Способ измерения отклонения размеров изделий от эталонной величины

 

— ---. k--- ..

J с. а . маи

"тнп4 ефк, ;

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советским

Социалистическим

Республик

< 653506--(61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 270577 (21) 2489864/25-28 с присоединением заявки № (23) Приоритет (51) М. Кл.

G 01 В 11/00

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 531.717 (088.8) Опубликовано 25J3379. Бюллетень № 11

Дата опубликования описания 30.0379 (72) Авторы изобретения

Л.Н.Дерюгин, A.È.Ãóäçåíêo, В.Е.Сотин, В.Ф.Теричев, A.A Òèùåíêî, К.П.Цветаев и A.Ô.×åëÿåâ (71) Заявитель

Университет дружбы народов им.Патриса Лумумбы (54 ) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ОТКЛОНЕНИЯ РАЗМЕРОВ изделий От этАлОннОЙ Величины

Изобретение относится к области измерительной техники в оптическом и СВЧ-диапазонах электромагнитных волн, а именно к способам измерения отклонения размеров изделий от эталонной величины и может быть использовано для измерения диаметров сферических или цилиндрических тел и для измерения профилей контролируемых изделий. 10

Известен способ измерения отклонения размеров изделий от эталонной величины, заключающийся в том, что двухлучевой интерферометр предварительно юстируют по эталонному изделию 1 и вносят в плечо интерферометра контролируемое изделие. По смещению интерфереционных полос оценивают отклонение размеров контролируемого изделия от эталонной величины (1). ЯО

Недостатком такого способа является неустойчивость устройства, реализующего способ, к вибрациям и его высокая чувствительность к флуктуациям показателя преломления среды, в кото- м5 рой проводят измерения.

Известен также способ измерения отклонения размеров иэделий от эталонной величины, заключающийся в том, что из электромагнитного излучения 0 формируют две когерентные пространственно разнесенные волны, в поле одной из которых устанавливают эталонное изделие, а в поле другой — контролируемое, совмещают обе волны и измеряют разность фаз, по которой судят об отклонении размера контролируемого изделия от эталонного (2).

Недостатком этого способа является его невысокая точность, обусловленная большими габаритами устройства, реализующего способ, что, в свою очередь, вызвано возможностью юстировки только при больших длинах оптических путей опорной и зондирующей волны; необходимостью термостатирования пространства из-за малых интервалов корреляции показателя преломления среды на пути пространственно разнесенных опорной и сигнальной волн.

Целью предлагаемого изобретения является повышение точности измерения.

Это достигается тем, что две пространственно разнесенные волны преобразуют в поверхностные.

Предлагаемый способ иллюстрируется чертежом.

Излучение от когерентного источника 1 подают на систему 2,пля разделения когерентного пучка на две прост«с, 653506

Формула изобретения

Составитель В. Климова

Техред М.Петко Корректор Л.Мельниченко

Редактор Н.Козлова

Тираж 865 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Заказ 1276/30

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 ранственно разнесенные волны 3 и 4, после чего объемные пространственно разнесенные волны 3 и 4 устройством 5 преобразуют в поверхностные волны 6 и 7. Эталонное изделие 8 и контролируемое изделие, 9 устанавливают в поле поверхностных опорной 6 и зондирую- 5 щей 7 волн соответственно. При внесении в поле поверхностных волн эталонного изделия 8 и контролируемого изделия 9 меняется фазовая скорость поверхностных волн, причем величина 10 изменения фазовой скорости зависит от размеров эталонного и контролируемого изделий. Затем обе волны пространственно совмещают системой 10. По измеренной разности фаз в месте пространственного перекрытия опорной и зондирующей волн оценивают величину отклонения размеров изделия от эталонной величины.

Предлагаемый способ позволяет повысить точность измерения за счет преобразования объемных волн в поверхностные, распространяющиеся в диэлектрическом волноводе, и возможности внедрения изделий в поля поверхностных волн, так как габариты устройства., реализующего способ, существенно уменьшаются (в 10 раз) по сравнению

2. с известным. Кроме того, при использовании предлагаемого способа отпада30 ет необходимость в термостатировании, так как опорная и зондирующая волны распространяются не в случайно-неоднородной среде, а в статически однородной среде — диэлектрическом волноводе.

Способ измерения отклонения размеров изделий от эталонной величины, заключающийся в том, что из электромагнитного излучения формируют две когерентные пространственно разнесенные волны, в поле одной из которых устанавливают эталонное изделие, а в поле другой — контролируемое, совмещают обе волны и измеряют разность фаз, по которой судят об отклонении размера контролируемого изделия оТ эталонного, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, две пространственно раз- несенные волны преобразуют в поверхностные.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 63059, кл. G 01 В 11/24, 1944.

2. Патент Франции 9 2146752, кл. G 01 В 11/00, 1973.