Устройство для контроля профиля вогнутых оптических поверхностей

 

О П И С А Н И--:Е"

ИЗОБРЕТЕН Ия

Союз Советских

Социалистических

Республик

1 (a MbA (»> 51404 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Зв,явлено27.02.73 (21) 1889789/28 с присоединением заявки № (23) Приоритет (51) М. Кл2Q01В 11/24

0 018 19/54

Государственный комитет

Совета Министров СССР оо делам иаооретений и открытий (43) Опубликованс05.06.76. Бюллетень № 21 (53) УДК 531,717,2:

:53.082.52 (088.8) (45) Дата опубликования описания08.10.76 (72) Автор изобретения

П, С, Юров (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ П(- ОФИДЯ ВОГНУТЫХ

ОПТИНЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

Изобретение относится к измерительной

° технике и может применяться для контроля профиля оптических поверхностей.

Известно устройство для контроля профиля вогнутых оптических поверхностей, содержащее автоколлимационный аберрометр с осветителем и приводом, приемнорегистрируюшее велевизионное устройство с ана.— лизатором изображения в виде двух тра: угольных линейчатых: растров, телекамерой и вычислительным блоком на выходе.

В известном устройстве использован автоколлимационный аберрометр с одним контрольным пучком лучей. Это ограничивает точность контроля, обеспечиваемуюизвестным устройством.

Йель.. изобретения - повышение точности контроля, Это достигается тем, что устройство снабжено установленным в аберрометре блоком формирования двух контрольных пучков лучей и задания их параметров, опреде;ляюших соответствуюшие этим пучкам амплитуды видеоймпульсов на выходе телекамеры, и установленным между выходом телекамеры и входом вычислительного блока анализатором знака отклонения контролируемого профиля Ii J амплитуде видеоимпульсов и времени их появления.

На фиг. 1 изображена функциональная схема предлагаемого устройства; на фиг, 2-.маска и ее установка перед телекамерой, Устройство содержит автоколлимационный аберрометр 1, соединенную с пим телекамеру 2, установленную перед телекамерой 2 маску 3, вычислительный блок 4, соединенный с телекамерой 2 и аберромет\ ром 1, и установленный между выходом д телекамеры 2 и входом вычислительного блока 4 определитель 5 знака отклонения контролируемого профиля оптической детали 6 по амплитуде видеоимпульсов на выходе телекамеры и времени их появления.

Аберрометр 1 содержит источник 7 свеьта, блок 8 формирования двух контрольных пучков 9,: 10 лучей и задания их параметр ров, призму-куб ll, объектив 12, пентапризмы 13 и 14, зеркало 15 и привод 16 пентапризм 13 и 14.

5 16904

Параметры пучкoB 9, 10 лучей, задаваемь!е блоком 8> 1>пределяю1 соответствую шио этим пучкам амплитуды видеоимпульг îâ на выходе телекамеры 2.

В качестве этих параметров могут быть использованы, напри мер; интенс ивнос ть с ветового потока или длина волны.

Маска 3 выполнена в виде плоского непрозрачного тела, например диска с двумя треугольными линейчатыми растрами 17 10 и 18; содержашими чередуюшиеся прозрачные нолосы 19 и непрозрачные полось| 20

Устройство работает слвдуюшим образом.

Свет от источника 7 попадает в блок 8, д который формирует два пучка 9 и 10 лучей и задает их параметры, т, е. снабжает

) эти пучки "метками" в виде заданных параметров. Далее пучки 9, 10 лучей через оптические элементы 11 15 попадают на 20 контролируемую поверхность изделия 6,и, отразившись от нее, попадают на фотокатод желекамеры 2 через растры 17 и 18 в виде двух выходными контрольных пучков

21 и 22 лучей. При этом световые индексы М

23 и 24 размешаются в плоскости фотокатода телекамеры 2 перпендикулярно полосам

19, 20 растров 17 и 18 симметрично отно« яячнньно оптической оси 25 аберрометра 1.

При считывании световых индексов 23, 30

24 телекамерой 2 на ее выходе появляет ся последовательность видеоимпульсов, амплитуда которых определяется параметрами пучков 9, 10 лучей, заданными блоком 8. Количество видеоимпульсов одинаковой амплитуды определяет длину световогоьиндвкса. Определитель 5 формирувт сигнал знака отклонения контролируемого профиля иэделия 6 по амплитуде видооимпульсов на выходе телекамеры 2 и вре40 мени их появления относительно момента развертки телевизионной опорной строки, пересекаюшейся с оптической осью 25 аберрометра 1. Например, если иидеоимпульсы с амплитудой, соответствун>пню, пучку 9 лучей, появятся раньци- чомента развертки опорной строки прн н".:равлении кадров и развертки сверху вниз, то это означает, чтэ соответствуюший пучку 9 световой индекс 23 расположен выше оптической оси 25. Размешение световых индексов, соответствуюших пучкам 9 и 10, ниже или выше относительно оптической оси 25 определяет знак отклонения контролируемого профиля. Сигнал знака, сформированный определителем 5, и видеоимпульсы, воэникаюшие на выходе телекамеры 2, поступают в вычислительный блок4..

Блок 4 определяет среднюю длину свето вого индекса путем подсчета видеоимпуль . сов с учетом знака, поступаюшего из оп-ределителя 5, по полученной длине вычисляет погрешность профиля при каждом положении пентапризм 13, 14 и управляет приводом 16 перемещения пвнтапризм 13, 14. Кроме того, блок 4 вырабатывает необходимые сигналы управления телекамерой. 2 и определителем 5.

Формула изобретения

Устройство для контроля профиля вогнутых оптических поверхностей, содержашее автоколлимапионный абвррометр с осветителем и приводом, приемнорегистрируюшее телевизионное устройство с анализатором изображения в виде двух треугольных линейчатых растворов, телекамерой и вычислительным блоком на выходе, о, т л и— ч eþ ше ес я тем, что, с цельюповышения точности контроля, осветитель.снабжен формирователем двух, различаюшихся, например, по амплитудному признаку контрольных пучков, лучей, а между телекамерой и вычислительным блоком включен анализатор знака отклонения контролируемого профиля.

Составитель В.Жук

Техред 516904 А.Камышникова корректор Л.БРахнина

Редактор Ь.ЙРУ1 (ва

Заказ 6286/130

) 13ОЭ5, Москва, Ж-Э5, Раушская наб, д.4/5

Фикиал ПП11 "11атсн, t. Ужлзр >а, ул. Проектнаы, 4

Тираж 864 l подписное

111111И11И Государственного комитета Совета Мннистров С(СР по делам изобретений и откр(тий