Устройство для выявления дефектов поверхности полупроводниковых приборов

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫЯВЛЕНИЯ ДЕФЕКТОВ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ, включающее сканирующее устройство и усилитель, о тл ичающе'еся тем, что, с* целью повьанения эффективности и качества выявления дефектов, перед , сканирующим устройством установлена электрооптическая ячейка, ^ за сканирующим устройством - расщепитель падающего луча на ввдеои зондирующий лучи, имеющий две соединительные ветви, одна из которых состоит из поляризатора, объектива, экрана, а другая - из об'бектива, фокусирующего зондирующий луч на поверхность исследуемого полупровод-' ника.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ ОЮ Л ЮЮ

РЕСПУ6ЛИН

ГОСаДЛОСтВКННЬ1й К0МИТКт СССР

re ДЕЛАЕМ Изаа ЕТКНИй И 0ТН1 ИтИй

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

И ASTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 2455479/18-25 (22) 23.02.77 (46} 23..03.85. Бюл. Ф 11 ,(72} В.Н. Амазасиян,В. С. Саркисян . и Н.Н. Горюнов (53) 535.511(088.8), (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫЯВЛЕНИЯ

ДЕФЕКТОВ НОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИ, КОВЫХ ПРИБОРОВ, включающее сканирующее устройство и усилитель, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повьанения эффективности и каÄÄSUÄÄ 630983 А

4(5й) С 01 N 21 88 G 01 И 21 27 честна выявления дефектов, перед сканирующим устройством установлена электрооптическая ячейка, а эа сканирующим устройством — расщепитель падающего луча на видео- и зондирующий лучи, имеющий две соединительные ветви, одна из которых состоит из поляризатора, объектива, экрана, а другая — из объектива, фокусирующего зондирующий луч на поверхность исследуемого полупровод- ника.

4 6309

Изобретение относится к области электронной техники, в частности к аппаратуре неразрушающего контроля качества незагерметизированных полупроводниковых приборов.

Известны устройства шля выявления дефектов поверхности полупроводниковых приборов по фотоответному изображению, полученному при сканировании светового луча по поверхности исследуемых образцов (1) .

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является устройство для выявления дефектов поверхности полупроводниковых приборов, включающее сканирующее устройство 15 и усилитель, в котором коллимированный луч света развертывается в растр .и фокусируется на поверхность светочувствительного полупроводникового прибора, электрический сигнал с вы20 хода полупроводникового прибора усиливается и используется для получения фотоответного иэображения на экране электронно-лучевой трубки, развертка которого синхронизируется с

25 разверткой светового луча (2) .

Недостатком указанного устройства является низкие эффективность и качество выявления дефектов прйборов, наличие сложной системы синхронизации электронного и светового лучей.

К тому же невозможно достичь их абсолютно синхронного сканирования, что искажает фотоответное изображение и не позволяет получить геомет- З5 рическое разрешение устройства, определяемое оптическим разрешением фокусирующей на образец оптики.

Целью изобретения является улучшение качества и эффективности выявления дефектов.

Цель достигается благодаря тому, что перед сканирующим устройством установлена электрооптическая ячейка, а за сканирующим устройством— расщепитель падающего луча на видео- и зондирующий лучи, имеющий две соединительные ветви,,одна из которых состоит из поляризатора, объектива, экрана, а другая из объ- 150 ектива, фокусирующего зондирующий луч на поверхности исследуемого полупроводника.

Схема предлагаемого устройства изображена на чертеже.

i5

Она содержит источник 1 поляризованного света, электрооптическую ячейку 2, сканирующее устройство 3, 83 2 расщепитель 4 светового луча, поляризаторы 5, 6 света, объективы 7, 8„ экран 9, исследуемый полупроводниковый прибор 10, видеоусилитель 11 сигнала фотоответа, Устройство работает следующим образом. Поляризованный свет от источника 1 направляется через электрооптическую ячейку 2 на сканирующее устройство 3. Последний формирует растр, который расщепителем 4 светового луча расщепляется на две части: растр видеолуча и растр зондирующего луча. Первый из них проходит через поляризатор 5 и объективом 7 проецируется на экран 9, а второй — растр зондирующего луча объективом 8 фокусируется на поверхность исследуемого образца (поляризатор 6 не используется). Сигнал фотоответа усиливается электронным усилителем 11 и подается на электрооптическую ячейку, которая с поляризатором 5 составляет модулятор интенсивности видеолуча. На экране

9 формируется позитивное или негативное изображение фотоответа в зависимости от относительной ориентации плоскости поляризации направленного на электрооптическую ячейку света и направления поляризации поляриза тора 5, Так, если они скрещены, то изображение получается позитивным, а при параллельной ориентации — негативным. 5 более общем случае в путь зондирующего луча может быть введен поляризатор 6.

При отсутствии поляризатора,6 зондирующий луч остается немодулированным по интенсивности. При изменении электрического напряжения на электрооптической ячейке осуществляется лишь модуляция поляризации зондирующего луча, т.е. изменяется соотношение длин, осей эллипса опиЭ

У сываемого световым вектором. Поляризатор 6 вместе с электрооптической ячейкой модулирует интенсивность падающего на образец зондирующего луча, причем модуляция осуществляется синфазно или противофазно модуляции интенсивности видеолуча. Так если направления поляризаций поляризаторов 5 и 6 совпадают, то при увеличении интенсивности видеолуча возрастает также и интенсивность зондирующего луча и модуляция обоих лучей совпадает по фазе, При скрещенной ориентаци поляризаторов 5 и 6 с увеличением

630983

Редактор П. Горькова Техред С.Мигунова

Корректор И. Розман

Заказ 1686/3 Тирах 897 .Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Уигород, ул. Проектная, 4 интенсивности видеолуча интенсивность зондирующего луча падает, т.е. происходит противофазная модуляция лучей.

Модуляция зондирующего луча фотоответнъж видеосигналом приводит к воз- 5 никновению светоэлектрической обратной связи при формировании изображения фотоответа. Обратная связь положительная, если модуляция лучей сов: падает. В противном случае обратная 10 связь отрицательная. Светоэлектрическая обратная связь, возникшая при установке в путь зондирующего луча поляризатора 6, позволяет эффективно выявить дефекты, отличающиеся по контрастности.

Применение устройства для выявления дефектов поверхности полупроводниковых приборов позволит увеличить качество и эффективность контроля и диагностические возможности устройства.