Установка для присоединения выводов полупроводниковых приборов
0оез Советских Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 05.08.74 (21) 2050297/25 с присоединением заявки № (23) Приоритет Опубликовано 15.02.77. Бюллетень № 6 Дата опубликования описания 14.03.77 (51) М Кч г Н 011 21(66 Государственный комитет Совета Министров СССР по делам изобретений и OTKpblTHH (53) Ъ ДК 621.382(088.8) (72) Автор изобретения Н. И. Никулин (71) Заявитель (54) УСТАНОВКА ДЛЯ ПРИСОЕДИНЕНИЯ ВЫВОДОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ Изобретение относится к области производства полупроводниковых приборов и может быть использовано, в частности, для присоединения проволочных выводов при сборке транзисторов и ИС. Известна установка микроконтактной сварки МКС-02, содержащая сварочную головку с инструментом, снабженное капилляром устройство для подачи и обрыва проволоки, манипулятор и рабочий стол. Совмещение сварочной проволоки с рабочей частью инструмента производится оператором вручную и требует дополнительных затратрабочего времени, что снижает производительность труда. Известная установка ультразвуковой сварки УЗП-02М, содержащая сварочную головку с инструментом и капилляром, устройство для подачи и обрыва проволоки с зажимными планками и манипулятор. Совмещение привариваемой проволоки с рабочей частью сварочного инструмента обеспечивается тем, что подача проволоки производится через отверстие, направляющее проволоку под рабочую часть инструмента. Такая констрткция обеспечивает совмещение сварочной проволоки с рабочей частью инструмента только в том случае, если линия, соединяющая первую и вторую точки сварки, совпадают с осью, вдоль которой движется сварочный пнструмент в процессе формирования (разводки) вывода. Если же формирование вывода производится под углом к оси, то сварочная проволока выйдет из-под рабочей части инструмен5 та. Известна установка для присоединения выводов полупроводниковых приборов, содержащая сварочную головку с инструментом п капилляром устройство для подачи п оорыва 10 проволоки с зажимнымп планками и манипулятор с подвесной и неподвесной плитами. Однако в известной установке присоединение выводов без поворота столика с обраоатываемыми ножками полупроводниковых прпбо15 ров возможно лишь при условии расположения контактной площадки кристалла и торца траверсы по оси движения инструмента. В связи с тем, что контактные площадки п торцы траверс расположены одни относптель20 но других под разными углами, необходимо после присоединения вывода к контактной площадке кристалла вручную поворачивать с Hoжкамп приборов таким Oop230м, что сварочная проволока совмещается с рабо25 чей частью инструмента, что снижает производительность труп,а. С целью повышения произьодптельности установки и качества присоединения выводов капилляр укреплен на одной пз зажимных 6lt планок и соединен с приводом, выполненным 546961 в виде двух электромагнитов, установленных на держателе, шарнирно соединенном через шток, располо>кенный на подви>кной плите манипулятор, с механизмом подачи и обрыва проволоки, установленным на одной из зажимных планок, при этом электромагниты установлены с возможностью поочередного контактирования с подвижной плитой и пластиной, подпружиненной к неподвижной плите манипулятор. На фиг. 1 схематически изображена установка присоединения выводов; на фиг.2 — схема взаимного расположения инструмента и капилляра при сварке на кристалле; на фиг, 3 — схема взаимного расположения инструмента и капилляра при разводке и присоединении выводов к траверсам. Установка состоит из сварочной головки 1 с инструментом 2, закрепленной на рычаге 3, который установлен в стойке 4, соединенной с подвижной плитой 5 манипулятора 6. Вертикальное перемещение сварочной головки 1 осуществляется рычагом 3 от привода сварочной головки (на чертеже не показан). Механизм 7 подачи и обрыва проволоки соединен осью 8 с зажимными губками 9 и 10, между которыми находится электромагнит 11. На подвижной плите 5 установлен шток 12, соединенный посредством кронштейна 13 с осью 8, а посредством