Способ изготовления литого микропровода в сплошной стеклянной изоляции

 

Ъ;-. ««««и« ««««щ«,« .

« н,.;;

О П И C."À ;: Н- «M Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

1i t! 63065 I

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 06.06.77 (21) 2493636, 24-07 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.10.78. Бюллетень ¹ 40 (45) Дата опубликования описания 03.10.78 (51) М. Кл. Н 01 В 13 16

Государственный комитет (53) УДК 621.315 (088.8) па делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

В. П. Клин, Б. П. Нам, Л. Я. Беленький, Н. А. Ковалева и И. С. Болгов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЛИТОГО МИКРОПРОВОДА

В СПЛОШНОЙ СТЕКЛЯННОЙ ИЗОЛЯЦИИ

Изобретение относится к элсктротехиикс, в частности к способам изготовления литых микропроводов в сплошной стеклянной изоляции.

Известны способы, в которых для упрочнения связи между изоляцией и жилой металлизируют внутреннюю поверхность стеклянной трубки (1) или вводят в промежуток между стеклом и металлом силикаты (2).

Известен и способ защиты расплава от воздействия влаги, заключающийся в нагреве шихты в вакууме (3).

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является способ изготовления литого микропровода в сплошной стеклянной изоляции, при котором для защиты стекла и расплавленного металла от взаимодействия с атмосферой, стеклянную трубку с заготов- 20 кой металла вакуумируют с последующим заполнснием инертным газом (4).

Однако реализация известных процессов и любых их сочетаний ис обеспечивает возможность изготовления литых микропрово- 25 дов из алюминия и его сплавов, так как благодаря высокой химической активности алюминия, сго расплав реагирует с металлом покрытия, а так>1(с с сил икатами и компонентами стекла. 30

Цель изобретения — защита мета.члического расплава от взаимодействия с компонентами стекла при изготовлении микропроводов из алюминия и его сплавов.

Для этого заготовку металла и внутреннюю повсрхность стеклянной трубки покрывают порошком нитрида бора, затем стеклянную трубку с помещенной в ией заготовкой металла прокаливают в вакууме прп

450 — 500 С в тсчсиис 15 — 20 мии, после чего заполняют ес инертным газом.

Нанесение на мсжфазную границу стск, I0 — р аспла в инертного по отношению к агпоминию и стеклу термически стойкого соединения (нптрида бора) препятствует взаимодействшо расплава алюминия с компонентами cTcêëà, прокаливание в вакууме обеспечивает удаление адсорбироваииой порошком иитрида бора влаги, а заполнение трубки инертным газом обеспечивает защиту от воздействия атмосферы.

Способ реализуется следующим способом.

На внутреннюю повсрхность стеклянной трубки и" промышленно-выпускаемого стекла марки С90-1 с наружным диаметром

5,4 I tbt It виl TpC ttttltbt 3,8 AIM IIIIIIOCIIT MCCII Oдиспсрсный порошок ингрида бора с размерами частиц меисс 3 мкм путем протягивания ватного тампона с нитридом бора, закрспленпого иа конце металлического

63065i

Составитель Е. Зиновьев

Редактор Е. Дайч

Техред А. Камышникова

Коррскторы: О. Данишева и Л. Котова

Заказ 1811/11 Изд. Кв 687 Тираж 922 Подписное

НПО Государственного когиитста СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4!5

Типография, пр. Сапунова, 2 стержня. На поверхность алюминиевого прутка диаметром 3,8 мм (марка алюминия

А 999) нитрид бора наносят также с помощью ватного тампона. После нанесения нитрида бора стеклянную трубку заваривают с одного конца, в нее помещают пруток.

Трубку присоединяют к вакуумной откачной системе и откачивают до давления около

5.10 а мм рт. ст. С помощью подающего устройства трубку с прутком перемещают в зону индикатора и при непрерывной откачке алюминиевый пруток прогревают до

450 — 500 С в течение 15 — 20 мин для прокаливания нитрида бора. Затем систему вакуумной откачки перекрывают и в трубку напускают очищенный аргон. Далее с помощью индуктора расплавляют алюминий и вытягивают микропроволоку в стеклооболочке по известному способу.

При скорости подачи стекла около

10 мм/мин и скорости вращения приемного барабана около 200 м/мин получается микропроволока из алюминиевой жилы диаметром 30 мкм с толщиной стеклоизоляции

3 — 4 мкм.

Опробование новых микропроводов в стеклоизоляции из алюминия в производстве больших интегральных схем (БИС) со сложной внутренней коммутацией показало значительную эффективность за счет сокращения выхода приборов из строя по замыканию. А некоторые типы новых приборов вообще не могут быть созданы без применения указанных микропроводов.

Формула изобретения

5 Способ изготовления литого микропровода в сплошной стеклянной изоляции, включа1ощий вакуумирование внутренней полости стеклянной трубки с заготовкой металла с последующим заполнением ее инерт10 ным газом и вытяжку капилляра, заполненного жидким металлом, отличающийся тем, что, с целью обеспечения защиты металлического расплава от взаимодействия с компонентами стекла при изготовлении

15 микропроводов из алюминия и его сплавов, заготовку металла и внутреннюю поверхность стеклянной трубки покрывают порошком нитрида бора, затем стеклянную трубку с помещенной в нее заготовкой металла

20 прокаливают в вакууме при 450 — 500 в течение 15 — 20 мин, после чего заполняют ее инертным газом.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

25 1. Авторское свидетельство СССР № 139356, кл. 21 с 54/01, 25.10.60.

2. Авторское свидетельство СССР № 277901, кл. Н 01 В 13/16, 02,06.66.

3. Авторское свидетельство СССР

80 № 23794, кл. 21 с 7/01, 10.09.64.

4. Патент Японии № 11060, кл. 60 В 14, 29.06.64.