Сплав на основе рения

 

О П И С А H И Е (»)53366l изоБеетиНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-By— (22) Заявлено 19.09.75 (21) 2173426/02 (51) М.Кл. - С 22 С 27/00 с присоединением заявки— (23) Приоритет— (43) Опубликовано 30.10.76. Бюллсте b М 40 (45) Дата опубликования описания 12.11.76 (53) УД1 669.849.782..292 (088.8) (72) Авторы изобретения

Н. М. Кондратов, И. В. Рогова, Е. Г. Гладких, Ю. П. Васильев, Е. М. Савицкий, М. А. Тылкина и Л. Л. Жданова (71) Заявитель (54) СПЛАВ НА ОСНОВЕ РЕНИЯ

Изобретение относится .к области металлургии и может быть использовано в микроэлеи<тропике для изготовления прецизионных термостабильных тонкопленочных резисторов.

Известен сплав, содержащий,,вес.

Кремний

Металл, выоранный пз указанной группы 1 — 10

Ренпй Остальное

Ванадий 17,73.

Рений Остальное (1) 10

Однако такой сплав не обладает комплексом необходимых свойств.

Наиболее близким по составу к предложенному является сплав, используемый для получения тонкопленочных резисторов методом катодного распыления, который содержит рений и кремний при следующем соотношении компонечтов, зес. /о.

Рений 65 — 80

Кремний 20 — 35 (2)

Целью изобретения является расширение диапазона B cTOpo)ly увеличения удельного электрического сопротивления и повышение термостойкости резисторов.

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Это достигается тем, что з предлагаемый сплав на основе рения, содержащего кремний, дополнительно введен металл из группы, содержащей ванадий, ниобий пли тантал прп следующем соотношении,компонентов, вес. о/о.

Для получения сплава готовят девять шпхтозых смесей ингредиентов.

Каждая шихтовая с»ссь сплавляется отдель. о з вакуумной электронно-лучевой плавильной установке в медном зодоохлаждаемом кристаллизаторе.

Предлагаемые сплавы позволяют получит., методом поннопл азменного распыления высокоомные термостабпльные прецизионные тонкопленочные резисторы со следующими характеристиками:

533661

Температурнь1 0 коэффициент сопротивления

1Π— " град. —

Стабильность за

1000 ч, о ,о

Удельное сопротивление, ол! П

Состав сплава, вес. %

94 1

1000

0,5

> 9

82 5

5000

05

70 10

10000

0.5

1050

94 —

83 — 0

70 — 10

0.5

4500!

0,5

10000

0,5

1 5

1000

0,5

10000

10 20

800

30

1,0 (прототип) Кремний

Металл, выбранный из указанной груп tti 1 — 10

Ренин Остальное

Составитель Е. Хокрякова

Те«род В. Рыбакова

Корректор В. Гутман

Г слактор 3. Ходакова

Заказ 955, 1461 1!зл. ¹ 1739 Тираж 704 Г!олписное

ЦНИ1!П!! Государственного комитета Совета Министров СССР по лелам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская паб., д. 4/5

Тпп. Харьк. фил. пред. «Патент»

Как видно из таблицы, величина удег!ьног0 электрического сопротивления значительно больше, а температурный, коэффициент сопротивления меньше на порядок величины, чем у тонкопленочных резисторов извест!!ого сплава.

Более высокоомные и термостабнльныс тонкопленочные резисторы на основе указанных в таблице сплавов позволяют создавать прецизионные в!икроминиатюрные элементь:

:микросборо!к.

Существенным достоинством предлагаемы: сплавов является их технолотическая совмес тимость с широ ко используемыми B микроэлектронике, материалами и возможность изготовления резистивных элементов высокопроизводительными со временными методами.

Формула изобретения

Сплав на .основе,рения, содержащп кремний, отл и чаю щийся тем, что, с целью расширения диапазона удельного электрического сопротивления в сторону увеличения и повышения термостабильности, он дополнительно содержит элемент, выбранный из группы, содержащей ванадий, ниобий, тантал, прц следующем соотношении компонентов, вес. !II

Источники информации, при:!ятые во внимание,при экспертизе:

1. «Изв. высш. уч. заведений. Цветная itеталлургня», 19бб, № б, с. 14б.

2. Авт. св, Л 424504, кл. Н 01 С 7/ОО, 21.12.73 (прототип) .