Устройство для односторонней доводки пластин

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистииеских

Республик (11) 481410 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 03.08.72 (21) 1818911/25-8 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 25.08.75 Бюллетень № 31

Дата опубликования описания24,12.75 (51) м. Kit.

В 24Ь 37/04

Государственный комнтет

Совета Мнннстрав СССР по делам нзооретеннй н открытнй (Sa) УДК 82>.æ3,74 (0HH.8) В. И. Дюжиков, В. А. Лавров, А. И. Распопов и А. И. Чурсин (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) УСТРОИСТВО ДЛЯ ОДНОСТОРОННЕЙ ДОВОДКИ ПЛАСТИН

Изобретение относится к станкостроению и предназначено для абразивно-алмазной доводки точно ориентированных пластин из различных пьезо- и полупроводниковых материалов. 5

Известны устройства для двусторонней и односторонней обработки плоскопараллельных пластин. Двусторонняя обработка (как наиболее производительная и эффективная при обрабогке абразивно-алмазными сус- )О, пензиями) осуществляется на двухдисковых станках планетарного типа с кассетами и позволяет получать плоскопараллельные пластины. Однако иэ-за разнотолщинности и наличия небольшой косины точно ориен- l5 тированных относительно кристаллографическпх осей пластин при их обработке на данных станках происходит увод угла среза, и чтобы его исключить, необходимо применять только одностороннюю обработку. 20

Известны различные устройства для односторонней абразивной доводки плоскопараллельных пластин, имеющих точно ориентированную базовую поверхность отно1 сительно кристаллографических осей. Наибольшее применение имеют доводочные головки с правильными кольцами и плоскопараллельные планшайбы. Эти устройства не обеспечивают высокой производительности процесса обработки: правильнь|е кольца при обработке пластин сбрасывают и измельчают абразив в суспензии или пасте, снижая производигельность и увеличивая расход суспензии, а при использовании плоскопараллельных планшайб возникает необходимость в устранении клиновидности об раб а тыв а е мы х пласт и н.

Нелью изобретения является устранение клиновидности пластин и повышение производительности процесса, Это достигается тем, что по меньшей мере одна кассета дополнительно снабжена плоскопараллельной шестерней, которая расположена сооснo с кассетой, кинематически связана при помощи врацгающегося пальца с верхним притиром и лежит на обрабатываемой пластине со стороны необрабатываемой базовой поверхности.

На чертеже изображено описываемое устройство во фронтальном разрезе.

Устройство имеет планетарный привод (центральное 1 и наружное 2 вращающие- ся зубчатые колеса), нижний неподвижный притир 3, кассету 4, в которой установлены пластины 5, и плоскопараллельную ше- 5 стерню 6, расположенную соосно с кассетой, связанную с верхним притиром 7 кинематически посредством вращающегося пальца 8 и лежащую на обрабатываемых пластинах 5 со стороны необрабатываемой IQ (базовой) поверхности. На верхнем торце плоскопараллельной шестерни 6 натянута с помощью двух колец 9 пропитанная солидолом капроновая ткань болонья 10.

Благодаря такой конструкции обрабаты- 15 ваемые пластины самоустанавливаются между плоскими поверхностями верхнего 7 и нижнего 3 притиров через плоскопараллельную шестерню 6. Для уменьшения скорости движения шестерни 6 относительно 20 верхнего притира 7 она связана с ним при помоши пальца 8, что улучшает условия подвода абразивной суспонзии (включая и алмазную) и сни:кает ее расход. Количество устанавливаемых кассет 4 и плоско- 25 параллельпых шестерен 6 от трех до пяти и более.

Описываемое устройство работает следующим образом.

При врашеции центрального 1 и наруж- 3р ного 2 зубчатых колес планетарного типа каждая из составных пар кассета 4 — плоскопараллельная шестерня 6 получает сложное движение, перемещая пластины 5 по рабочей поверхности нижнего неподвижного 35 притира 3. При этом шестерня 6 сообщает вращательное движение посредством врашаюшегося пальца 8 верхнему притиру

7, нагружаюшему обрабатываемые пластины. 40

При подаче абразивной или алмазной суспензии через верхний притир она попадает на рабочую поверхность- нижнего при-, тира, и производится доводка нижней неба- зовой поверхности обрабатываемой пластины. Базовая сторона пластины обращена к плоскопараллельной шестерне 6 и из-за отсутствия относительного движения (за исключением медленного проворота пластины в гнезде кассеты) практически не изнашивается. Благодаря этому происходит исправление начальной клиновидности, обусловленной операцией исправления угла среза, путем неравномерного срабатывания небазовой поверхности из-за увеличения давления в той части пластины, где

l она толще. По мере снятия припуска разнотолшинность пластины уменьшается. Пластина становится плоскопараллельной, сохраняя ориентацию относительно базовой стороны.

Предмет изобретения

Устройство для односторонней доводки пластин, ориентированных относительно их кристаллографических осей, выполненное в виде кольцевых притирсв, между которыми расположены кассеты с установленными в них пластинами, причем относительное перемещение притиров и пластин осу- шествляется от планетарного привода, о тличаюшееся тем,что,с целью устранения клиновидности пластиH,и повышения производительности процесса, по меньшей мере одна кассета дополнительно снабжена плоскопараллельной шестерней, расположенной соосно с кассетой, связанной кинематически посредством врашающегося пальца с верхним притиром и лежащей на обрабатываемой пластине со стороны необрабатываемой (базовой). поверхности, 481410

8 о

° . (Оставит(лf> jg дн!о)икр

1 елвктор 1 (и1т(.(та ехред !., ((äI eeee Корректор Л.Брдхннн .- аква $ 3g, Ивд. Ж 9Ъ" гт 6Ч Г р 1д; Подписное

1Ц1!!И!!!1 Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 1!303;), Раугпская наб., 4

1!редириятие «Г1атент», Москва, Г-59, Бережковская аб., 24