Устройство для шлифования и доводкипластин из пьезоэлектрическихматериалов

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕTFН И Я (ц 508390

Сова Советскик

Социалистических

Рссо /блик (61) Дополнительное к авт. спид-гу (22) Заявлено 17.07.74 (21) 2045058 25-8 (51) М. К1. В 24В 37.04 с присоединением заявки ¹ осударственнь и комитет

Совета ттивистров СССР

llo делам изобретений и открытии (231 Приоритет

Опубликовано 30.03.76. Бюллетень Л 12 (53) УДК 621.923.04 (088.8) Дата опубликования описания 21.05.76 (72) Авторы изобретен| я Б. И. Камка, Ю. В. Пантелюшкин, А. В. Балыков, О. П. Синалеев и П. С. Старшинов (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ШЛИФОВАНИЯ И ДОВОДКИ ПЛАСТИН

ИЗ ПЪЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ

Изобретение относится к области шлифования и доводки пластин из пьезоэлектрических материалов при изготовлении элсктромеханических и пьезоэлектрических кварцевых фильтров.

Известны станки и устройства для шлифования и доводки пластин из пьезоэлектрических материалов абразивами в свободном и связанном состоянии, состоящие из двух плоских притиров, расположенных между ними кассет, в которые устанавливаются обрабатываемые пластины, и привода перемещения кассет.

К, недостаткам таких станков и устройств можно отнести невозможность производить механическую обработку пластин с воздействием на них переменным электрическим напря;кенисм для интенсификации процесса обработки и улучшения качества обрабатываемых пластин, à также автомагической остановки процесса при достижении пластинами толщины, соответствующей требуемой резонансной частоте р.

Це;и изобретения — повышение точности контроля и качества обработки пластин из пьезоэлектрических материалов.

Эта цель достигается путем использования устройства, снабженного генератором, частота которого стабилизирована обрабатываемыми пьезоэлектрическими пластинамп путем подкл очения на вход генератора выводов от ! Окопроводящих притиров, Выпо.1нснных 3.1ектроизолированными от массы устройства.

Устройство снабжено также смесителем, свя5 за иным с генератором, стабилизированным обрабатываемыми пластинами; опорным генератором, перестраиваемым задающим генератором с градуированной шкалой; устройством сравнения частогных характеристик и испол10 нительным устройством, связанным с приводом вращения кассет.

На чертеже изображена схем» предло>кеиного у стройства.

Устройство состоит из дву.; притиров 1 и 2, 15 I:, IoooT 3. !3 KQTopblx p33itLLILBIoT оораоа гbl!I опластины 4, приводящихся Il,движение через зубчатые колеса 5 и 6 от электродвигателя 7. На чертеже в качестве примера рассмотрена планетарная схема движения кассет.

20 Наряд с этим могут быть использованы и другие схемы перемещения обрабатывàcмы; пластин, (например эксцентриковая и др.).

Устройство содержит высокочастотный гснсратор 8, стабилизированный обрабатывае25 мыми пластинами 4 путем подключения в цепь его обратной связи выводов от двух плоских токопроводящих притиров 1 и 2 с распо10женными между ними обрабатываемыми пьезоэлектрическими пластинами 4; смеситель 9

30 частот. связанный с опорным генератором 10;

508390

3 т".,(!;I ", »! т л. Т. (Од((хи)I;1

Текр< (О. Кудинова

Корректор Д. Орлова

Рс !»ê:) т(. Ку»ракова.5»каз 1!)ЬВ 1 5 1(а .. ¹ I""1, ) Тираж 1068 1!o.(»»c»oc

ЦНИИПИ Государс)ве !»ого ко.i::"òñòà (.овста М»»»cTno» C:C.ÑÐ! (i )Соа) ))?, тт i(» i!» i ". Кр)>! П)!

1),>т),>,>, .:1!,Г! «И.:К- т т, « » с);I !» т, . ° ., >

Т:»)(»;):)т „: и, ир. С:(I. );» )I». ) ИРСОбРЫЗОВЫтСЛЬ 11 СИИ(«О»Дi!ЛЬНОГО ic»!1))!

