Электролит для осаждения палладия

 

О П И С А Н И Е (() 572539

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВЙДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. спид-ву (22) Заявлено 29.04.76 (21) 2356574/02 с присоединением заявки Ме (23) Приоритет

Опубликовано 15.09.77. Бюллетень Ке 34

Дата опубликования описания 04.09.77 (5!) М. Кл. - С 250 3/50

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР аа делам изааретений и открытий (53) УДК 621.357.7:

: 669.234(088.8) (72) Авторы изобретения А. П. Достанко, П. П. Гойденко, Л. К. Кушнер и Ю. Д. Чистяков

Минский радиотехнический институт (71) Заявитель (54) ЭЛ ЕКТРОЛ ИТ ДЛЯ ОСАЖДЕН ИЯ ПАЛЛАДИ

Изобретение относится к области гальваностегии, в частности к электролитическому осаждению палладия; okIO может быть использовано в радиотехнической и электронной промышленности.

Известны сульфаматный, аминохлоридный и бромидный электролиты палладирования (1). Однако микротвердость покрытий, полученных из этих электролитов, недостаточная (310, 260 и 220 кг/мм соответственно).

Наиболее близким к описываемому изобретению по составу компонентов являетсяэлектролит для осаждения палладия, содержащий хлористый палл адий, сер но кислый аммоний и сахарин (2), Электролит содержит также соляную кислоту и аммиак, Из указанного электролита получают полублестящие покрытия микротвердостью 250 кг/мм, Предлагаемый электролит отличается от известного тем, что, с целью повышения микротвердости и степени блеска покрытия, он дополнительно содержит мочевину и 2,2 -дипиридил при следующем содержании компонентов, г/л:

Хлористый палладий 10 — 30

Сернокислый аммоний 20 — 40

Мочевина 50 — 130

Сахарин 0,3 — 0,8

2,2 -Дипиридил 0,02 — 0,03.

Процесс осаждения рекомендуют проводить

2 при рН 6 — 8, комнатной температуре и катодной плотности тока 0,5 — 1,5 А/дм .

Описываемый электролит позволяет получать блестящие покрытия толщиной до 30 мкм, 5 воспроизводимые по качеству, однородные, обладающие высокой износостойкостью. Кроме того, покрытия, полученные из предлагаемого электролита, имеют высокую адгезию с медью, никелем, коваром, серебром и други10 ми металлами, применяемыми в микроэлектронике.

Микротвердость осадков 330 — 340 кг/мм2, что значительно превышает микротвердость осадков, полученных из известных электроли15 тов. Общая отражательная способность покрытий — 73%, зеркальная отражательная способность -45%. Переходное сопротивление при нагрузке на контакт 50 г 0,003 м.

Вследствие высокой плотности и мелкой зер2О нистости осадки являются коррозионно-стойкими в серу- и влагосодержащей среде. Коррозионные испытания показывают, что покрытия толщиной 3 — 5 мкм защищают от коррозии. Износостойкость палладиевых покрытий

25 толщиной 4 мкм при режиме постоянного тока; напряжение 150 В и ток 100 мА, составляет 120000 переключений по сравнению с

80000 переключений для покрытий из известного электролита.

30 Пример 1. Осаждение палладиевого по572539

Формула изобретения

Микротвердость осадка, кг/ммв

Время осаждения, мин

Толщина осадка, мкм

Плотность тока, A/äì

15,8

16,1

345

0,5

1,0

1,5

Составитель В. Бобок

Техред И, Михайлова Корректор Т. Добровольская

Редактор Н. Корчеико

Заказ 2223/19 Изд. № 742 Тираж 671 Подписное

НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 крытия на корпуса интегральных схем проводят из электролита следующего состава, г/л:

Хлористый палладий 10

Моч евина 100

Сернокислый аммоний 20

Сахарин 0,3

2,2 -Дипиридил 0,03. рН электролита 7; температура 20 С; катодная плотность тока 1 А/дм, время осаждения

11 мин. Толщина полученной пленки 2 мкм.

Покрытие равномерно по толщине, имеет однородную структуру, мелкокристаллическое, обладает хорошей адгезией. Оно хорошо смачивается легкоплавкими припоями, позволяет подсоединять проволочные выводы методом термокомпрессии и ультразвуком.

Пример 2. Осаждение палладия проводят из электролита, содержащего, г/л:

Хлористый палладий 30

Мочевину 70

Сернокислый аммоний 40

Сахарин 0,6

2,2 -Дипиридил 0,02. рН электролита 8.

Из данного электролита в зависимости от плотности тока получают покрытия микротвердостью 330 — 345 кг/ммз (см. таблицу).

Прим е р 3, При осаждении из электролита, содержащего, г/л:

Хлористый палладий 20

Мочевину 120

5 Сернокислый аммоний 30

Сахарин 0,8

2,2 -Дипиридил 0,03, при рН 6,5 и плотности тока 1,2 А/дмз в течение 20 мин получают покрытие толщиной

10 4 мкм. Общая отражательная способность

его 73 /о, зеркальная отражательная способность 45 /o.

Электролит для осаждения палладия, содержащий хлористый палладий, сернокислый аммоний и сахарин, отличающийся тем, что, с целью повышения микротвердости и

20 степени блеска покрытия, он дополнительно содержит мочевину и 2,2 -дипиридил при следующем содержании компонентов, г/л:

Хлористый палладий 10 — 30

Сернокислый аммоний 20 — 40

25 Мочевина 50 — 130

Сахарин 0,3 — 0,8

2,2 -Дипиридил 0,02 — 0,03.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Вячеславов П. М. и др. Гальванотехника благородных и редких металлов. Л., Машиностроение, 1970, с. 150 — 152.

35 2. Авторское свидетельство Ко 224243, кл.

С 25D 3/50, 1967.