Рентгеновский микроанализатор

 

(ii) 640l85

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик 111 g + @> . (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 02.12.77 (21) 2545851/18-25 с присоединением заявки l¹ (23) Приоритет (51) М Кч

G 01N 23 225

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (43) Опубликовано 30.12.78. Бюллетень М 48 (53) УДК 621.386 (088.8) (45) Дата опубликования описания 30.12.78 (72) Авторы изобретения С. М. Барский, И. Б. Боровский, И. П. хижин, Ю. И. Кононов, Е. М. Лукьянченко и В. А. Хилькевич (71) Заявитель (54) РЕНТГЕНОВСКИЙ МИКРОАНАЛИЗАТОР

Изобретение относится к рентгеновским микроанализаторам.

Известны рентгеновские микроанализаторы, содержащие корпус, источник электронов, фокусирующее устройство, рентгеноспектральный канал, установленный на основании, жестко закрепленном в радиально расположенных пазах корпуса.

В известных конструкциях для увеличения количества рентгеноспектральных каналов используется осесимметричная установка оснований с рентгеноспектральными каналами вокруг оптической оси микроанализатора. Каждый рентгеноспектральный канал установлен под одинаковым фиксированным углом к поверхности образца, определяемым конструктивными особенностями электромагнитного фокусирующего устройства (электромагнитной линзы) и требуемыми условиями отбора излучения.

Наиболее близким к изобретению техническим решением является рентгеновский микроанализатор, содержащий корпус, источник заряженных частиц, фокусирующее устройство, держатель образца, рентгеноспектральные каналы с диспергирующими элементами и механизмами фокусировки, установленные на основаниях, которые расположены вокруг держателя симметрично относительно оптической оси микроанализатора, световой микроскоп.

Недостатком известных микроанализаторов является относительно неоольшое число рентгеноспектрометрических каналов, которые можно установить без значительного увеличения габаритов аппарата.

Цель изобретения заключается в том, чтобы расширить аналитические возможности микроанализатора за счет увеличения количества рентгеноспектральных каналов без увеличения габаритов спектрометра.

Поставленная цель достигается тем, что на каждом основании установлены два рентгеноспектральных канала под фиксированными различными углами к плоскости держателя образца, механизмы фокусировки которых установлены таким образом, что поверхности диспергирующих элементов обращены друг к другу. При этом фокусирующее устройство (электромагнитная линза) установлено в телесном угле, ограниченном углами наклона рентгеноспектральных каналов к поверхности держателя.

На чертеже схематически изображен предлагаемый рентгеновский микроанализатор.

Рентгеновский микроанализатор содержит корпу.с 1 с основанием 2, источник за640185 ряженных частиц 3, фокусирующее устройство (электромагнитную линзу) 4, пары рентгеноспектральных каналов 5 и 6, основания 7 для крепления каналов 5 и 6, световой микроскоп 8, держатель 9 с исследуемым образцом 10.

Пары рентгеноспектральных каналов 5 и

6 установлены на общем для каждой пары основании 7 под фиксированными углами (например, 60 и 18 ) к плоскости образца

10. При этом механизмы фокусировки 11 каждой пары рентгеноспектральных каналов 5 и 6 развернуты друг к другу. Основания 7 закреплены в радиальных пазах 12 на основании корпуса, что обеспечивает точную ориентацию рентгеноспектральных каналов относительно точки падения заряженных частиц на плоскость исследуемого образца 10. Электромагнитная линза 4 рас положена в пространстве телесного угла О, ограниченного углами наклона рентгеноспектральных каналов, определяемого направляющими перемещения диспергирующих элементов 13 каждой пары каналов 5 и 6, и закреплена в центральном отверстии основания 2.

Поток заряженных частиц от источника

3, сфокусированный электромагнитной линзой 4, проходит через центральное отверстие в объективе светового микроскопа 8 и бомбардирует поверхность исследуемого образца 10. Возбужденное в образце 10 характеристическое рентгеновское излучение проходит выше и ниже обмотки электромагнитной линзы 4 и попадает в рентгеноспектральные каналы 5 и 6, где анализируется и регистрируется.

Предложенное техническое решение рентгеновского микрообъемного анализатора позволяет вдвое увеличить число рентгеноспектральных каналов без увеличения габаритов аппарата, что значительно рас.ширяет аналитические возможности микроанализатора. Кроме того, такое решение обеспечивает оптимальные условия одно5 временной регистрации жесткого и мягкого рентгеновского излучения.

В таком приборе возможно использование спектральных каналов разных типов (сканирующих с различными схемами фо10 кусировки, квантометрических, полупроводниковых и т. д.) без уменьшения общего числа каналов, что расширяет круг задач, решаемых прибором.

Формула изобретения

Рентгеновский микроанализатор, содержащий корпус и расположенные в нем источник заряженных частиц, фокусирующее устройство, держатель образца, рентгено20 спектральные каналы с диспергирующими элементами и механизмами фокусировки, установленные на основаниях, которые расположены вокруг держателя симметрично относительно оптической оси микроанализа25 тора и микроскоп, отл ич а ющийся тем, что, с целью расширения аналитических возможностей за счет увеличения количества рентгеноспектральных каналов без увеличения габаритов спектрометра, на каж30 дом основании установлены два рентгеноспектральных канала под фиксированными различными углами к плоскости держателя образца, механизмы фокусировки которых установлены таким образом, что поверхно35 сти диспергирующих элементов обращены друг к другу, 2. Микроанализатор по п. 1, о тл и ч а юшийся тем, что фокусирующее устройство установлено в телесном угле, ограниченном

40 углами наклона рентгеноспектральных каналов к поверхности держателя.

640185

Составитель К. Кононов

Техред С. Антипенко

Корректор О. Тюрина

Редактор Н. Коляда

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 2212/14 Изд, № 778 Тираж 1080 Подписное

НПО Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская иаб., д. 4/5