Установка проекционной электронной литографии

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (11) 543915 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено27.05,75 (21) 2142941/12 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано25.01.77. Бюллетень № 3 (45) Дата опуоликования описания 28.04.77 (51) М. Кл.еч ОЗ 17/ОО

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.385..833 (О88.8) В. В. Кузьмин, В, М, Сутырин и Х. И. фейгин (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) УСТАНОВКА ПРОЕКЦИОННОЙ ЭЛЕКТРОННОЙ

ЛИТОГРАФИИ

Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов.

Известна установка проекционной электронной литографии, содержащая ультрафиолетовый источник, электрод с фотокатодом, электрод с подложкой, систему электромагнитных катушек и высоковольтный источник питания.

Недостатком ее является недостаточная точность контроля дозы электронов, эмитированных с фотокатода на подложку, вследствие того, что время экспонирования при одном и том же фотокатоде может меняться от нескольких секунд до нескольких минут из-за резких изменений интенсивности электронной эмиссии с фотокатода.

Целью изобретения является повышение точности контроля дозы электронов, эмитированных с фотокатода на подложку.

Это достигается тем, что установка снабжена цифровым дозирующим интегратором электронного типа и датчиком тока, причем последние соединены между собой параллельно, вкючены на вход цифрового дозирующего интегратора и размещены в теле электрода с подложкой на пути потока электронов с фотокатода.

На фиг. 1 изображена схема проекционной системы установки; на фиг. 2—

10 взаимное расположение фотокатода, подложки и четырех датчиков тока.

Установка содержит ультрафиолетовый источник 1, фотокатод 2, закрепленный

15 на электроде 3, электрод с подложкой 4, системы электромагнитных катушек 5 и высоковольтный источник питания 6, а также цифровой дозирующий интегратор 7 электронного типа, и датчики тока 8, при20 чем последние соединены между собой параллельно, включены на вход цифрового дозирующего интегратора 7 и размещены в теле электрода 9 с подложкой 4.

Установка работает следующим обра25 зом, 543915 юг, 1

Под действием света ультрафиолетового источника 1 электроны эмитируют с поверхности фотокатода 2, ускоряются под действием электрического потенциала, приложенного между катодом 2 и подложкой 4 от высоковольтного источника питания 6, и фокусируются на подложке 4 однородным магнитным полем, созданным системой электромагнитных катушек 5.

При достижении на подложке 4- дозы электронов, обеспечивающей нормальное экспонирование электроно-резистивного слоя, интегратор 7 выключает высоковольтный источник питания 6, прекращая процесс экспонирования.

Ф ормула изобретения

Установка проекционной электронной литографии, содержащая ультрафиолетовый и точник, электрод с фотокатодом, электрод с подложкой, систему электромагнитных катушек и высоковольтный источник питания, отличающаяся тем,что,с целью повышения точности контроля дозы электронов, эмитированных с фотокатода на-подложку, она снабжена цифровым дозирующим интегратором электронного типа и датчиками тока, причем последние соединены между собой параллельно, включены на вход цифрового дозирующего интегратора и размещены в теле электрода с подложкой на пути потока электронов с фотокатода.

543915

Составитель В. Ермашов

Техред О. Луговая Корректор Б. Югас

Редактор А. Бер

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Заказ 1 035/6 3 Тираж 574 Подписное

UHHHIIH Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113О35, Москва, Ж-35, Раушская наб„д, 4/5