Способ испарения сублимирующих металлов

Авторы патента:

C23C13 - Покрытие металлических материалов; покрытие других материалов металлическим материалом (металлизация текстильных изделий D06M 11/83; декоративная обработка текстильных изделий местной металлизацией D06Q 1/04); химическая обработка поверхности; диффузионная обработка металлического материала; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще (для специфических целей см. соответствующие классы, например для производства резисторов H01C 17/06); способы предотвращения коррозии металлического материала, образования накипи или корок вообще (обработка металлических поверхностей или покрытие металлов электролитическим способом или способом электрофореза C25D,C25F)

<1ц 50I II8

ОП ИСАНИ Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

1. (51) N, Кл. - С 23С 13/00 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 30.05.72 (21) 1791255/26-21 с присоединением заявки ¹

Совета Министров СССР ло делам изааретений и открытий (53) УДК 621.793.16 (088.8) Опубликовано 30.01.76. Бюллетень № 4

Дата опубликования описания 13.04.76 (72) Авторы изобретения

А. Ю. Абеле, А. Г. Зеберин, И. В. Клявинь, К. Т, Киршфельд и А, В. Чолакян

Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий при Госплане Л атвийской ССР (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИСПАРЕНИЯ СУБЛИМИРУЮЩИХ МЕТАЛЛОВ

Формула изобретения

Гасударственный комитет (23) Приоритет

Изобретение относится к спосооам нанесения покрытий методом термического испарения и конденсации в вакууме и может быть использовано при испарении металлов, имеющих высокую упругость пара вблизи точки плавления.

Известный способ испарения сублимирующих металлов с целью реализации теоретической скорости проводят либо в сверхвысоком вакууме (выше 10 вЂ” мм рт. ст.), либо при высокой температуре, приводящей к перегреву металла.

Достижение сверхвысокого вакуума в промышленном вакуумметаллизационном оборудовании требует усложнения конструкции, длительности процесса и подбора спецматериалов и к тому же становится практически недостижимым при ооработке подложки больших размеров, которая легко адсорбирует газ.

Повышение температуры сублимации также неприемлемо из-за опасности расплавления сублимирующего тела, что приводит к износу его и нестабильности процесса.

Цель изобретения вЂ” обеспечение эффективности процесса сублимации в условиях среднего и высокого вакуума.

Для этого на рабочую поверхность сублимирующего тела наносят тонкий слой легкоплавкого металла, имеющего более низкую по сравнению с сублимпрующим металлом упругость пара и образующего с ним эвтектическую систему с ограниченной растворимостью в твердой фазе.

5 Лктивирующий металл целесообразно наносить испарением в вакууме, причем возобновлять этот слой необходимо в конце предыдущего цикла испарения в случае цикличной работы вакуумной установки с напуском ат10 мосферы в конце каждого цикла.

При испарении магния в условиях среднего и высокого вакуума в присутствии активатора: свинца, висмута, олова или меди толщиной в доли микрона сублимация начинает15 ся сразу же по достижении эвтектической температуры со скоростью, близкой к расчетной по значению упругости пара магния при данной температуре, При этом испарение идет равномерно по всей активированной по20 верхности.

Способ испарения сублимирующих метал25 лов путем нагрева в вакууме, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения эффективности процесса в условиях среднего и высокого вакуума, на рабочую поверхность сублимнрующего тела наносят слой легкоплав30 кого металла, имеющего более низкую пс

501118

Составитель Л. Голубева

Текред Т. Курилко

Корректор Л, Котова

Редактор И. Грузова

Заказ 622/19 Изд. ЛЬ 1070 Тираж 1067 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Я-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 сравнению с сублимирующим металлом упр;вЂ” гость пара и образующего с ним звтеитичесиу1о cècòåìó с ограниченной растворимостью в твердо11 ц)азc