Проявитель для фотополимерных полиметилметакрилатных рельефов

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советскнк

Соцнапнстнческнк

Республик

Х АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 05,03.76 (21) 2330982/23-04 с присоединением заявки ЭЙ(23) Приоритет (43) Опубликовано 150778, бюллетень pLo 26 (45) Дата опубликования описания 070678

С 1/68

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

P3).УДК 771.5 (088.8) (72) Авторы изобретения

Г.Г. Хорт, Л.М. Свириденко и A Â. Ивина (71) Заявитель (54) ПРОЯВИТЕЛЬ ДЛЯ ФОТОПОЛИМЕРНЫХ ПОЛИМЕТИЛМЕТАКРИЛАТНЫХ

РЕЛЬЕФОВ

Изобретение относится к проявигелям для фотополимерных полиметил метакрилатных рельефов, и может быть использовано в технологии изготовления печатных плат, приборов и форм.

Известен проявитель для фотополимерных полиметилметакрилатных рельефов, включающий хлорированный углеводород- метил-хлорофом (1) .

Недостатком известного проявите-.

10 ля является то, что фотополимерные полиметилметакрилатные рельефы, проявленные в нем имеют невысокое качество.

Объясняется это тем, что пленочные фоторезисты выпускаются различных типоразмеров (о т л и ч а ющ и е с я по толщине фоточувствительного слоя), а избирательная раст- оо воряющая способность проявителя постоянна; в зависимости от толщины обрабатываемых фотореэистов, а также от соотношения площадей облученных и необлученных участков экспонированных фотополимерных слоев, время

25 проявки меняется и при больших отклонениях от оптимального значения это неизбежно приводит к ухудшению качества получаемых фотополимерных рельефов.

Р

Другим недостатком известного проявителя является высокая стоимость метилхлороформа, что удорожает цену изделений.

Целью изобретения является повышение качества фотополимерных рельефов и снижение стоимости проявителя.

Поставленная цель достигается тем, что проявитель для фотополимерных полиметилметакрилатных рельефов, включающий хлорированный углеводород, в качестве хлорированного углеводорода содержит смесь четыреххлористого углерода и трихлорэтилена при следующем соотношении компонентов, бб.Ъ:

Четыреххлористый углерод 80-90

Трихлорэтилен 10-20

Использование предложенного проявителя позволяет повысить качество фотополимерных рельефов, входящие в его состав компоненты являются более дешевыми, чем метилхлороформ.

Входящие в состав предложенного проявителя четыреххлористый углерод и трихлорэтилен обладают различной

Избирательной растворяющей способностью по отношению к фотополимерам на основе полиметилметакрилатов, т.е. растворяют с разной ско615446

Формула изобретения

ЗО

Четыреххлористый углерод 80-90

Трихлорэтилен 10-20

Составитель A. Кичглов

Редактор А, Емельянова Техред Е.давидович Корректор Я.Ковалева

Заказ 3906/36 Тираж 564 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035 Москва, Ж-35с Раушская наб. д. 4 5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, Ул. Проектная, 4 ростью необлученные участки фотополимерных слоев, а также по-разному воздействуют на облученные сшитые участки фотополимеров.

Четыреххлористый углерод практически не воздействует на сшитые участки полметилметакрилатных фотополимеров, в то время как необлученные участки медленно растворяет.

Трихлорэтилен быстро растворяет необлученные участки, но в то же время разрушает и сшитые (заполимеризованные).

Изменяя количество трихлорэтилена, добавляемого к четыреххлористому углероду, можно регулировать избирательную растворяющую способность проявителей.

Пример. Проводят сравнительные испытания проявляющей способности проявителя путем проявления экспонированных через одинаковые шаблоны фотополимерных слоев различных толщин покачиванием в ванночках с проявителями, содержащими четыреххлористый углерод и трихлорэтилен в различ. ных соотношениях. Так, при проявлении фотополимерных слоев толщиной 50 мкм в жестком проявителе, содержащем

20 об.Ъ трихлорэтилена . и 80 об.Ъ четыреххлористого углерода время проявления составляет 90 с; время проявления аналогичной копии в мягком проявителе, содержащем 10 об.Ъ, трехлорэтилена и 90 об.Ъ, четыреххлористого углерода составляет 120 с.

При этом установлено, что в первом случае, где проявление проходит в более жестких условиях, в элементах шириной штриха 0,05 мм наблюдается некоторое искажение размеров из-за незначительного набухания, в то время как элементы шириной штриха 0,10,2 мм не имеют искажений; Во втором случае при проявлении в более мягких условиях время проявления несколько увеличилось, зато даже в тонких элементах шириной штриха до 0,0Ь мм искажений размеров не обнаружено;

Для сравнения время проявления точно такой же копии в метилхлороформе составляет 60-70 с.

Более тонкие фотополимерные слои, особенно с мелкими печатными элементами, где толщина штриха составляет

0,1 мм, менее необходимо проявлять в более мягких проявителях, т.е. с минимальным содержанием триххлор8 этилена, иначе возможно искажение линейных размеров. Так, при проявлении копий с фотополимерными слоями толщиной 10-15 мкм в мягком проявителе, содержащем 10 об.Ъ трих10 хлорэтилена и 90 об.Ъ четыреххлористого углерода, время проявления составляет около 80 с; никаких искажений линейных размеров даже в элементах шириной штриха 0,05 мм не обна15 ружено, При использовании предлагаемого проявителя для пленочных фоторезистов повышается качество печатных плат, приборов и форм за счет возмож ности регулировать избирательную растворяющую способность проявителя цля каждого конкрет. ого случая, что позволяет оптимизировать процесс проявки фотополимерных копий; снижается стоимость проявителя по сравнении с применяемым метилхлороформом примерно в 4 раза, Проявитель для фотополимерных полиметилметакрилатных рельефов, включающий хлорированный углеводород, отличающийся тем, что, с целью повышения качества фотополимерного рельефа и снижения стоимости проявителя, в качестве хлорированного углеводорода проявитель содер-, жит смесь четыреххлористого углерода

40 и трихлорэтилена при следующих соотношениях компонентов, об.Ъ: с

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Электронная промышленность, 1970 r. вып. 2, с. 117-118.