Полировальный состав

 

636243 и 780 r воды, добавляют 120 r порошKB аминоэтоксиаэросила. Композицию пе ремешивают и применяют для эффективного полирования Si -пластин.

Пример 7, К композиции, содержащей 120 г порошка аминэтоксиаэросила и 830 r воды, добавляют 50 г

30%-ной Н О и после перемешивания применяют для полирования поверхности

Gem®As, Пример 8. К композиции, содержащей 100 r порошка аминоэтоксиаэросила, 765 r воды и 100 г этилендиамина, добавляют 35 г 30%-ной Н О и после перемешивания применяют для полиро вания поверхности Qe и монокристаллов А В, Результаты применения предлагаем ого состава для полирования поверхности материала приведены в таблице, 1 20 980

2 - 250 750

1,3 10,05

20,0 10,95

4,6 11,45

1,3 11,20

13,3 12,0

3,5 11,8

4,5 10,90

3,5 11,95

20 970 10

250 150 600

1 20 780 100

120 830 - 50

100 765 35

Q6,QCI, AS

6e,ga,As

QaP,3n 5Ь

Аэросил с поверхностью, модифицированной амикосоединениями 2-25

Вода Остальное

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

I. Авторское свидетельство % 334852 кл. С 09 G 1/02, 1970.

ЦНИИПИ . Заказ 6879/19 Тираж 784 Подписное

Филиал ПЙП "Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 полирования КЗМ5 или полированияАСМЗ/1, АСМ2/1, АСМ1/О и АСМ 0,5/О.

Пример 3, В емкость с 900 г воды вносят 100 r аминорганоаэросила и после перемешивания применяют для окончательного полирования поверхности

51 -пластин, подвергнутых шлифованию и полированию.

Пример 4. K водной дисперсии, содержащей 20 r аминэтоксиаэросила и <й

970 г воды, добавляют 10 г этилендиамина, Полученную композицию применяют для полирования Т -пластин.

Пример 5, К раствору, содержащему 600 r этилендиамина и 150 г воды,>> добавляют 250 г аминоэтоксиаэросила и перемешивают, Полученную композицию применяют для эффективного полирования кремния, подвергнутого шлифования.

П р н м е р 6. К водному раствору, © содержащему 100 г моноэтаноламина

Формула изобретения

Полировальный состав, содержащий у аэросил и воду, о т л и ч а ю щ и и - с я тем, что, с целью повышения стабильности состава при полировании по- верхности материалов электронной техники, он содержит аеросил с поверхностью, 30 модифицированной амнносоедннениями, при следующем соотношении компонентов,в вес.%:;

5-7 13-14

10-12 13-14

20-25 14а-в

10 14а-в

15-18 14а-в

20-40 14а-в

30 14а-в

60-120 14а-в