Раствор для локального химического травления элюминия

 

ОПИС Й-ИЕ

ИЗОЬЕЕТВНИЯ 1ш 566865

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 12.02.76 (21) 2322690/26 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.07.77. Бюллетень № 28

Дата опубликования описания 29.08,77 (51) М. Кл.з С 09К 13/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (53) УДК 621.794.4 (088.8) (72) Авторы изобретения

И. Н. Сорокин, В. 3. Петрова, Н. Г. Никитина и Л. В. Белов

Московский институт электронной техники (71) Заявитель (54) РАСТВОР ДЛЯ ЛОКАЛЬНОГО ХИМИЧЕСКОГО

ТРАВЛЕНИЯ АЛЮМИНИЯ

Изобретение относится к области радиотехники, а именно к технике создания элементов для сборки интегральных схем, и может быть использовано при локальном химическом травлении алюминиевого проката с полиимидного носителя. известен раствор для химического травления алюминиевых сплавов, содержащии ионы .u"+, п и NO -.

Основным недостатком известного раствора является неооходимость в последующеи оораоотке металла в о%-ном растворе щелочи при бО (., что приводит к разрушению защитнои резистивнои маски. наиболее близким Tex zvecmivu решением K изооретению является раствор для химического травления алюминия, включающии хлорное железо и соляную кислоту. недостатком известного раствора является сравнительно большая величина бокового подтравливания алюминиевои фольги под участками, защищенными слоем фоторезиста, и неровность края рисунка.

1 ель изооретения — повышение скорости и равномерности травления алюминия, а также уменьшение бокового подтравливания.

Это достигается тем, что раствор дополнительно содержит уксусную кислоту и глицерин при следующем соотношении компонентов, г/л:

Хлорное железо 280 — 320 (оляная кислота (уд. вес. 1,19ã/ñì ) 20 — 40

Уксусная кислота (ледяная) 3 — 9

5 l лицерин 180 †2

Иода Остальное

Ь предлагаемом растворе хлорное железо выполняет роль окислителя — активной составляющей, соляная кислота подавляет гид10 ролиз хлорного железа и создает необходимое рн, уксусная кислота ооеспечивает равномерность края рисунка и минимальное боковое подтравливание, глицерин, как вязкостная добавка, позволяет регулировать время травле15 ния алюминия, обеспечивает полирующий эф. фект и получение ровного края травления, Llp им ер 1.,4ля получения раствора гота. вят три смеси компонентов, содержащих каждая, г/л; хлорное железо 300, соляную кисло20 ту. (уд. вес. 1,19 г!см ) 30, глицерин 10, отли. чающиеся друг от друга концентрацией уксус. ной кислоты, равнои в каждой смеси последовательно 3, b и 9, а также содержанием воды, составляющей дополнительно до 100% часть в каждой смеси. Каждую смесь готовят отдельно при 20 С растворением препаратов марки «чда» в дистиллированной воде, 11олученные смеси характеризуются параметрами травления алюминиевой фольги, 30 представленными в табл, 1.

566868

Таблица 1

Величина бокового подтравливанпя, мкм

Скорость травления алюминия, мкм, мин

Концентрация уксусной кислоты, г л

Неровность края, мкм

18

18

33

19

10

Формула изобретения

Таблица 2

Величина бокового подтравливанпя, мкм

Скорость травления алюминия, мкм/мпн

Концентрация глицерина, Неровность края, мкм г, л

240

28

19

35

20

Составитель И. Сорокин

Тскрсд М. Семенов

Корректор Л. Ьрахнина

Редактор Т. Пилипенко

Заказ 1881/12 Изд. № 543 Тираж 850 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изооретенпй и открытий

113035, Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Пр им е р 2. Для,получения раствора готовят три смеси компонентов, содержащих каждая, г/л: хлорное железо 300, соляную кислоту

15 (уд. вес 1,19 г/смз) 30, уксусную кислоту (ледяную) 6, отличающиеся друг от друга концентрацией глицерина, равной в каждой смеси последовательно 180, 210 и 240, а также

20 содержанием воды, составляющеи дополнительно до 100% часть в каждой смеси, Каждую смесь готовят отдельно так же, как в примере 1.

Полученные смеси характеризуются параметрами процесса травления алюминиевой фольги, представленными в табл. 2.

Данные табл. 1 и 2 получены при химическом травлении алюминиевой фольги толщиной 30 мкм с полиимидного носителя через фоторезистивную маску. Растворы не перемешивались, их температура — 20 С.

При концентрациях хлорного железа меньше 280 и больше 320 г/л скорость травления алюминия резко снижается, при концентрациях соляной кислоты меньше 20 г/л скорость травления невелика, а при концентрациях больше 40 г/л скорость процесса не зависит от концентрации кислоты.

Оптимальные концентрации дополнительных добавок следующие, г/л: уксусной кислоты 3 — 9, глицерина 180 — 240.

Изменение диапазона концентраций этих компонентов значительно влияет на скорость и равномерность травления алюминиевой фольги, величины бокового подтравливания элементов.

Раствор для локального химического травления алюминия с полиимидного носителя, включающий раствор хлорного железа и соляной кислоты, отличающийся тем, что, с целью повышения скорости и равномерности травления, а также уменьшения бокового подтравливания, он дополнительно содержит уксусную кислоту и глицерин при следующем соотношении компонентов, г/л:

Хлорное железо 280 †3

Соляная кислота (уд. вес. 1,19 г/см ) 20 — 40

Уксусная кислота (ледяная) 3 — 9

Глицерин 180 — 240

Вода Остальное