Абразивная суспензия

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

<п1 456822

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 25.12.70 (21) 1612774/25-8 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 15.01.75. Бюллетень № 2

Дата опубликования описания 20.02.75 (51) М. Кл. С 09g 1/02

Государственный комитет

Совета Министров СССР оо делам изобретений и открытий (53) УДК 621.922.02 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. С. Бутяев и Ю. М. Колчин

SENT@ файф g. : р@н (71) Заявитель (54) АБРАЗИВНАЯ СУСПЕНЗИЯ

Изобретение относится к области обработки полупроводниковых материалов абразивом.

Известна абразивная суспензия для полировки полупроводниковых материалов, включающая алмазный порошок и охлаждающую жидкость.

Для повышения производительности и качества полировки предлагаемая суспензия составлена на основе этилового спирта, а соотношение ее компонентов выбрано из условия

0,2 — 0,4 r алмазного порошка на 1 л этилового спирта.

Процесс полировки ведется с постоянной подпиткой по следующей технологии.

На полировальник из искусственной замши, предварительно обильно смоченный спиртом, наносится алмазный порошок или алмазная паста, которые втираются в полировальник в течение 3 — 5 мин.

В мешалку станка засыпается алмазный порошок той же зернистости и заливается этиловый спирт. После установки на влажный полировальник шлифовально-полировальных головок с накленными на них пластинами включается мешалка, привод станка и осуществляется подача алмазной суспензии из мешалки на полировальник.

10 Предмет изобретения

Абразивная суспензия для полировки полупроводниковых материалов, включающая алмазный порошок и охлаждающую жидкость, отл ич а юща я ся тем, что, с целью повышения производительности и качества полировки, суспензия составлена на основе этилового спирта, а соотношение ее компонентов выбрано из условия: 0,2 — 0,4 г алмазного порошка на 1 л этилового спирта.

Абразивная суспензия 

 

Похожие патенты:

Паста // 392082

Изобретение относится к абразивным микропорошкам с размером кристаллов от 0,2 до 2 мкм на основе оксидов алюминия и 3d-металла, в частности, хрома, железа, титана, ванадия и др., используемых для полирования и окончательной доводки поверхности высокоточных изделий из металла, стекла и камня с целью придания им минимальной шероховатости поверхности и достижения высших классов точности размеров и геометрических форм

Изобретение относится к области машиностроения, более конкретно, к механической обработке поверхностей пластмассовых изделий и может быть использовано как при декоративной полировке эластичным полировальником, так и доводочно-притирочной обработке жестким притиром полимерных материалов и полимерных покрытий, в частности, светлоокрашенных реактопластов при производстве стеклопластиковых корпусов катеров

Изобретение относится к тонкой абразивной обработке металлических поверхностей в процессах доводки, притирки и полировки изделий из черных и цветных металлов и сплавов и позволяет утилизировать шламовые отходы гальванического производства

Изобретение относится к полировочным композициям и способам удаления царапин и других дефектов с разнообразных пластиковых поверхностей с целью улучшения их прозрачности и оптического качества

Изобретение относится к абразивной обработке металлов для получения высокой чистоты поверхности и может быть использовано в подшипниковой промышленности

Изобретение относится к составам жидких абразивных паст и может быть использовано в машиностроении в процессах полирования и доводки поверхности металлических деталей, преимущественно при доводке стальных закаленных шариков для шарикоподшипников

Изобретение относится к технике обработки металлов, обеспечивающей получение заданного класса шероховатости и притирки поверхностей, и может найти преимущественное применение в обработке клапанных механизмов, а именно при доводке и притирке седла клапана и самого клапана

Изобретение относится к области изготовления паст для суперфинишной доводки поверхности металлов, сплавов и неметаллических материалов
Наверх