>Ксиня B jr)rn) ff>cr>f, фор: (нрОВс(CC il. 12 rip»»О Гольиы:т. имп т льсов; 1 сТроНс t ÂO 1 3 ср2. 3»сии51 (а«тот, «вязанное с исрс«тряивясмым зады!оГСНСРс! ОРОМ 14 ИР5(М03 05»>ПЬ!(H. !»(..» 6

«ОБ, OC» cl Ll(C»li l>l 1 P с1Д! . IP 0 Hei»1

HL IIO. ffIHTÑ if>I.I0C т СТрОНСТВО 1 о, «!35i. Япи(I! PH130Д0М 13Рс»ЦСИИ51 K!ICCC1 .

Работа устроиствя ос(щс«твляеl:я ., «лслр)-!

ОП(С .И IIOC.IC;jOBcl f Ñ.»>НОСТН. 1<1

Обрабаты,)яем(!е пляспьны 4 раз.:си(а»от и

Г»СЗда» Кае«ет 3 Между Ирп(нрс!МИ 1;! 2. Ol эл с!(тродвигc! Tc, 151 7 KcfcccTH) (cc06»j .!cl c)i »,1;lliCTclP ff0C ДВИжЕН1!С i! СPC. :3 ЗМО!121 Bl(КО1 С«сl 0

И 6. Прн ЭТОМ rlpo!fcwoдпт С»яП!С;тf».I 0()(f;3.1ОВ 1;, с обрабатываемык !!Лысг»п п) тем ме.;аиичсСКОИ доводКИ ИЛИ и(ЛИС))ОВсlНИС)1 абр ЬЗИВЯ 1(И !3

СВОбОДНОМ H 1» СВЯЗс(п:!О»,! CÎCTO:IHI!H. (РС;КИМЬ! мс. анической доводки и карактсристики абразивны:.i материалов (3ыб»ра!От«я по 0()lljc!I»Bc- 2<) стным реко((е дациям). Токопро!3од)!и(не»ритиры 1 и 2 с располо !<еииыми между:Ili)(H обрабатываемыми пластинами 4 подклк)че!!ы обратную связь гысокочыстотного BcilepaTopа

8 для стабилизации частоты. Ч

СЯ МаКСИМЯЛЬ»ЯЯ Ы(!ПЛИтУДЯ И . МСКЯНИ>fCC!(I!X колебаний, что интенсифицирует проис««обработки и повышает кя.<.«T!30 обработапиы.; повсркпостсй. Сигнял «генераторы S»ocòóï2С Г ИЯ «МСCHTL,! Ь 9, ГДС ОН Сj) clB»!li32CÒ 5! (12«- 56) тотой f2 опорного генератора 10. C)f< .«ffтсль выдаст на вы»оде рязностиую частоту j;, которая для удобства дальней»(ей ооработк» сигналов прсос)разуется в импульсы 13 преобразователе 11 и формируется 13 прямоуголь- 4() ные импульсы в формирователе 12. Прямотт 1 ОЛЬНЫС ИМП), 1ЬСЫ ПодяlоТ«51 В т СТр011«ТВО 1 3 (j)cli3HC »H)t, Il!C Оп(! (()!ILHHI>ci!01«Я i. lf)1»(,».«Ы. ми, »осту»а!ощими 0 f ";;Äl;o цсго перс«! ры(iвасмого генератора 14, <и ыбжспного градуирова»пой шкя IÎ;i, »а которой и устанавливыс!«я трсоусмыя чы тота /„обрабатывс!Смык (л «г;(;!. При «овиыдс.t!t» частот, ио«тупак)rfj1LX 13 ) CTPO!f«Tfl0 CP!l!31!LHH>1, OHO ВЫДЯСТ «:ii иыл»а и«Г!ОГП!и!Сл! Ос у«)рo>I«тво 10, ис!Пример рслс, кот<)оос вь;клк)-)ыст электродви 2-! тель 7, прекращая процесс обработки. I 2ê(1)! ооразом. процесс обрыоотки ш.езоэлсктри Гс« I(HX П,(Я 1 1(1. Ы)3 3ГО т(ЫТИ С«КИ ПPСКPЯ Llj 201 «51 тот мо)!с,!Г, к()гды»к толщина соответ«твус:

