Негативный фоторезист

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОееСКОМУ СВИДИТВЛЬСТВУ

Своз советских

Соцналистеиювх

Увспубами

« 651298 (51) М. Кл. (61) Дополнительное к авт. свиа-ву(22) Заявлено21.04.77 (21) 2478400/23-04

03 С 1/68 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Гееударетееееай «еиетет

СССР ее лехам езееретенее х еткрите»

Опубликовано 05.03.79Бюллетень № 9

Дата опубликования описания08.03.79 (53) УДК 771е5 (088.8) Ю.

° С. Боков, В. Г. Калюжная, В. С. Корсаков, В. П. Лаврищев и С. Ф. Наумова (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) НЕ ГАТИВНЫЙ ФОТОРЕЗИСТ

Изобретение относится к негативным фоторезистам, используемым дпя получения рельефных рисунков в фотолитографии.

Известен негативный фоторезист, включа1ощий сополимер циклогексадиена1,3, дигидронафталина и дивинила, све« точувствитепьный компонент-2,6-био-(T3 -азидобензаль)-4-метилциклогексайон и органические растворители 111.

Недостатком известного фоторезнста является его неудовлетворительная светочувствительность.

Наиболее близким к предложенному техническому решению является негативный фотореэист, включающий попициклогексадиен-1,3, 2,6-бис-(tl — азидобензаль)- -4-метилциклогексанон и органические растеоритеии (2).

Недостатком известного фоторезиста является его неудовлетворительная светочувствительность и низкий коэффициент контрастности, Белью изобретения является повышение светочувствительности и коэффициента контрастности фоторез иста.

Поставленная цель достигается тем, что вышеуказанный негативный фоторезист, включающий полициклогексадиен-1,3, 2,6-бис-(11 -аэидобенэаль)-4-метилциклогексанон и органические растворителя, дополнительно содеожит краситель жировой антрахиноновый зеленый при следующем соотношении компонентов, вес.%:

Полицихлогехсадиен-1,3 9,4-9,6

2, 6-Бис-(q- азидобензаль )-4-метипциклогексанон 0,47-0,48

Краситель жировой антрахиноновый зеленый 0,02-0, 10

Органические растворитепи Остальное °

Пример 1. 0,75 г полициклэгексадиена -1,3 (ГШГЙ) растворяют в

3,75 мл смеси топуола и И -хсипопа.

0,0375 г 2,6-бис-(q -чэидобензаль)-4-метилциклогексанона (QLll ) раство ряют в 1 мл топуопа. 0,344 г красите ля жирового айтрахинонового зеленого растворяют в 100 мн топуопа и из этого копичества 0,5 мп добавляют в смесь растворов ПБГД и ДИГ. Раствор фильтруют и наносят центрифугированием на

6 подножку. Спой сушат 15 мин при 20 C и 30 мин при 8(РС. Дпя фоторезиста

ЬФ 124 см /до с, g 2,0.

Пример 2. 0,75 ПЦГД растворяют в 3,75 мп смеси топуопа и ц -ксипода (2:1 по объему 0,0375 г ДОГ растворяют в 1 мд топуопа и спивают растворы вместе. 0,75 краситепя жирового антрахинонового зепеного растворяют в

100 мп топуопа и 0,5 ма раствора добавляют в смесь растворов ПЦГД и Д11Г.

Дапьнейщие операции с фоторезистом про водят анапогично примеру 1. 6 П

108 с м /д Ж -, g 2, 7 2.

lI р и м е р 3. К смеси растворов

ПЦГД и Д1.1Г, приготовпенных аналогично примерам 1 и 2, припивают 0,5 мп раствора красители жирового антрахинонового зепеного, содержащего 0,008 г вводимого красителя. Иальнейшие операции с фоторезистом проводятся аналогично примерам 1 и 2.60 = 72 см /ОЖ, о

1,95.

Как видно из приведенных данных, предпожениый негативный фоторезист об298 4 падает бопее высокой светочувствитепьностью (Й П 7 2-124 см /дэф)» и более высоким коэффициентом контрастности

1,95-2 00), чем известный фотоу резист (при испопьзовании 0,75 г

ПОГД и 0,0375 r QllI в растворитепях

Яll 36 ca /BOK, g 1,74). формупа изобретения

Негативный фоторезист,.включающий; попицикпогексадиен-1,3,2,6-6ис-g g—

-азидооензапь)-4-Метилциклогексанон и. органические растворитепи, о т и ич а ю шийся тем, что, с цепью увеличения светочувствительности и коэффициента контрастности, он допапни» тельно содержит краситель жировой антра .хиноновый зеленый при следующем соотношении компонентов, вес.%:

Попицикпогексадиен-1,3 9,4-9,6

26

2, 6-Бис-(q -азидобензалц- .

-4-метипциклогексанон 0,47-0,4

Краситель жировой антрахиноновый зепепый 0,02-0, 10

Органические растворители Остальное.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетепьство СССР

M 533902, кп. Q 03 С 1/00, 1974.

2 Авторское свидетепьство СССР Чо 330421, кп. G 07 С 1 17/00, 1972

Составитель А. Круглов

Редактор Т. Шарганова Техред3. фанта Корректор Л. Василина

Заказ 802/43 Тираж 547 П одписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, М осква, Ж-35, Раущская наб„д, 4/5

Филиал ГП1П "Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4