Стекло для стеклокристаллического материала

 

ОП ИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

< ) 568607 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 04.02.76 (21) 2321591/33 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (43) Опубликовано 15.08.77. Бюллетень № 30 (45) Дата опубликования описания 09.11.77 (51) N,Êë.2 С 03 С 3!22

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 666.112.9 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. 3. Петрова, В. И. Гребенькова, Л. П. Батюня и А. И. Зюбрик (71) Заявитель

Московский институт электронной техники (54) СТЕКЛО ДЛЯ СТЕКЛОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО

МАТЕРИАЛА L

15

КТР, а 10 град — в интервале температур

Хим. устойчивость

Температура оплавления, С р-„„Îÿ с.и

Состав

1 =10() В 00,,р-ра HCI гидролит. класс

20 — 500 C

20 — 300

1,9

990 l 57,9

1 5 10 з

3 10"

64,7

Предложенный

Прототип

17,1; хуже V

950

75,7

Изобретение относится к составам стеклокристаллических материалов, используемых в качестве диэлектрических материалов в спае с коваром в основании корпусов интегральных схем и может найти широкое применение в микроэлектронике и других областях техники.

Известно стекло для стеклокристаллического материала, содержащее SION, A40>, ZnO, Li2O, К О, ZrO,, F, Rb O, Cs O, Ti02 (1).

Наиболее близким к изобретению по составу является стекло, содержащее ЯОг, А!гО,, 1 40, К О, P O;„ZrOq, ZnO (2).

Недостатками этото материала являются несогласованность с коваром,по КТР и низкая химическая устойчивость, что обуславливает низкие показатели механической и термической прочности и нестойкость к электролитическим ваннам никелирования и золочения.

Целью изобретения является повышение химической устойчивости, улучшение диэлектрических свойств и обеспечение согласованности по КТР с коваром. Это достигается

5 тем, что предлагаемое стекло дополнительно содержит F» Cs20 при следующем соотношечии компонентов, вес. /в.

SiOз 55 — 65

А1203 10 — 15

L)гО 10 — 15

К О 1 — 5

Р:О„ 2 — 3

F 0,5 — 2

ZnO 1 — 10

ZrO 0.2 — 1

Cs Π0,5 — 4

Изобретение поясняется следующим конкретным примером и свойствами:

SiO2 60; АIзОз 13,7; 140 12,2; К О 1,21

Рз05 2,5; F 1,0; ZnO 5,7; ZrO> 0,2; Cs20 3,5.

568607

Сопротивление изоляции после никелирования и золочения 1 10" Ом

Формула изобретения

Стекло для стеклокрпсталлического материала, например, для изготовления элементов интегральных схем, содержащее $10а, А40з, 140, К20, P OÄ-, ZnO, ZrO,, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью позышения химической устойчивости, диэлектрических параметров и обеспечения согласованности по коэффициенту термического расширения с коваром, оно дополнительно содержит F u

Cs>O при следующем соотношении компонегнтов, вес. %..

Источники информации, принятые во знимание при экспертизе:

1. Патент США № 3856497, кл 65 — 33, опубл. 1974.

2. Патент Великобритании № 1312700, кл. С1Ч, опубл. 1973.

Составитель А. Берсенев

Техред М. Семенов

Редактор А. Пейсоченко

Корректор И. Симкина

Заказ 667/1705 Изд. М 680

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и

Москва, 7К-35, Раушская

Тираж 585 Подписное

Совета Министров СССР открытий наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент»

Из приведенных данных видно, что по согласованности с КТР ковара, химической устойчивости и диэлектрическим параметрам лредлагаемый материал значительно превосходит известный, причем оптимальные добавки ZnO, CsqO u F находятся в пределах

6 — 8, 3 — 4 и 1 — 2 вес. %, соответственно.

Согласованность полученных матери". чов с коваром по КТР, более высокие показатели Г0 химической устойчивости и диэлектрических параметров позволяют получить более качественные паяные изделия с коваром по термостойкости, сопротивлению изоляции, устойчивости к электролитическим,ваннам нике- 15 лирования и золочения.

При изготовлении оснований корпусов интегральных схем гранулят, полученный из сплава стекла оптимального состава, высу- 20 шивали, измельчали до удельной поверхности 6 — 7 тыс. смх/г, готовили шликер на основе этого стеклопорошка и органической. связки. Из полученного шлпкера методом литья под давлением совместно с металличе- 25 скими заготовками получали изделия необходимой конфигурации. Заготовки собирали в графитовые формы и нагревали до 950—

1000 С для получения прочного изделия.

Полученные основания подвергали испыта- 80 ниям на герметичность, сопротивление изоляции, устойчивость к гальваническим ваннам нпкелирования и золочения, в результате чего получены следующие данные:

Герметичность < 5.,1,07 мкм л/с

Сопротивление изоляции 1 - 10 з Ом

%02

А1 0з

1-1зО

КзО

Р20.ZnO

Zr0>

CsgO

55 — 65

10 — 15

10 — 15

1 — 5

2 — 3

0,2 — 1,0

0,5 — 2

0,5 — 4