Устройство для регулирования микрорасхода газа
11!! 514275
Сок!3 Сов ГФx
Ccкналистннескик
Реслу(лик
1 ! (61) Дополнительное к авт. ОВид-ву (22) Заявлено 25.06,74 (21) 2037969/24 (51) Ч. КЛ.-" G 05D 7J 06 с присоединением заявки М
ГосУдарственный комитет (23) 11риоритет
Совета Министров СССР по делам изолретений Опубликовано 15.05.76. Бюллетень М 18 (53) УД1; 621.646.3 (088.8) и открытий
Дата опу бликования описания 03.08.76 (72) Лвторы изобретения
3. A. Лебедев и A. H. Дынник (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГУЛИРОВАНИЯ
МИКРОМСХОДЛ ГАЗА
Формула изооретения
Изобретение относится к технологическим приборам прецизионного регулирования расхода газа и может быть использовано в областях, где возникает необходимость точного контроля газов и газовых смесей.
Известны устройства для регулирования микрорасхода газа, содержащие корпус с расположенными в нем регулирующим органом и исполнительным механизмом, Однако при многокра, iioм перемещении регулирующего органа вручную или автоматически нарушается уплотнение в седле исполнительного механизма, что делает HpB03MQMHbivi ОсущестВлепие плавного регулирования подачи газа.
Цель изобретения — повышение точности регулирования микрорасхода газа. i5 описываемом устройстве это достигается тем, что В нем регулирующий орган выполнен в виде мемораны из металлической фольги, разделяющей корпус на две камеры, в одной из которых установлен исполнительный механизм. 11оследний выполнен в виде лампы ИК-излучения с отражателем.
На чертеже изображено описываемое устройство.
Оно состоит из корпуса 1, ограничивающего рабочий объем, регулирующего органа 2 в виде мембраны из металлической фольги, исполнительного механизма в виде лампы ИКизлучения 3 с отражателем 4, камеры 5 и камеры б, в которой устанОВлсн llclIQ.IHHTE .IüHûÉ механизм.
В начальнОм положении лампа ИК-излъчеIi.1Я ВЫКЛIОЧЕНЗ.,ЦЛ!1 НЗПУСl.а Газа В РабОЧИИ объем включают лампу ИК-излучения. При этом температура регулирующего органа 2 увеличивается, что приводит к увеличению количества проходящего через него газа, вследствие того, что частицы (атомы), образующие кристаллическую решетку металла, из которого выполнена фольга, участьуют В тепловом дви...енин, совершая колебательные двил ения вокруг положений равновесия — узлов пространственнои решетки. Зти колебания тем
15 больше, чем выше температура нагрева рег,лирующего органа, выполненного в виде мембраны, и тем большее количество газа он может IlpoII ñ гить. I IpH Быклlочении исполнител
iIOI 0 i iP. IBHH3IIB 3 ох 12JIigdIOT регуJIHp) 101IIHII
2 1 орган, и доступ газа в рабочий объем прекращается. Таким образом, изменяя температуру регулирующего органа путем изменения напряжения, подаваемого на исполнитель ы;
Мс.,аНИЗМ, ПроИЗВОДЯт PPIУЛИРОВВНИЕ МИКРО25 расхода газа в рабочем объеме.
1. Устройство для регулирования микрорасхода газа, содержащее корпус с расположсн514275 налряжгж
Составитель И. Петкуи
Техред 3. Тараненко
Редактор Л. Тюрина
Корректор T. Иванова
Заказ 1692,5 Изд. ЛЪ 1526 Тираж 1029 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, )K-35, Раушская наб., д. 4/5 1 ппографпя, пр. Сапунова, 2 ными в нем регулирующим органом и исполнительным механизмом, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности регулирования, в нем регулирующий орган выполнен в виде мембраны из металлической фольги, разделяющей корпус на две камеры, в одной из которых установлен исполнительный механизм.
2. Устройство по п. 1, отл ич а ющееся
5 тем, что исполнительный механизм выполнен в виде лампы ИК-излучения с отражателем