1")C ()>, С МОИ РСЗОИ а»С»01! f 2CTOTC ti . с()орм(лы и: обрстспия

Устройсп(о для шлифова Гия и доводк!! пластин из r ье",оэлектричсских материя.(о;

ЫОРЫЗИ В Я тяп 13 CBOOOДНО т(И СВ51 3 2HHO.vl CÎCT05!ilHH, «одержан(се дB2 плоски.; токопроводяИ!И ; HPHTIiP2, C Рсlеполож«НИЫМИ МС:КД! ИИМ,1

Ооряояl Ы ВЫC(т!Ы MИ ПЬСЗОЭЛСКТрlli!ЕСKH т:И 11,12(. — тинами, »омсщепными в кассеты, ы также

»ривод перемещения кас«ет, о т л и ч ы к> щ е сс я тем, что, с целью повышения Гоч»ости

KoHтpo 1Н и ксlчсствс(Обработки и 12<тии, тт (т

РОй<ГТBO СНЫ ОЖСНО СТЯОт(IHÇ)IPOI3cil»!I>f. ct BI>ICOкочя«топ(ым Генератором, B цепь обратной

«вязи которого подключены выводы 01 дГ)у(ТОKO»POBO jsf ittr!. tr;)» TÈPO!3 « т(С«И ГССIС 1 I Я«(ОТ опорным генсрыторо l, ff(p«c f ря;(в;)емым;ычыIO1if»)! ГС НСРс! ОРОМ, т С(PO:iC! ВО. т(«РЯ)31!СИ!" 51

:с: 10! ; И)1 0002:30:IclТ(. fC>t; фотР тl IPOB Тс.lт- т! и«пол»(п сл!»ы м 3 строй«твом, cBяз"! Ilt.f>f » «

ПРИВОДОМ «РСМС(не!!ИЯ Kcl ««C . Г, ПРИ I")1 0;!.!!i

И 3 ВЫКОДОВ «Тс)ОИЛИ;3»p0!3c»l»0! !ILIC<>K!ОЧЯСТОТ1 ОГО ГС(! CP i ÎP l ПОДКЛIО СП !(!3;О.rt « )(с«п 1 C,IH 12«ТО !, I! ÃC!!)0!I В".;0.1 КОТОРОГО 110Д! .(,»ОЧСН К опор»ому гс»сратору,;l вы»од через Hpco()p;l:30!)ЫТСЛ!> .:1 фОРМ!IРОвс, С Г(!> «!351 3 )И « 3 ОДОМ тт CTPOHCTI3cl CPBBHCH!!5!. !(сl 131 Oj)01! В. ;0.! КО ОРОГО ПОЛК, f!0 Сн ВЬI. ;О. (32 l2 !0!i (C 0 1 «!т«Р ЯТОР Ы.

Устройство для шлифования и доводкипластин из пьезоэлектрическихматериалов Устройство для шлифования и доводкипластин из пьезоэлектрическихматериалов 

 

Похожие патенты:

Притир // 2119422
Изобретение относится к технологии абразивной обработки и может быть использовано преимущественно на операциях доводки, а также шлифования и полирования плоских, плоскопараллельных, цилиндрических и сферических поверхностей

Изобретение относится к области отделочной обработки плоских прецизионных поверхностей, в частности к химико-механическому полированию пластин кремния большого диаметра

Изобретение относится к обработке шлифованием или полированием поверхности тонких хрупких пластин, применяемых, в частности, для производства электронных изделий, например кремниевых и сапфировых

Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано для притирки (доводки) плоских поверхностей деталей, например, уплотнительных поверхностей деталей запорной трубопроводной арматуры (золотника вентиля, клина задвижки) как в процессе производства, так и при ее ремонте

Изобретение относится к области полупроводниковых технологий и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых пластин, включающем механическую обработку и химическое травление
Изобретение относится к области шлифования и полирования, а именно к обработке монокристаллов

Изобретение относится к области обработки поверхностей сапфировых подложек шлифованием

Изобретение относится к станкостроению и может быть использовано для абразивной обработки плоскопараллельных поверхностей разнообразных машиностроительных деталей
Наверх