Способ определения качества формы поверхности фронтальных линз микрообъективов

 

СССР № 60130

Класс 42 h, 34», 35„

ПИ АНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВНДETEfl ЬСТВ .-

Зарегиетрироеано е Отделе изобретений Гогллина npv СНК СССР

K). В. Коломийцов.

Способ определения качества формы поверхности фронтальных линз микрообъективов., Заяалеко 2,ra@ra 1940 года а НКВ "-а М 854, Ооуб.1иковяно 31;taz 1941 года. и

Качество оптических поверхностей обычно проверяется по методу пробных стекол. Однако в случае испытания фронтальной линзы объектива микроскопа применение этого метода связано с большими затруднениями вследствие малых размеров такой линзы. В особенности трудно определять качество линзы на ее краях, где как раз и возможны наибольшие отступления поверхности от идеальной сферы.

Предметом изобретения является способ испытания на качество формы поверхности линз малых размеров, в частно"ти фронтальных линз микрообъективов, основанный на применении оптической схемы, напоминающей интерферометр Тваймана, отличакнцийся тем, что обе волны, применяемые в исследовании, создаются совершенно одинаково, а именно с помощью вставленных в каждую ветвь интерферометра фронтальной линзы, а также микрообъектива, фокус которого совпадает с центром кривизны линзы.

На прилагаемом чертеже изображены детали схемы, служащей для осуществления способа согласно из обретеншо. Здесь изображены. источник монохроматического света 1, линза-конденсор 2, диафрагма 3 с круглым отверстием, стеклянная пластинка 4, состоящая из двух склеенных плоскопараллельных пластинок с тонким полупрозрачным слоем серебра между ними, два одинаковых мнкрообъектива 5 и 6, эталонная фронтальная линза 7 микрообъектива с поверхностью заведомо хорошего качества в участке, которым она отражает свет, и испытуемая фронтальная линза 8, укрепленная на столике, имеющем;возможность наклонов относительно падающего пучка, благодаря чему испытанию может быть подвергнут любой учас1хж испытуемой линзы 8.

Описываемый интерферометр возможно оформить так. что его можно будет навинтить на тубус обыкновенного микроскопа.

Свет источника 1 собирается лин зой 2 на отверстии диафрагмы 3, находящейся на расстоянии нормальной длины тубуса от объективов 5 и 6.

Плас гинка 4 разделяет на два

1! и

) ! !

) ы ! 1 !

/ у ., 0 б

/О ("

Отв. редактор Н. В. Никкп к

Tnii. «Сов. печ,». N 69167. За к. K. 4э26--450

Цена 35 кдк.

Госпллбкадзт и, и:а расходящиеся лучи, падающие на:ь . Пучки эти затем собираются объ"t,ò;tüîì 5 и б в точках 9

tt 10. С этими точками совмещаются центры кривизны поверхностей 7 .*. 8. Вследствие этого после отра;кекия от последних поверхностей пучки возвращаются к пластинке 4 теми путями, какими шли от нее, и этой пластинкой соединяются в сдип пучок 11.

При хорошей юстировке прибора .; окуляр микроскопа видно одно резкое изображение отверстия диафрагмы, составленное из двух сов, падающих изображений этого отверстия. Вьц1ув .окуляр и аккомодируя глаз иа,плоскость выходного злу ы объе1;тива 6, мы увидим ин- ерференцио ру:о картину и по ее аиду можЯЧ удигь о величине отступления испытуемой поверхности от эталонной поверхности, аналогично тому, как это делается при испытании качества поверхностей по методу пробных стекол.

11оложение точного совмещения фокуса объектива б с центром кривизны поверхности 8 характеризуется тем, то полосы интерференции ири этом наименее искривлены.

Отступления .по верхности ст сферы можно определить с то;нсстью о 0,2 по; îñû. Измерения возможны, если сйнибки поверхнсст:-г лежат

1, в пределах от 0,2 полосы до = б полос. Дл тельиость испытания — несколько минут.

Если объективы 5 и б имеют апертуру 0,40, -о при одной наводке испытывается сравнительно небольшой участок поверхности, заключенный в телесном угле 46=, чем диктуется требование делать несколько .паводок на разные участки для исключения случайности ре,. зультата.

Из рассмотрения систем полос, принадлежащих разным сечениям испытуемой поверхности, можно определить ее астигматизм. !

Г рсдмст изобретения

Способ определения качества формы поверхности фронтальных линз MHKpOîáúåêòèâîâ с помощью интерферэметра Тваймана, треоующий установки испытуемой линзы на совпадение центра кривизны ее псверхности с фокусом микрообьектива, отличающийся тем, что в качестве фронта волны сравнения используют фронт волны, полученной с помощью аналогичным образом установленных во второй ветви интерферометра другого мнкрссбьектиза и эталонной фронтальной ли .азы.