Способ изготовления сурьмянощелочного фотокатода

 

(i! 63067l

Союз Советских

Социалистических

Республик

СПИ(:АНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Допол||||тсльное к авт. «вид-ву (22) 3!|ян. !i и!) 00.06.?7 (21) 240()002 <-2,) с присоединением зая)I

Н 01J !! !2

Государстве !пый комитет

Совета Министров СССР (43) Опубликовано 30.10.?8. Б|оллсTI. lll> Л 40 (53) УДК 621.383.29 (088.8) ло делам изобретений и открытий (45) Дата опубликования u!IIIc;)»Ii)I 23.<6.?8 (72) Лвторы из о бр стен|! я

В. А. Гаванин, Л. В. Конончук и Л. Г. Лейтейзен (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СУРЬ)т1Я НО-ЩЕЛОЧ НО! О

ФОТО КАТОДА

Изобретение относится к области электронной техники.

Известен способ изготовления сурьмянощелочного фотокатода, включающий наполнение слоя сурьмы и обработку его снача- 5 ла в парах калия, а затем в парах цезия (1).

Недостатком такого способа изготовления фотокатода является то, что изготовленные фотокатоды имеют бол!нпис rc! i!«)вые токи.

Извсстсн также другой способ изготовления сурьмяпо-щелочного фотокатода, включающий обработку сурьмы в парах калия и цезия и контроль фоточувствительности по фототоку с получением максимума фототока при обработке калием (2).

Недостатком этого способа также является относительно большой ток фотокатода и длительное время его обработки.

Целью изобретения является спизкение темповых токов фотокатода и уменьшение времени обработки.

Указанная цель достигается тем, что перед обработкой сурьмы в парах калия проводят се обработку в парах цезия до получения интегральной чувствительности 0,5—

15 мкЛ/лм.

Указанные пределы чувствительности сурьмяно-цсзисвого фотокатода являются 30

OIITII3! 2Ë!>III>DI ll ДЛЯ Дll1 1 по!7) I I OOOO) ll, 1 ;! К как в с;11 |ас получения ЬЬ вЂ” С фо гон;! одов меньшей чуl)cTBIITcльности (ниж

О,о х!кЛ1,731) IIOc.lc 72;II>II(III!)cll обр||б!) |1.|! калием получается сурьмяно-калисьь!й фотокатод, 2 в сл |ас большей чувствительности (чем 15 мкЛ) лм) ооразустся сурьмяно-цезисвый фотокатод с избыточным с<)держанием Cs который 1),72.7! Ilcéøcì к;|. НСМ ТРУДПО ПРОР(1001 l!T!>.

Например, на стекло и. одного ol>ll;l llpllбора напыляют слой «урьх!1,! до -!О", о-по; о мсншнсIIII)1 IIPo>Р;1 !по Tll. 3ToT c, II)!I ooP;lбатывастся в парах цезия при температур«

180 — 220 С до получения сурьмяно-цсзисвого соедине|шя с недостаточным содерж!Illlем цезия чуьствнтсльностью 0,5 — 15 мкЛ лм.

T2к кilк с > рьм) ооpаоатыьа|от цсзисз|;1о

IIO;I) ЧСППЯ СОСДНПСIIИ)1 С НС IOCTI)TO IIII>DI COдержанием цезия, то в этом случае обработка i!pollcio;I,III. б !«!pc« (!!pl!: «p)lo ь 3 р;::за).

110ëó>!сины!1 ст p!>м)lпо-цсзнсьыl! ф!) !7)1 2тод обрабатывают в III)p2x калия нрн температуре 180 — 220 С,;до достижения максимальной чувствительности.

Обработка сурмьяно-цсзисвого слоя в

ЭТОМ СЛУ 12Е IIPOTCI>ilCT ОЧЕПЬ ОЫСТРО, Т2К как обрабатываемое coc7IIIICIIIie IIiicci недостаток щсло шогo мста I;12.

630671

Составитель В. Боловань

Текред А. Камышпикова

Корректоры; P. Беркович и Л. Брахнина

Редактор Н. Коляда

Изд. № 697 Тираж 922

НПО Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Заказ 1904/3

Типография, пр. Сапунова, 2

Изготовленные этим способом фотокатоды имеют интегральную чувствительность, 40 — 80 мкА/лм, а величина термотоков равна -10 —" А/смз.

Таким образом, использование предложенного способа обеспечивает снижение темповых токов и уменьшает время обработки сурьмяно-щелочных фотокатодов.

Формула изобретения

Способ изготовления сурьмяно-щелочного фотокатода, включающий последовательную обработку сурьмы в парах калия и цезия и контроль фоточувствительпости по фотОтоку с получением максимума фо1отока при обработке калием, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью снижения темновых токов фотокатода и уменьшения

5 времени обработки, перед обработ.,ой сурьмы в парах калия проводят ее обработку в парах цезия до получения интегральной чувствительности 0,5 — 15 мкА/л м.

Источники информации, 10 принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США № 3753023, кл. 313 — 103, опублик. 1973.

2. Авторское свидетельство СССР № 537410, кл. Н 01J 39/06, 1976,