Способ электронномикроскопического исследования замороженных образцов

 

О П И С А Н И Е „„в7о126

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К. АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено21.04.76 (21) 2351794/25 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано25.08.77.Бюллетень №31 (45) Дата опубликования описании 28.09.77 (51) М. Кл.

Н 01 Х 37/26

Гасударственный номнтет

Воввтв Министров СССР оо делам изооротений н открытий (53) gÄК 537.533, .35 (088,8) (72) Авторы изобретении

P. А. Бочко и В. А. Кузьмин

Московский ордена Трудового Красного Знамени институт нефтехимической и газовой промышленности им. И. М. Губкина (71) Заявитель (54) СПОСОБ ЭЛЕКТРОННОМИКРОСКОПИЧЕСКОГО

ИССЛЕДОВАНИЯ ЗАМОРОЖЕННЫХ OBPABUOB

Изобретение касается электронномикроскопических исследований, в частности исследования микроструктуры замороженных образцов.

Известны сгособы исследования образцов

B растровом электронном микроскопе, основанные на сканировании поверхности образца электронным лучом и регистрации полученных сигналов (lj, Их основным недостатком при исследовании замороженных образцов является нагрев последних электронным лучом, а также возможное испарение замороженной влаги в условиях высокого рабочего вакуума.

15 Наиболее близким к предложенному является способ электронномикроскопического исследования замороженных образцов, преду сматривающий предварительное покрытие об разца проводящей защитной пленкой путем 20 вакуумного напыления (2J.

Основным недостатком этого способа яв ляется частичная сублимация замороженного обьекта при напылении на его поверхность разогретого вещества. 25

11елью изобретения является уменьшение сублимации замороженных образцов.

Это достигается тем, что в начальный период сканирования образца электронным лучом производят однократную подачу на поверхность образца углеводородсодержащьго газа.

Замороженный образец помещают в элек тронный микроскоп и одновременно с включением электронного пучка на поверхность образца производят однократную подачу угльводородсодержащего газа. При этом элек тронный пучок взаимодействует с молекульми газа, и в результате происходит их распад, а углерод в виде тонкой пленки осаждается на образце. Подача газа может осущест вляться различными способами, например, по трубкам; или размещением рядом с образцом капсулы с углеводородным веществом, имеющим высокое давление паров. Капсула должна иметь крышку, которая открывается на короткое время. Толщина пленки зависит от количества подаваемого газа и времени воздействия электронным пучком. После

579126

Составитель А. Суворов

Техред H. Баоурка Корректор М. Йвмчи»

Редактор Е. Кравцова

Заказ 3067/46 Тираж 976 Подписное

UHHHHH Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж35, Раушская иаб., a. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Уипород, ул. Проектная, 4 образовании пленки нужной толщины подачу газа прекращают и исследуют образец.

Формула изобретения

Способ электронномикроскопического ис следования замороженных образцов с помощью растрового электронного микроскопа, включающий покрытие образца защитной плен- О кой, сканирование его электронным лучом и регистрацию полученных сигналов, о т л ич а ю ш н и с я тем, что, с целью уменьшения сублимации замороженных образцов, в начальный период сканирования образца алектронным лучом производят однократную подачу на поверхность образца углеводород содержащего газа, Источники информации, принятые во вни мание при экспертизе;

1. Хокс П„ Электронная оптика и елея тронная микроскопия, М., Мир 1974, с. 217.

2."DEOX Меме 12, М 2,28, 1974.