Способ изготовления электродных систем
ОПИСАН Й Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (и1 523469
Союз Советских
Социалистических
Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 14.06.71 (21) 1670261/25 с присоединением заявки № (51) М. Кл.2 Н 011 9/02
Государственный комитет
Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет
Опубликовано 30.07.76. Бюллетень № 28
Дата опубликования описания 27.08.76 (53) УДК 621.385(088.8) (72) Авторы изобретения
Ю. Н. Бузников, С. М. Мошкович, Л. Н. Линник, H. В. Пароль, В. А. Варламов, О. А. Майзель, Г. В. Лукошкова, Э. Б. Манелис и Л. Н. Яковлева
Особое конструкторское бюро при Московском заводе электровакуумных приборов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОДНЫХ СИСТЕМ
Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для изготовления вакуумных микроэлектронных устройств с электронными лампами.
Известен способ изготовления электродных систем, включающий операции изготовления электродов и межэлектродных промежутков (1), недостатком которого является низкая надежность очистки межэлектродных промежутков без повреждения пленочных электродов.
Наиболее близким к предлагаемому техническим решением является способ изготовления электродных систем, включающий операции изготовления электродов и прожига электрическим разрядом межэлектродных промежутков путем подачи на электроды прожигающего напряжения (2). Однако этот способ не позволяет обеспечить необходимую надежность очистки поверхности изолятора и приводит к повреждению пленочных электродов, так .как в процессе изготовления электродных систем происходит напыление активного вещества на подложку при создании эмиттирующих элементов. При этом активное вещество (оксид) попадает на межэлектродные промежутки, увеличивает их проводимость и вызывает недопустимо большие токи утечки.
Целью изобретения является повышение надежности очистки поверхности изолятора и предотвращение разрушения пленочных электродов.
Цель достигается за счет того, что прожигающее напряжение подают на электроды одновременно с началом напыления активного вещества на изолирующие промежутки и поддерживают величину напряжения неизменной
10 в течение всего процесса изготовления. При этом тончайшие налеты проводящего активного вещества на изоляторе в межэлектродных промежутках возгоняются сразу в моменты возникновения проводящих мостиков. Для повышения качества и надежности очистки, например, стабилизируют и ограничивают прожигающий ток включением последовательно в цепь питания буферного сопротивления, а величину тока прожига выбирают не превыша20 ющей допустимого в зависимости от материалов и толщины пленочных электродов зна. чения.
Если известный способ прожига межэлек тродных промежутков может быть использо25 ван только при изготовлении электронных приборов с массивными электродами, то описываемый способ не приводит к разрушению пленочных электродов в микроэлектронных устройствах и обеспечивает повышение каче523469
Формула изобретения
Составитель Н. Корещенко
Техред Е. Подурушина
Корректор А. Дзесова
Редактор Н. Коляда
Заказ 2272/16 Изд. № 1551 Тираж 963 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 ства и надежности очистки изолирующих промежутков.
Способ изготовления электродных систем, включающий операции изготовления электродов и прожига электрическим разрядом межэлектродных промежутков, о т л и ч а ю щ и йся тем, что, с целью повышения надежности очистки поверхности изолятора и предотвращения разрушения пленочных электродов, прожигающее напряжение подают на электроды одновременно с началом напыления активного вещества на изолирующие промежутки и поддерживают величину напряжения неизменной в течение всего процесса изготовления.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:
1. «Технология толстых и тонких пленок» под ред. Л. Рейсмана и К. Роуза, М., «Мир», 10 1972, с. 156 — 161.
2. Барановский В. И„Электроннолучевые трубки, М., Госэнергоиздат, 1961, с. 210 †2.
