Устройство для сборки фотоэлектрических приборов типа видиконов

 

О П И C А Н И Е (11)661638

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз С©ветских

Со1 иалистимесюа

Республик (61) Дополнительное к авт. саид-ву— (22) Заявлено 24.03.77 (21) 2466375/18-25 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл е

Н01 J9/38

Гюсударстеенный квинтет

СССР на делам нзвбрвтвннй н вткрытнй

Опубликовано 05.05.79. Бюллетень № 17

Дата опубликования описания 15.05.79. (53) УДК 621,385. .832.002.72. (088,8) (72) Авторевю изобретения

Я. М. Латышев и О. А. Тимофеев (71) Заявитель (54) УСТРОИСТВО ДЛЯ СБОРКИ ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ

ПРИБОРОВ ТИПА ВИДИКОНОВ

Изобретение относится к электровакуумной промышленности, а более конкретно к производству фотоэлектрических приборов (ФЭП) типа видиконов с окисно — свинцо5 выми фотодиодными мишенями для цветного телевидения. Мишень этих видиконов пред ставляет собой поликристаллический пористый слой окиси свинца. Толщина кристаллических пластинок составляет около 100 А, а общая их поверхность достигает 50 м /г. 1о

На фотоэлектрические свойства таких мишеней сильно влияют любые газы, кроме инертных или пассивных (азота). Поэтому при изготовлении видиконов с такими мишенями необходима защита мишени от воздействия атмосферного воздуха и других газов и паров на всех технологических операциях. Устройство обеспечивает сохранение напыленной мишени видикона от воздействия атмосферного воздуха при снятии баллона видикона с откачного гнезда напылительной установки после изготовления мишени, при вакуумной обработке электронно — оптической системы (ЭОС) внутри герметичной камеры, при предварительном соединении баллона с ЭОС под заварку и транспортировку баллона с ЭОС на завару в герметичной камере, заполненной инертным газом.

Известно устройство для производства технологических операций в обеспыленной среде, например для сборки электровакуумных приборов (lj.

Устройство имеет камеру, в которую через фильтр подается очищенный воздух.

Сборка прибора осуществляетСя внутри камеры и для рук оператора впереди камеры предусмотрен проем .

Недостатком данного устройства является то, что в нем невозможно производить сборку ФЭП типа видиконов, так как оно не обеспечивает защиту фотодиодной мишени от контакта с воздухом.

Известно также устройство для сборки фотоэлектрических приборов типа видико661638

5 l0

30

40

55 нов, включающее стационарную камеру с отверстиями для подачи и выпуска инертного газа (2)-.

Недостатком известного устройства является то, что оно имеет большие габаритные размеры, а следовательно, требует расхода большого количества инертного газа.

Кроме того, при сборке фотоэлектронного прибора, например видикона, не исключает- ся возможность загрязнения мишени атмосферным воздухом. Это происходит потому, что ЭОС после вакуумной обработки на откачном посту переносится в камеру для сборки с баллоном в атмосфере воздуха.

Поверхности деталей ЭОС, соприкасаясь с воздухом, захватывают молекулы газов, которые при сборке ЭОС с баллоном примешиваются к инертному газу. Смесь воздуха с инертным газом попадает внутрь баллона и на мишень, после чего теря"т нужные свойства. Все манипуляции при сборке прибора, например видикона, осуществляются с помощью резиновых перчаток. Из-за наличия в резине огранических веществ — углеводородов, которые улетучиваются и смешиваются с инертным газом, мишени загрязняются и портятся.

Целью изобретения является уменьшение габаритных размеров и исключение попадания в прибор воздуха путем изменения потока инертного газа внутри устройства.

Указанная цель достигается тем, что в устройство введена съемная вакуумная камера с гнездом для установки электронно— оптической системы и с отверстием для подачи и выпуска инертного газа, а стационарная камера выполнена из двух частей подвижной и неподвижной, причем подвижная часть камеры состоит из двух цилиндров с размещенными в них механизмами захвата колбы прибора и крышки съемной вакуумной камеры и снабжена отверстиями для подачи и выпуска инертного газа, расположенными на торце неподвижной части камеры и цилиндре с механизмом захвата колбы прибора, а также тем, что подвижная - и Меподвийная части камеры соединены между собой при помощи ползуна.

