Способ вытягивания монокристаллов из расплава
O П И С А Н И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 08.09.72 (21) 1826296/23-26 (Щ M. Ka. В 01 ) 17/18 с присоединением заявки ¹ Государственный ыокнтет Совата Ииннстров СССР an денни нзооретеннй и открытнй (23) Приоритет (43) Опубликовано25.10.75Бюллетень № 39 (б3) УДК669 046 172 (088,8) (45) Дата опубликования описания 03.02.76 (72) Авторы изобретения Н. В, Бессонова, А. В. Вервыка, И. К. Выдыш, Н. С, Егорова, Е . А. Жемчужина, В. И. Носов, А. И. Печерица, П. H. Проскурин ч К. П. Приварников (71) Заявитель (54) СПОСОБ ВЫТЯГИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ ИЗ РАСПЛАВА" 20 Изобретение относится к получению монокристаллов преимущественно полупроводниковых материалов вытягиванием из расплава. В известных способах вытягивания монокрнсталлов для равномерного распределения легирующей примеси и уменьшения разброса удельного электросопротивления получаемых монокристаллов поддерживают постоянное положение уровня расплава в тигле относительно нагревателя либо путем перемещения тигля вверх, либо за счет опускания нагревателя со скоростью, соответствующей скорости перемещения уровня расплава. Однако перемещение тигля или нагревателя при помощи привода не обеспечивает достаточно плавного и непрерывного его движения, в результате чего полученные монокристаллы имеют значительный разброс электросопротивления по сечению. Предложенный способ отличается тем, что тигель помещают в расплав одноименного с кристаллизуемым материала с за» грузкой, количество которой достаточно для установления более высокого уровни расплава вне тигля. Это позволяет обеспечить в процессе вытягивания более плавный самопроизвольный подъем тигля и получить монокристаллы с меньшим разбросом электросопротивления по поперечному сечению. Пример. Загрузку германия в количестве 2500 г с добавкой легттрующего элемента (сурьмы) помещают в тигель с диаметром 130 мм, а последний — в тигель диаметром 165 мм, содержащий расплав германия. Под действием веса загрузки внутренний тигель погружается в расплав, находящийся во внешнем тигле так, что уровень расплава во внешнем тигле выше уровня расплава во внутреннем. Опускают затравку в расплав, находящийся во внутреннем тигле, и начинают процесс вытягивания. По мере убывания расплава во внут репнем тигле он самопроизвольно поднима- ется, в результате чего уровень расплава в тигле сохраняет одинаковое положение относительно нагревателя. Процесс вытяСоставитель Т. Фирсова Техред H 1 арандашова КорРектоР .Рю Гарасова Редактор Л.яародная никак Яф Икк. ти Ц ТиРаж 782 Подписное ЦНИИГ1И Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, 113035, Раушская наб., 4 Предприятие «Патент», Москва, Г-59, Бережковская наб., 24 гивания прекращают при выравнивании уровней расплава в обоих тиглях. Выращенные монокристаллы имеют разброс удельного электросопротивления 3-5%. Предмет изобретения Способ вытягивания монокристаллов из расплава на перемещаемую вверх затравкф" с поддержанием постоянного положения уровня расплава кристаллизуемого материалв относительно негккеввтепн .тигля не счет попьене тигля, о т л и ч в ю m в и с я тем, что, с целью уменьшения разброса электросопротивления по поперечному сечению получаемых монокристаллов вследствие более плавного самопроизвольного подъема тигля, тигель помешают в расплас одноименного с кристаллизуемым материа» ла с загрузкой, количество которой доста1а точно для установления более высокого уровня расплава вне тиг1и.
