Поляризационный интерферометр переменного сдвига

 

О ПИ . Е

N3OSrETrnNi

Союз Сепетскик

С4щиэлистичесии х

Республик (33) б19787

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свил-ву (22) Заявлено 061 С76 (21) 2410196/25-28 с присоединением заявки И (23) Приоритет (43) Опубликовано150878. 6юллетеиь % З0 (45) Дата опубликования описании 050778 (51) М. Кл.

Я 01 В 9/02

Государствеи№ый комитет

Совета Мииистров СССР ио делам изобретек№й № открытий (03) УДК 531 715 1 (088,8) (72) Авторы изобретения

Я.И. Андреева и Б.Л. Ардов (71) Заявитель (54) ПОЛЯРИЗАЦИОЯНЫИ ИЯТЕРФЕРОИЕТР ПЕРЕМЕННОГО

СДВИГА

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано, в частности при измерении взаимных линейных смещений деталей приборов и при изучении прозрачных неоднородностей.

Известен поляризационный интерферометр сдвига, содержащий устройство для получения переменного направления иитерференционных полос в виде двух призм Волластона, развернутых по отношению друг к другу на 90/1) .

Однако такой интерферометр обладает постоянной величиной сдвига, что ограничивает его возможности при измерении разнообразных объектов.

Наиболее близким к изобретению но технической сущности и достигаемому эффекту является поляризационный интерферометр переменного сдвига, содержащий последовательно рас положенные на одной оптической оси источник света, коллкматор, устройство сдвига волновых фронтов, установленное с возможностью перемещения вдоль оптической оси, телескопи-. ческую систему и приемный блок 21 .

В качестве устройства сдвига волновых фронтов может быть использовано любое из известных приспособлений для углового расщепления световых лучей.

Недостатком интерферометра — постоянное налравление иитерференционных полос, перпендикулярное направлению сдвига, что накладывает определенные ограничения на геометрию исследуемых объектов и усложняет методику измерений.

Цель изобретения — расширение .технологических воэможностей интерферометра.

Поставленная цель достигается тем, что в предлагаемом иитерферометре устройство сдвига волновых фронтов выполнено в виде трех поляризационных призм Волластона, первая и третья иэ которых идентичны по своим параметрам и развернуты на 180 относительно друг друга

О вторая призма развернута на 90 относительно двух других и установлена в плоскости промежуточного иэоб.ражения объекта.

В такой схеме величина сдвига изображений определяется параметрами и разностью расстояний первых двух призм от плоскости промежуточ,ного иэображения, а ширина полос

619787

Формула изобретения

Составитель Л. Лобэова

Редактор И. Марголис Техред З.Чужую Корректор С Гарасиняк

Заказ 4491/37 Тираж 872 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Иинистров СССР по делам изобретений и открытий

113035 Иосква Ж-35 Раушская наб. д. 4 5

Филиал ППП Патент, г. ужгород, ул. Проектная, 4 параметрами призмы, расположенной в этой плоскости.

На чертеже изображена принципиальная схема описываемого интерферометра.

Интерферометр содержит источник 1 света, коллиматор 2, полупрозрачную пластину 3 поляроид 4, устройство 5 сдвига волновых фронтов, выполненное в виде трех поляризационных призм

Волластона, телескопическую систему

6, приемный блок в виде объектива 7 10 и микроскопа 8, Предлагаемый интерферометр работает следующим образом.

Свет от источника 1, помещенного в. фокусе коллиматора 2, параллельным !5 пучком проходит полупрозрачную плас-. тину 3, поляроид 4, устройство 5 сдвига волновых фронтов и через телескопическую систему 6 параллельным пучком направляется на объект,9. Кол- 20 лимационное изооражение объекта 9 переносится объективом 7 в предметную плоскость микроскопа 8. В поле зрения микрсскопа-наблюдаются исследуеьаие зеркально отражающие поверхности и соответствующие им системы иитерференционных полос. Относительное смещение систем интерференцнонных полос, выраженное количеством полос, определяет изменение величины уступа между исследуемыми поверх. ностями т.е. величину линейного смещения деталей. Измерение же величины смещения между системами интерференционных полос выполняется способом, известным в интерферометрии.

Поляриэационный интерферометр переменного сдвига, содержащий последовательно расположенные на одной оптической оси источник света, кол- лиматор, устройство. сдвига волновых фронтов, установленное с воэможностью перемещения вдоль оптической оси, телескопическую систему и приемный блок, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей йнтерферометра, устройство сдвига волновых фронтов выполнено в виде трех поляризационных призм Волластона, первая и третья иэ которых идентичны по своим параметрам и развернуты на 180 относительно друг друга, а вторая призма развернута на 90 относительно двух других и установлена в плоскости промежуточного изображения объекта.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Оптико-механическая промышленность, 1970, М 1, с. 29.

2, Авторское свидетельство СССР

Р 438865, кл. У 01 В 9/02, 1972.