Стекло

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскнк

Социалистических

Республик (11) 579241 (6l) Дополнительное н авт. свид-ву (22) Заявлено 070676(21) 2370141/29 — 33 с присоединением заявки №вЂ”

{5l) М. Кл.

С 03 С 3/10

ГЬЬЯ161тюююЮН6 Ююяютьт

61ЮЮТЮ МЮЬЮЮТЮЬЮ 666Р

11 64141 юьюббютю416

1 ЬТЮритю6 (23) Приоритет (3) УДК 666. 112. 93 (088. 8) (43) Опубликовано 0511.77Бтоллетень М 41 (45) Дата опубликования описания 231177 (72) Авторы изобретения

А. А. Герчиков, У. Я. Седмалис, р. А. Цимдинь и Я. П. Лиепинь

Рижский Ордена Трудового Красного знамени политехнический институт (7l) Заявитель (54) СТЕКЛО

Таблица 1

-Содержание, вес.В

Температура варки С

Номер стекла п0 сна .6 0 0

50, И О в 0

15,05

19,1

25 5

5,1

ll 4

17 0

57, 45

47,3

37 5

l2

19,2

13,8

5 4

Изобретение относится к стеклам с низким коэффициентом термического расширения, способным образовывать тонкие пленки на кремнии и других полупроводниковых материалах, исполь- 5 зуемых в радиоэлектронной и радиотехнической промышленности.

Известно стекло, включающее

510 49-51; А О 23-25; Mg 0 — 3, 54,5; Zn0-5-10; СФО 7-8; В оз 5 10

5,5; Со0. -2,5-3,5 (1)

Указанное стекло нв облаДает достаточно низким коэффициентом термического расширения и не способно образовывать тонких пленок при рас- )5 пылении в вакууме.

Цель изобретения — понижение коэффициента термического расширения стекла и получение из него тонких пленбк на кремнии при термическом распылении в вакууме. Это достигается тем, что стекло имеет следующий состав (по синтезу), вес.Ю: 610 — 35-60;

АГ О, — 5-25 < $0 — 5-17; 2пΠ— 1526; Сд0 — О, 5-6; Ьг0 — 0,5-6; 3 0

0 5-6.

Стекло варят в электрической печи в корундовых тиглях при максимальных температурах — 1340-1450 С.

Стекла размалывают и шаровой мельиице и полученные после рассева фракции порошка стекла 200-300 мкм и ниже 63 мкм используют для нанесение на деталь методом вакуумного терми» ческого распыления и методом плазменного напыления.

Пример составов стекол приведен в табл. 1.

0,5 0,6Ü 2,05 1340

3,0 3,3 2,1 1380

5,8 4,7 4,1 1420

579241

Ф

Физико-химические свойства сос0 05

0,07

0,10

0,07

0,09

0,12

6,0

6,8

8,3

680

41

918 с я тем, что, с целью понижения коэФфициента термического расширения и получения пленочного покрытия на полупроводниковых материалах, преиЯО мущественно на кремнии, оно дополнительно содержит 5г0 и ВаО при следующем соотношении между компонентами, вес.%:

Полученные стекла имеют ряд преимуществ по сравнению с известными.

Они обладают малыми коэффициентами термического расширения. Благодаря отсутствию екиси бора и щелочных окислов они способны сохранять свой сос ав при термическом распылении в вакууме и даже при плазменном напылении и давать также пленочные покры тия на кремнии и других полупровод- Q6 никовых материалах. Стекла являются бесщелочнымн и имеют высокие диэлектрические свойства и хорошую химическую устойчивость к воде.

610, АС,О, М о

Zn0

СаО

5v0

Вс О

Формула изобретения

Составитель A. Цуриков

Редактор С. Головенко Техред A.Áîãäàí Корректор Н.Ковалева

Заказ 4327/24 Тираж 583 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, %-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Стекло включающее 510, М О

Mg0,Zn0,СаО, отличающеетазов стекол приведены з таблице 2.

Таблица 2

3 5-60

5-25

5-17

15-26

0,5-6

0 5-6

0 5-6

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР

В 380599, кл. С 03 С 3/04, 1973 °