На фиг. 1 изображено устройство для сборки ФЭП, вертикальный разрез; на фиг. 2 — съемная вакуумная камера, вертикальный разрез; на фиг. 3 — устройство в сборе со съемной вакуумной камерой; на фиг. 4 — устройство в положении, при котором подвижная часть камеры перемещена- в крайнее правое положение; на фиг. 5— устройство в положении, при котором подвижная часть камеры перемещена в крайнее левое положение.

Устройство для сборки ФЭП состоит из стационарной камеры, к которой присоединяется съемная вакуумная камера.

Стационарная камера состоит из подвижной верхней части 1 и неподвижной нижней части 2. Подвижная часть 1 камеры состоит из ползуна 3, на котором внутри полого цилиндра смонтирован захватывающий механизм 4 с цанговым патроном, предназначенным для зажима баллона и снятия его с уплотнительного гнезда напылительной установки. На этом же ползуне 3 внутри другого полого цилиндра смонтирован другой механизм, состоящий из торцового ключа 5 с винтовыми зажимом 6 и предназначенный для снятия и установки с съемной вакуумной камеры ее верхнего уплотняющего устройства.

Пробка 7, вставленная в коническое отверстие на верхней части полого цилиндра, предназначена для изменения направления потока инертного газа внутри камеры в зависимости от проведения технологического процесса сборки прибора. Захватывающий механизм 4 состоит из подпружиненного штока 8, соединенного с цанговым патроном, рукоятки 9, предназначенной для разжима и зажима цанги, и рукоятки 10, предназначенной для поворота вокруг оси и ручного перемещения вверх или вниз штока 8. Для фиксации штока в его верхнем положении служит винт 11. Неподвижная нижняя часть

2 камеры состоит также из полого цилиндра 12 и прямоугольной камеры 13, прикрепленной к полому цилиндру сверху. На торцовой части прямоугольной камеры 13 шарнирно на оси 14 прикреплена стенка 15 с держателем 16, предназначенным для установки в него дополнительной вакуумной камеры. Как на полом цилиндре подвижной части камеры 1, так и на стенке 15 предусмотрено коническое отверстие, в которое вставлена такая же пробка. На нижней части 2 полого цилиндра 12 установлен съемный пробковый кран 17, предназначенный для подачи инертного газа в камеру. Для обеспечения центрирования баллона ФЭП с камерой, когда балло вставлен в уплотнительное гнездо, на нижней части 2 полого цилиндра 12 в основании 18 предусмотрена центрирующая втулка 19, К основанию 18 прикреплены ножки 20 для удобства установки устройства на рабочий стол.

Съемная вакуумная камера состоит из стеклянного цилиндра 21, с которым вакуумплотно соединен металлический цилиндр 22.

К стеклянному цилиндру 21 присоединено съемное уплотнительное устройство 23 с гнездом 24 для установки в него ЭОС 25.

Герметизация уплотнительного устройства 23 с цилиндром 21 вакуумной камеры осуществляется уплотнительным кольцом 26 с помощью завинчивания на резьбовую часть корпуса уплотннтельного устройства накидной гайки 27. В уплотнительном устройстве 23 в его гнезде 24 предусмотрена подпружиненная пробка с дном и резьбовая пробка 28, обеспечивающая открытие

661638 и закрытие вакуумной камеры, заполненной инертным газом, и имеющая отверстие для откачии и коническое отверстие для установки в него съемного пробкового крана 17.

Вакуумная камера сверху уплотняется другим съемным уплотнительным устройством, которое состоит из колпачка 29 с, винтом 30, вставленным в цилиндр 31. Между колпачком 29 и цилиндром установлена резиновая уплотнительная прокладка 32, зажимаемая с помощью гайки 33. На этой гайке для торцового ключа 5 предусмотрен шлиц 34.

