Устройство для очистки пластин

 

(1116602 О 3

Сопз Соеетских

Ссциглистичесних республик

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 23.08.76 (21) 2400772/18-21 (51) М. К .

Н ОЗК 3/26

В 08В 1/00 с присоединением заявки ¹

Государственнын комитет (23) П р и ар итет (43) Опубликовано 30.04.79. Бюллетень ¹ 16 (45) Дата опубликования описания 30.04.79 (53) УДК 621.396.69..002 (088.8) по делом изобретений и открытий (72) Авторы изобретения Н. И. Никулин, В. И. Комаров, В. В. Степанов и И. И. Поярков (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОЧИСТКИ ПЛАСТИН и . = — агс з1п —, D

Изобретение относится к технологическому оборудованию и может быть использовано для очистки Iipii производстве печатных плат, интсграli>lfbIx схем и полупроводниковых приборов.

Известно устройство для очистки пластин, содержащее центрифугу с держателем пластин и цилиндрическую щетку, связанную с приводным механизмом вращения и возвратно-поступательного движения (1).

Низкая производительность этого устройства обусловлена тем, что скорость очистки пластины не одинакова для различных ее точек и i меньшастся к центру вращения пластинbl. 11оэгому очистку пластины приходится осуществлять до достижения требуемого качества очистки в точках, для которых эта скорость минимальна.

Цель изобретения — повышение производительности работы устройства.

Это достигается тем, что в предлагаемом устройстве для очистки пластин щетка выполнена в виде двух конусов, образующие которых расположены в плоскости пластины и которые кинематически связаны между собой с возможностью вращения в противоположных направлениях.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид в разрезе;,а фиг. 2 разрез проточного узла.

Устройство содержит центрифугу 1 с вакуумным держателем 2 пластины 3. Щетка

4 кинематическн связана с приводным ме. анизмом 5 ее вращения посредством пло5 скоременной передачи 6 и выполнена в виде двух конусов 7, образующие которых расположены в плоскости пластины 3. Угол наклона а образующей конуса выбирается из,словия равенства относительных скоро1п стей щетки и пластины по всей площади по формуле

15 где d — разность диаметров большего и меньшего оснований конуса;

D — диаметр пластины.

Конусы 7 связаны между собой посредством конических шестерен 8, обеспечиваю20 щих их вращение в противоположных направлениях.

Устройство работает следующим образом.

Пластину 3 закрепляют на держателе 2

25 центрифуги 1, а щетку 4 перемещают на рабочую позицию. Конусы 7 при вращении равномерно очищают пластину по всей поверхности. 3а счет равенства относительных скоростей щетки и пластины во всех

3О точках достигается требуемое качество очи660203

Рыг.!

Составитель Г. Подучин

Редактор E. Караулова

Корректор Е. Угроватова

Риг. 2

Типография, пр. Сапунова, 2

3 стки одновременно по всей площади пластины.

Формула изобретения

Устройство для очистки пластин, содержащсе центрифугу с держателем пластин и щетку, кинематически связанную с приводным механизмом ее вращения, отл и ч а ющ с е с я тем, что, с целью повышения производительности работы, щетка выполнена в виде двух конусов, образующие которых расположены в плоскости пластины и которые кинематически связаны между собой с

5 возможностью вращения в противоположных направлениях.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США № 3585бб8, кл. 15 — 21, 10 1971.

Заказ 1130/19 Изд. ¹ 316

Тираж 1089 Подписное

НПО «Поиск»

Государственного комитета

СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5