Устройство для очистки деталей

 

О П И С А Н И Е <»>562885

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (б!) Дополнительное к авт. свид-ву— (51) М.Кл. Й 01 1. 21/72 (22! Заявлено 02.01.74 (21) 1982019 25 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (43) Опубликовано 25.06.77. Бюллетень ¹ 23 (45) Дата опубликоватшя описапшя !9.10.77

Государственный комитет

Совета Министров СССР

fl0 делам изобретений и открытий (53) .УДК 621.382 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. И. Тетерьвов и Е. П. Бооылев (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОЧИСТКИ ДЕТАЛЕЙ

Изобретение относится к оборудованшо для полупроводникового производства, в частности, для очистки деталей полупроводниковых приборов.

Известна установка для мойки и обезжиривания изделий летучими растворителями, содержащая камеру, нагреватель и систему конденсаторов для улавливания паров, а также систему регенерации растворителя (1).

Недостатком установки является низкая производительность.

Известна так ке установка для очистки деталей, содержащая камеру с зонами обработки, транспортный механизм в виде ротора, на ступице которого закреплены штанги с кассетами для деталей и привод (2).

Недостатками установки являются ее сложность, низкая производительность, обусловливается виорацией деталей только на одной позиции. Допуская удары деталей при обработке, известное устройство затрудняет применение era в производстве полупроводниковых приборов.

Цель изобретения — сообщение кассетам с деталями возвратно-поступательного движения ударного характера для повышения производительности.

Это достигается выполнением ступицы ротора в виде муфты предельного момента шар .кового типа, одна .полумуфта которой жестко посажена íà вал привода, а вторая установлена подвижчо на его шейке.

На фиг. 1 изображен общий вид установки; на фиг. 2 — разрез по А — Л на фиг. l.

Установка содержит привод 1, ванну 2 жидкостной обработки, парообразователь 3, окно 1 для забора воздуха, конденсаторы над ванной 5 для улавливания паров, конденсаторы б в зо е финишной обработки в парах, воздуховод 7 вытяжной вентиляции, ротор 8, упор 9, штанги 10 ротора, кассеты 11 с обраоатываемыми изделиями, вращающийся вал

12, полумуфту 18, пружину 14, шарикову:о голумуфту 15 корпус lб вала, электромагнит 17.

Установка работает следующим образом.

Кассеты 11 (см. фиг. 1) с деталями, подвергаю,цимися обработке, через окно 4 подвеillÿâàþò на штанги 10 ротора 8. Затем включают электромагнит 17 (см. фпг. 2), который воздействует на упор 9, передвигает его, освооождая ротор 8, и привод 1 (см. фпг. 1), передающий вращение валу 12 (см. фиг. 2) с полумуфтои 18.

Полумуфта 18 передает крутящий момент полумуфте 15 и, таким образом, поворачивает ротор, перенося детали в первую зону обработки в горячем травителе в ванне 2 (см. фиг. 1). В это время электромагнит 17 (см. фиг. 2) выключен, упор 9 выдвинут и ротор

562885

8 поворачивается на 4 окружности до встречи с упором 9.

Таас как вал 12 с полумуфтой 18 продолжает, вращаться, то полумуфта 18, взаимодействуя своими пазами с шариками полумуфты

15, сообщает ротору 8 с изделиями возвратно-поступательные колебания ударного характера. По истечении времени обработки в горячем растворителе подается элвктричеокий импульс на электромагнит 17, который, воздействуя на упор 9, отодвигает его. Ротор 8, как уже было описано выше, поворачивается, перенося кассету с обрабатываемыми деталями на следующую позицию — финишной обработки в парах травителя, где колебания изделиям сообщаются аналогично как и на первой позиции, затем детали переносятся в зону. сушки, где они сушатся за счет создания направленного воздушного,потока (окно 4— для забора воздуха). Колебания кассеты обеапечкваются так же, как и на предыдущих позициях.

По окончаниии обработки через окно 4 снимается кассета с обработанными деталями, на ее место вешается новая кассета са следующей партией деталей, подлежащих обработке, и весь цикл повторяется, Выполнение ступицы ротора в виде муфты предельного момента шарикового типа, одна полу муфта которой жестко посажена на вал привода, а вторая установлена подвижно на

его шейке, позволяет сообщать кассете вместе с деталями возвратно-,поступательного движения ударного характера и тем самым повысить производительность и качество очист.ки деталей, так как вследствие сообщения им возвратно-поступательных движений ударного характера в зоне жидкостной обработки происходит интенсввное омывание деталей растворителем и удаления продуктов очист.ки, а в зоне обработки в парах растворителя и в зоне сушки происходит стряхивание конденсированных капель растворителя и продуктов очистки с поверхности:деталей.

Кроме того, это позволяет уменьшить габаритные размеры установки и упростить ее конструкцию.

Формула изобретения

Установка для очистки деталей, содержащая камеру с зонами обработки, транспортный механизм в виде ротора, на ступице которого закреплены штанги с кассетами для деталей и привод, отличающаяся тем, что, с целью сообщения кассетам с деталями возвратно-поступательного движения ударного характера для повышения производительности, ступица ротора выполнена в виде муфты предельного момента шарикового типа, одна полумуфта которой жестко посажена на вал привода, а вторая установлена подвижно на его шейке. !

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе.

1. Авторское свидетельство СССР

Хо 463757, кл. С 23 g 5/04, 03.07.72 г.

2. Крутоус Е. Б., Некрин М. И. Техника

ЗЗ мойки изделий в машиностроении, М., Машиностроение, 1969, с. 232.

562885

1 1,!(Корректор В. Гутман

Редактор Н. Разумова

Заказ 538/1430 Изд. ¹ 77 Тираж 995 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Я-35, Раушская наб., д. 4/5

Тпп. Хгрьк. фил. пред. «Патент»

Составитель Ю. Цветков

Тек ред В. Рыбакова!!