Устройство ввода газов в реакционную камеру

 

Союз Советских

Социалиетичееких

Республик. ф

1 (63) Дополнительное к авт. евни-ву (22) Заявлено 15.0874(21) 2054359 23-26

В 01 Z 17/32 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Онублнковано 259378. Ятоллетень № 11

Гаеударетеенный ыемнтет

Совета Мнннетрее СССР не Сени нее5ретенне н етнеьпнн (53) УДК 621. 315,592 (088,8) (45) Дата отт блнковшжя описания, 21:02.78

P2) Авторы изобретении

Н.С.Веремейчук и Г.A.Èâàíoíà

Pa} Заявитель

{54) УСТРОЙСТВО ВВОДА". ABOB В PEAKUHGHHVIO КАМЕРУ

Изобретение относится к,устройствам ввода газов в реакционную камеру для процессов газовой энитаксии,окис:ления :и диффузии и может быть ис-пользовано в полупроводниковой технике ° .В.известных устройствах для эпитаксиального осаждения подачу газов в камеру осуществляют через трубки с отверстиями, кольцеобраэные каналй 10 или капиллярные в корпусе реактора

gl) - 3 .: выполненные таким образом устройства ввода газов, однако, не обеспечивают необходимого смешивания ком- т5 понентов, однородного поступления их к осаждаемой поверхности.

Известно устройство ввода, газа в реакционную камеру, например, для процессов эпитаксии, окисления и диф- - g) фузии содержащее газовые вводы и распределители потоксв, выполненные в виде колец с отверстиями, которые произвольно расположены на рабочей стороне т 4) . - .. 25

В этом устройстве газовый поток на- . правляется в камеру параллельными пучками, что также не обеспечивает высокой степени смешивания газовых компонентов и их регулируемую подачу. 30

Цель изобретения — повышение сте= пени смешивания и регулирования пода" чи потоков. для этого предложено кольца распре = делителей установить концентрично с возможностью перемещения одного относительно другого; кольца имеют прямоугольное сечение со скосом внутрен-" него угла внешнего кольца, отверстия которого выполнены на скосе.

Скос выполнен под углом 40-45 к

0 общей оси колец.

На фиг..1 изображено устройство, общий вид; на фиг. 2 - то же, поперечный р — çðåç; на фиг. 3 — вид по стрелке A на фиг.l.

Устройство включает в себя средства для подачи тазов - газовые вводы 1: и 2, соединенные с распределителями потоков газа 3 и 4 в камеру . Распределители 3 и 4 выполнены в виде колец

5 и б с отверстиями для впуска газов в камеру. Кольца распределителей ус- тановлены концентрично с возможностью перемещения одного относительно друrdro и имеют прямоугольное сечение сО скосом 7 внутреннего угла внешнего кольца, отверстия которого выполнены на скосе. Скос расположен под углом

40-45- к общей оси колец (фиг.3) 598630

Один из газовых компонентов подают через распределитель 4, а другой через распределитель 3. Получаемый газовый поток, образуют два противолежащих телесных угла (см.фиг.2), что обеспечивает интенсивное и равномерное -смешивание газовых компонентов.

Перемещением распределителя 4 вдоль .оси относительно распределителя 3 обеспечивается смешивание газовых компонентов непосредственно в зоне осаждения и. регулировка расстояния точки смешивания от обрабатываемой поверхности.

Устройство может быть использовано в процессах, где требуется высокая степень смешивания компонентов и однородности состава вблизи обрабатываемой поверхности. В качестве примера рассмотрим осаждение слоев двуокиси кремния путем окисления. моносилана водородов в среде азота. Компоненты подают по распределителям 3 и 4 при расходе (л/мин)г моносилана

1,2> кислорода 0,61> газоносителя 10,5l®

Смешанный поток газа поступает к подложкам, нагретым до 420 С в зоне осажо дения. Полученные слои двуокиси кремния толщиной 0,.4 мкм при скорости их осаждения 0,08 мкм/мил. Разброс по толщине в партии составляет 10%.

Таким образом, устройство,обеспечивает равномерную и регулируемую подачу газов при их хорошей смешиваемости.

Формула изобретения

1. Устройство ввода газов в реакционную камеру, например, для процессов эпитаксии, окисления и диффузии, включающее средства для подачи газов, соединенные с распределителями потоков газа, выполненными в ниде колец с отверстиями для впуска газов в камеру, о т л и ч а ю щ е .е с я тем, что, с целью повышения степени смешивания и регулирования подачи потоков, кольца распределителей установлены концентрично с воэможностью перемещения одного относительно другого и имеют прямоугольное сечение со скосом внутреннего угла внешнего кольца, отверстия которого выполнены на скосе.

2. Устройство по п.1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что скос выполнен под углом 40-45 к общей оси колец.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Патент CDlA 93381114,кл.219- 38.5, 1968.

2. Патент США 93745969,кл.118-48, 1973.

З.Патент Японии В10175 кл.99/5/В15, 1972.

4."Электронная промышленность, 1973, М 2, с.78-79.

Жг,2

BudЯ

Составитель В. Безбородова ха.й " ю " *"

Заказ 1469/5 Тираж 964 Подписное

IlHHHtIH Государственного комитета Совета Министров СССР по.делам изобретений и открытий

113035 Москва Е-35 Ра ская наб.

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4