Полировальный состав

 

ОЛИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

111+ -600И6.0

Сон1з Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 05.05.74 (21) 2024322/23-05 (51) М 1хл о С 09G 1/02 с присоединением заявки №

Государственный комитет

Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.03.78, Бюллетень № 12 (45) Дата опуоликованп". оппсаш1я 30.03.78 (53) 5 ДК 667.821(088.8) (72) Au Top!;1

I I a 0 б p CTCI I I I Jl

Н. В. Хабер, M. И. Хома, А, И. Татаренков, В. И. Ватаманюк, Е. Б. Бычков и В. А. Соболев

Калушский химико-металлургический комбинат (1 1 ) 3 аk!в!ITC I(> (54) ПОЛИРОВАЛЬНЫЙ СОСТАВ

Изобретение относится к полировальным составам, применяемым, в частности, для полировки твердых и сверхтвердых материалов, при изготовлении полупроводниковых кристаллов (пластин) и диэлектрических подложек.

Известны полировальные составы для указанной цели, включающие мелкодисперсные карбиды нли окислы мсталлов с различными добавками, например, растворов щелочей или солей щелочных металлов (1).

Напбол с близок по технической сущности и достигаемому эффекту к предлагаемому соcrau, ".-кл1очающпй мслкодиспсрсную кристаллическую двуокись кремния, глицерин, перекись водорода, этилендиамин и воду (2).

Однако известные составы имс1от следуloщие недостатки.

Недостаточная скорость съема поверхностного слоя, невозможность многократного использования состава, а также его токсичность, поскольку присутствие этилендиаMèна или диэтиламина вызывают заболевание кожи и другие аллергические явления.

В случае работы с полирующими составами, включающими аминосоедпнения, контакт работающих с последними неизбеукен, как на стадии приготовления композиции, так и на стадии ее использования.

3а счет трения полировальника об обрабатываемый материал, температура на стадии полировки значительно возрастает, 1то приводит и повышсншо ле- сс-и ядог, 1тых паров ампносоединений.

Цель изобретения — повышснпе эффектнв5 ности обработки полирусмой поверхности и исключение токсичности состава.

Дocriii ается 3То 1!спользова!1псм в ка 1естве абразива аминоорганокремнезема при следующем соотношении компонентов, вес. ч.:

10 Ампноорганокремнезем 5 — 30

Вода 70 — 95

Аминоорганокремнезсм (ампноэтокснаэросил) представляет собой очень легкий порошок белого плп слегка кремового цвета и нме15 ет следующую общую формулу

Л = = 1 — Π— I.4 — 1-1 та —. х Н2.

Гпдрофильнь1й характер этого продукта позволяет очень легко вводить его в водные сре20 ды и получать стаб11льholP води!.Iе диспе1тсии.

Применение таких дисперсий для химпкомеханической полировки пластин из кремния наряду с высокой эффективностью (скорость съема слоя на замшевом полировальнике не

25 менее 0,3 мк/мин) позволяет получить высокое качество отполированной поверхности (чис-ота до 14 класса вклю нтельно).

Продук-ы, образующиеся прп полировке, удаляются с поверхности за счет хорошей аб30 сорбционной способности (обусловленной

600160

Предлагаемый

Прототи и:.

Показатели

20

Время полировки, мин

0,52

0,54

0,51

0,30

Зеркальная поверхность без дефектов

Зеркальная поверхность риски

Физиологически инертный

Ядов т

Физиологическая активность

" Состав для полировки, включающий 15 г аэросила раствора этилендиамина, 10 мл глицерина и 60 мл воды, " После каждого цикла раствор фильтруют через сито марки A-380 15 мл 709-ного

Ма 005.

Формула изобретения

Составитель Л. Жукова

Тсхред И. Михайлова

Корректоры: Л. Котова и И Позняковская

Редактор A. Соловьева

Заказ 572/14 11зд. No 315 Тираж 841

НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Типография, пр. Сапунова, 2

3 сильноразвитой поверхностью) аминоэтокспаэросила, а также благодаря комплексообразованию (за счет аминогрупп) . Последнее очень важно, так как удается избехкать «замазывания» дефектов поверхности и добиться высокой эффективности на всем протяжении операции.

П р имер 1, 10 г аминоэтоксиэросила при перемешивании вводят в 80 мл деионизованной воды марки Б. При достижении однородности суспензии, она готова к употреблению.

Технология приготовления и применения полирующего состава, Пример. В фарфоровую кружку наливают 850 мл воды, а затем при перемешивании стеклянной палочкой вводят предварительно отвешенные в стеклянном стакане 150 г аминоорганоаэросила.

Скорость съема поверхностного слоя, мкм/мин

Кратность использования раствора ": ":

Полировальный состав, включающий абразив и воду, отличающийся тем, что, сцслью повышения эффективности обработки поверхности и исключения токсичности состав», он содержит в качестве абразива аминоорганокремнезем при следующем соотношении компонентов, вес. ч.:

Раствор перемешивают с помощью мешалки в течение 10 мин, после чего он может быть использован по назначению.

Свежеприготовленный 15%-ный водный рас5 твор аминоэтоксиаэросила характеризуется следу|ощими показателями:

Коэффициент рефракции 1,35

Вязкость при 20 С (ест) 40 рН 10,7

10 Удельный вес 1,8

Внешний вид — жидкость бело-молочного цвета, устойчивая против расслаивания.

С помощью лекальной линейки ЛД-0-80 проверяют плоскость шлифовального стекла.

15 Сравнительные данные физико-механических свойств известного и предлагаемого составов приведены в таблице.

Лминоогранокремнсзсм 5 — 30

Вода 70 — 95

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент СШЛ № 2996369, кл. 260 — 334, опублик. 1961.

25 2. Лвторское свидетельство СССР №334852, кл. С 09G 1/02, опублик. 1971.