость вертикальными штоками, .снабженными на концах зажимами для крепления образца, укрепленный на вертикальном коаксиальном токовводе неразъемный индуктор с внутренним диаметром, меньшим диаметра образца, и произвольным количеством витков и привод возвратно-поступательного перемещения токоввода пс вертикали и смещения индуктора в горизонтальной плоскости, о т л и ч а ю щ а я о я тем, что, с целью исключения разрыва эоны при возврате индуктора в исходное положение, нижний зажим соединен со штоком при помощи Фрикционного койусного соединения, а верхний зажим присоединен к штоку посредством прикрепленных к зажиму горизонтальных штырей, входящих в Г-образные прорези на конце штока.

ИИПИ Заказ 4 24 7/4

Раж 947 Подписное

Филиал ППП Патент г. Ужгород, Ул. Проектная, 4