Электропроводящая паста

 

»с »-;;с :»-" ,:,»»Ы ».» .

ОЛ И АНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз СоввтскиФ

Социапистичвскин

Республик (6l) Дополнительное к авт. свив-ву (22) З ""е" о 0 1.10. В (21) 2 10ОЗ82/2.й-о с присоединением заявки № (23) Приоритет (53) М. Кл.

Н 01, И 1/02 (63) УДК 621,315 (088.8) Государственный квинтет

Соната Мнннстров СССР во делам нзооретеннй н отнрь»тнй (43) Опубликовано 15,05.78. Бюллетень Ие 13 (45) Лата опубликования описания-е4.64. 76 (72) Авторы изобретения

М. »"». Калкин в В. А. Амнуэль (7l) Заявитель (5 1) ЗЛЕКТРОПРОВОаЯЩА.Я ПАС ГА

Изобретение относится к электропроводящим материалам, применяемым в производстве полупроводниковых приборов.

Известны электропровадящие составы на основе мягкого металла, полимерного связующего и органического растворителя, причем в качестве токопроводящего наполнителя используется порошнообразный металл, например серебро, а в качестве связующих веществ —. различные клен или смолы (1). Известные составы обеспечивают хорошую электропроводность н электрический контакт, но их трудно удалять с поверхности изделия, на которое они наносятся.

Известна электропроводящая паста для печатных плат и интегральных микросхем, содер- »5 хкащая органические термареактивные связующие, например фенольные, ксилольные, эпоксидные смолы, и металлические напалнители в виде кристаллов-дендр»»тав, н".ïðHìåð меди; железа, и аморфных чешуек, например, серебра, меди, причем чешуйки располагаются частично между дендритами, образуя сплошную поверхностную пленку 12). Эта паста обладает повышенными адгезнонными свойствами. Однако невозможно качественно удалять компоненты пасты с поверхности издел»»й, например полу- 2З проводниковых пластин и кристаллов, когда требуется создать временный контакт с иэделием, например, при разделении полупроводниковых пластин на кристаллы электроэрознонным методом.

С целью повышения технологичности. процесса нанесения пасты и последующего ее удаления с поверхности изделия при сохранении надежного контакта предлагаемая паееа содержит в качестве термореактивных органических связующих воск пчелиный и канифоль, а в качестве наполнителя — металлические шарики диаметром 5 — 50 мкм прн следующем соотношении компонентов, вес.о о:

Металлические шарики 85 — 90

Воск пчелиный 9 — !3

Канифоль 1 — 2

Наличие. органических связующих агентов пчелиного воска и канифоли обеспечивает хорошие адгезионные свойства пасты, например, качественную риклейку полупроводниковых пластин к рабочему столику, на котором производят разделение пластин на кристаллы.

Воск и канифоль хороша растваря»отся в органических растворителях, не оставляя на поверхности загрязнений, что обеспечивает качественное удаление наносимого срстава.

607284 формула изобретения

85 — 90

9 — 13

1 — 2

Металлические шарики

Воск пчелиный

Канифоль

Составитель A. Кругликов

Техред О. Луговая Корректор И. Тупица

Тираж 960 Подписное

Редактор Е. Яковник

Заказ 2618/40

1!НИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР о делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35. Раугнская нао., д. 4/5

Филиал Г1ПП «Патент», г. Ужгород, ул. Г1роектнан, 4

Металлические шарики изготавливают нз олова и сплавов на его основе, цинка н других металлов и могут быть использованы многократно. Диаметр шариков 5 — 50 мкм обеспечивает требования плотной упаковки для созда- . ния надежного контакта и качественное удаление с поверхности.

Электропроводящую пасту приготавливают следующим образом.

Навески воска пчелиного и канифоли задан.ного состава засыпают в фарфоровый тигель и .на плитке нагревают до 130 — 150 С. После полного расплавления компонентов производят добавление металлических шариков заданного диаметра .и перемешнвание состава стеклянной палочкой до получения однородной массы.

По предлагаемому способу была изготовлена электропроводящая паста следующего состава, вес.% .

Металлические шарики 90

Воск пчелиный 9

Канифоль 1

Паста этого состава была применена при разделении полупроводниковых пластин на кристаллы электроэрозионным способом Опробование показало качественное разделение.и последующее качественное удаление пасты с по.,ерхности кристаллов.

Электропроводящая паста для создания контакта преимущественно с полупроводниковыми

5 пластинами и кристаллами, включающая термореактивные органические связующие н металлический наполнитель, отличающаяся тем, что, с целью, повышении технологичности процесса нанесения пасты и последующего ее удаления

30 с поверхности изделия прн сохранении надежного контакта, она содержит в качестве термореактивных Органических связующих воск пчелиный и канифоль, а в качестве наполнителя— металлические шарики диаметром 5 — 50 мкм при следующем соотношении компонентов, 4З вес%:

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР № 342226, кл. Н Ol В I/02, 1972., 2. Патент США № 3.?67.5!9, кл. 161 — 168, 1973.