Способ получения деталей из анодной окиси алюминия

 

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДЕТАЛЕЙ ИЗ АНОДНОЙ ОКИСИ АЛЮМИНИЯ путем придания алюминиевой заготовке требуемой формы, электрохимического окисления заготовки и избирательного вытравливания неокисленного алюминия, отличающийся тем, что, с целью обеспечения прозрачности деталей и их формоустойчивости, после избирательного вытравливания детали из анодной окиси алюминия нагревают в окислительной атмосфере, например на воздухе, до 700 - 900^oС между эквидистантными поверхностями.

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при изготовлении диэлектрических деталей для вакуумных приборов и вакуумных интегральных схем, в частности для изготовления деталей из анодной окиси алюминия. Известен способ получения диэлектрических деталей для вакуумных приборов и вакуумных интегральных схем. По этому способу алюминиевую заготовку подвергают электрохимическому окислению с последующим вытравливанием неокисленного алюминия. Однако детали, полученные этим способом, невозможно использовать в условиях повышенной температуры из-за интенсивного газовыделения. Известен также способ получения деталей из анодной окиси алюминия, заключающийся в том, что алюминиевой заготовке придают требуемую форму, осуществляют ее электрохимическое окисление и избирательное вытравливание неокисленного алюминия. Недостатком известного способа является получение деталей, содержащих примеси, захваченные из электролита, что придает деталям коричневатую окраску, уменьшает их прозрачность и приводит к интенсивному газовыделению при нагреве деталей в вакууме. Кроме того, при повышенной температуре детали коробятся вследствие структурных превращений анодной окиси алюминия. Для обеспечения прозрачности деталей и их формоустойчивости по предлагаемому способу детали из анодной окиси алюминия после операции избирательного вытравливания неокисленного алюминия нагревают в окислительной атмосфере, например на воздухе, до 700-900^оС между эквидистантными поверхностями. Сущность способа состоит в том, что деталь из анодной окиси алюминия, полученную путем изготовления из алюминиевой заготовки, электрохимического окисления и избирательного вытравливания неокисленного алюминия, нагревают в окислительной атмосфере до 700-900^оС, причем деталь зажимают между двумя эквидистантными поверхностями для предотвращения коробления. При указанной температуре в окислительной атмосфере происходит процесс термической обработки деталей из анодной окиси алюминия с целью удаления органических примесей, образующихся при электрохимическом окислении в растворах органических кислот в результате внедрения атомов в анодный оксид и замещения атомов гидроксила в гидратных соединениях окиси алюминия анионами органической кислоты. В процессе термической обработки деталей в окислительной атмосфере происходит разложение окисных и гидроокисных соединений алюминия и выделение газообразных продуктов разложения воды и двуокиси углерода. Предложенный способ обеспечивает получение деталей из анодной окиси алюминия без примесей, что приводит к уменьшению газовыделения при нагревании в вакууме; повышение прозрачности деталей, что значительно облегчает операции совмещения их при изготовлении микросхем; формоустойчивость деталей из анодной окиси алюминия при повышенной температуре.

Формула изобретения

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДЕТАЛЕЙ ИЗ АНОДНОЙ ОКИСИ АЛЮМИНИЯ путем придания алюминиевой заготовке требуемой формы, электрохимического окисления заготовки и избирательного вытравливания неокисленного алюминия, отличающийся тем, что, с целью обеспечения прозрачности деталей и их формоустойчивости, после избирательного вытравливания детали из анодной окиси алюминия нагревают в окислительной атмосфере, например на воздухе, до 700 - 900^oС между эквидистантными поверхностями.