Вакуумный адсорбционный насос

 

ОПИСАНЙЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советскик

Социалистических

Республик

«»646082

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 220476 (21) 2349585/25-06 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет

Опубликовано 0502,79. Бюллетень № 5

Дата опубликования описания 050279 (51) М. Кл.

04 В 37/02

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.527.8 (088.8) (72) Автор изобретения

В.М.Лебедев (71) Заявитель

Ленинградский ордена Ленина политехнический институт им. М. И. Калинина (54) ВАКУУМНЫЙ АДСОРБЦИОННИЙ НАСОС

Изобретение относится к области вакуумной техники.

Известен вакуумный адсорбционный насос, содержащий адсорбент, закрепленный на внутренней поверхности кольцевого сосуда с хладагентом, расположенного внутри герметичного корпуса и снабженного патрубками для подвода хладагента и отвода его паров (1) .

При охлаждении адсорбента до температуры, близкой к температуре хладагента, например жидкого азота, происходит активное поглощение газа, находящегося в насосе и в присоединенном к нему откачиваемом объеме.

С течением времени давление в объеме уменьшается. Однако в связи с тем что такие газы, как гелий и неон, почти не адсорбируются на адсорбентах, имеющих температуру жидкого азота, достигаемое насосом предельное остаточное давление определяется суммой парциальных давлений этих газов. При откачке воздуха это давление составляет 1, 7. 10 тор.

Целью изобретения является понижение предельного давления насоса.

Указанная цель достигается тем, что между стенками корпуса и сосуда расположен дополнительный слой адсорбента,и в стенке сосуда выполнеио отверстие, сообщающее сосуд с полостью корпуса, а в отверстии и на патрубках установлены клапаны, соединенные с механизмом их привода.

На чертеже изображен описываемый насос, продольный разрез.

Вакуумный адсорбционный наСос содержит адсорбент 1, закрепленный на внутренней поверхности кольцевого сосуда 2 с хладагентом 3, расположенного внутри герметичного корпуса 4 и снабженного патрубками

5 и б для подвода хладагента и отвода его паров. Между стенками корпуса 4 и сосуда 2 расположен дополнительный слой адсорбента 7, и в стенке сосуда 2 выполнено отверстие

8, сообщающее сосуд 2 с полостью корпуса 4, а в отверстии 8 и на патрубках 5 и б установлены клапаны 9-1I соединенные с механизмом 2 их привода.

Насос работает следующим образом.

В исходном состоянии клапаны 10 и 11 открыты, а клапан 9 закрыт.

Через клапан 10 заливают жидкий хладагент (азот). Адсорбеыт 1 охлаж.дается и поглощает газ..Таким обра646082

Составитель О.Тишина

Техред М.Петко Корректор А*Гриценко

Тираж 771 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035 Москва Ж 35 Раушская наб. д. 4 5

Редактор Г.Кузьмина

Заказ 79/25

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4 зом, происходит откачка сосуда 2 насоса и присоединенного объема до давления порядка 1,7.10 2 тор. По достижении этого давления механизм

12 привода одновременно закрывает клапаны 10 и 11 и открывает клапан

9. Испаряющиеся пары хладагента начинают поступать в объем, в котором находится уже охлажденный адсорбент

7. Последний, поглощает пары азота, происходит его откачка. Упругость паров уменьшается и его температура 10 также уменьшается. При. уменьшении температуры адсорбционная способность адсорбентов по гелию и неону резко возрастает, что позволяет достигнуть более низкого предельного оста- 15 точного давления всего насоса в целом.

Формула изобретения

Вакуумный адсорбционный насос, содержащий адсорбент, закрепленный на внутренней поверхности кольцевого сосуда с хладагентом, расположенного внутри Герметичного корпуса и снабженного патрубками для подвода хладагента и отвода его паров, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью понижения предельного давления насоса, между стенками корпуса и сосуда расположен дополнительный слой адсорбента, и в стенке сосуда выполнено отверстие, сообщающее. сосуд с полостью корпуса, а в отверстии и на патрубках установлены клапаны, соединенные с механизмом их привода.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 363811, кл. P 04 В 37/02, 1967.

Вакуумный адсорбционный насос Вакуумный адсорбционный насос 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия
Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционным (геттерным) насосам, и может быть использовано в вакуумных системах водородных стандартов частоты

Изобретение относится к криогенной технике, а именно к адсорбционным насосам, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газа из замкнутых объемов

Изобретение относится к насосам, работа которых основана на хемосорбции и предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов
Наверх