подвижного соединения 14 и штока 15 — с держателем 16 электромагнитов 17 и 18. Электромагнит 17 периодически жестко соединяется с пластиной 19, подпружиненной к неподвижной плите 20. Электромагнит 18 периодически жестко соединяется с подвижной плитой 5. На за>кимной губке 10 установлен подающий капилляр 21, в который подается проволока 22 барабана 23 при оединения к траверсам 24 и 25 и контактным глощадкам кристалла 25, расположенным на ножке полупроводникового прибора 27. Установка работает следующим образом. В исходном положении электромагнит 18 включается и жестко соединяется с подвижной плитой 5, электромагнит 17 отключен и свободно перемещается по плоскости подпружиненной пластины 19. Проволока 22 заправляется между губками 9 и10 в подающий капилляр 21 под инструмент 2. Сварочная головка 1 с инструментом 2 и подающее устройство с капилляром 21 совмещаются с манипулятором 6 контактной площадкой кристалла 26. Приводом сварочной головки через рычаг 3 инструмент 2 опускается на проволоку 22 и присоединяет ее к контактной площадке криталла. Электромагнит 18 отключается, включается электромагнит 17, при этом последний жестко соединяется с подпру>киненной пластиной 19, фиксируя держатель 16 относительно неподвижной плиты 20. Затем при помощи манипулятора 6 производят совмещение инструмента 2 с торцом траверсы 25. Сварочная головка 1 с инструментом 2 вместе с верхней плитой 5 манипулятора 6 перемещается механизмом перемещения и останавливается над торцом траверсы 25 ножки 27, при этом подающей капилляр 21 с проволокой 22 связан с кронштейном 13 и штоком 12 вокруг неподвижного держателя 16 так, что ось присоединяемой проволоки совмещается с центром инструмента. Приводом сварочной головки через рычаг 3 сварочная головка 1 с инструментом опускается и присоединяет другой конец вывода к торцу траверсы 25. Включается электромагнит 11, губки 9 и 10 притягиваются, зажимают проволоку 22, а механизм 7 обрывает проволоку и рабочей кромки инструмента 2. Затем сварочная головка и механизм 7 вместе с подвижной плитой 5 манипулятора 6 возвращаются в первоначальное положение. Отключается электромагнит 18, соединяющий капилляр 21 через держатель 16, подвижное соединение 14, шток 15 кронштейн 13 и ось 8 с подвижной плитой манипулятора. Манипулятором совмещается инструмент со второй контактной площадкой кристалла 26. Механизм 7 подается конец проволоки в подающем капилляре 21 под инструмент 2, который опускается, присоединяя проволоку к кристаллу, Отключается электромагнит 11, освобождающий проволоку 22 в губках 9 и 10. Порядок присоединения другого конца вывода к траверсе 24 аналогичен описанному выше порядку присоединения вывода к траверсе 25. Изменение угла поворота капилляра 21 (изменение угла разводки вывода) осуществляется путем регулирования расстояния между подпружиненной пластиной 19 и неподвижной плитой 20, вследствие чего происходит измене>IHL соотношения плеч, образованны.; звеном I3 и звеньями 14 и 15. Формула изобретения Устрановка для присоединения выводов полупроводниковых приборов, содержащая сварочную головку с инструментом и капилляром, устройство для подачи и обрыва проволоки с зажимпыми планками и манипулятор с подвесной и неподви>кной плитами, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения качества соединения и производительности установки, капилляр укреплен на одной из зажимных планок и соединен с приводом, выполненном в виде двух электромагнитов, установленных на держателе, шарнирно соединенном через шток, расположенный на подвижной плите манипулятора, с механизмом подачи и обрыва установленном на одной из планок, при этом электромагниты установлены с возможностью поочередного контактирования с подвижной плитой п ITëàñïïtîé, подпру>кпненной к неподвижной плите манипулятора. 546961 Фиг. / г5 27.Оиг.2 фиг 3 Составитель Н. Островская Тсхред Е. Хмелева Корректор Т. Добровольская Редактор А. Попова Типография, пр. Сапунова, 2 Заказ 338/8 Изд. № 219 Тираж 1019 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений п открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