Устройство для сборки ФЭП работает следующим образом, Устройство центрирую щей втулкой 19 устанавливают на баллон прибора, который уплотнен с откачным гнездом напылительной установки. Баллон ФЭП захватывают механизмом 4. Перед установкой ЭОС 25 в гнездо 24 съемной вакуумной камеры на штангель ЭОС 25 надевают 2О колпачок 35 из фторопласта, оставляя зазор между торцами штенгеля и колпачком 35

От вакуумной камеры отделяют уплотнительное устройство 23. Благодаря отвинчиванию резьбовой пробки 28 ее переводят в крайнее нижнее положение, а в гнездо 24 устанавливают ножкой ЭОС 25 с надетым на ее штенгель колпачком 35. Уплотнительное устройство 23 со вставленной ЭОС 25 насаживают на цилиндр 21 вакуумной камеры, и завинчиванием накидной гайки 27 обеспечивают герметизацию вакуумной камеры.

Съемную вакуумную камеру устанавливают на уплотнительное гнездо откачного поста для вакуумной обработки ЭОС 25.

После вакуумной обработки ЭОС 25 внутрь вакуумной камеры пускают инертный газ, з5 освобождают ее от уплотняюшего зажима и извлекают камеру из уплотнительного гнезда откачного поста, придерживая все время в вертикальном положении с целью устранения утечки инертного газа из внутреннего объема вакуумной камеры. Придержи40 вая все время камеру в вертикальном положении, устраняют зазор между штенгелем ножки ЭОС 25 и дном колпачка 35 путем завинчивания резьбовой пробки 28. Затем вставляют съемную вакуумную камеру в держатель 16, и фиксируют положение камеры зажимным винтом, предусмотренном на держателе 16. Во внутреннюю полость баллона ФЭП, находящегося в откачном гнезде напылительной установки с изготовленной мишенью, пускают инертный газ и О освобождают баллон от зажима. Убирают пробку 7 из конического отверстия, и через пробковый кран 17 пускают инертный газ.

Перемешением штока 8 с помощью рукоятки

9 вверх извлекают баллон ФЭП из уплотнительного гнезда в потоке инертного газа.

Перемешают баллон в верхнее крайнее положение, затыкают пробку 7, открывают боковую пробку на стенке 15, и поток инертного газа направляют в правую сторону, С помошью ключа 5 освобождают от зажима уплотнительное устройство на верхней части съемной вакуумной камеры, с помощью зажима б прикрепляюг уплотнительное устройство к ключу 5, и затем в потоке инертного газа переводят его в верхнее крайнее положение. Подвижную верхнюю часть

1 стационарной камеры с закрепленным на нем баллоном ФЭП, находящемся в верхнем положении, переводят в правую сторону до упора (фиг. 4), и совмещают ее с осью съемной вакуумной камеры. Перемешением штока 8 вниз баллон ФЭП насаживают на ЭОС 25, устанавливают необходимый зазор между нижней частью гнезда 24 и резьбовой пробкой 28, и затыкают боковую пробку на стенке 15, т. е. поток инертного газа направляют внутрь съемной вакуумной камеры с выходом газа через нижнюю часть камеры.

Верхнее уплотняющее устройство, прикрепленное винтом б к ключу 5, вставляют в съемную вакуумную камеру, и этим же ключом путем завинчивания гайки 33 обеспечивают герметизацию верхней части камеры (фиг. 5).

Путем завинчивания резьбовой пробки

28 на съемной вакуумной камере устраняют зазор между пробкой и гнездом 24. Съемную вакуумную камеру, заполненную инертным газом с насаженным на ЭОС баллоном, снимают с держателя 16 и переносят на участок заварки.

Использование предлагаемого устройства для сборки ФЭП, например видиконов, с оксино †свинцов мишенью в сравнении с известными устройствами может значительно повысить выход годных изделий.

Формула изобретения

1. Устройство для сборки фотоэлектрических приборов типа видиконов, включаюшее стационарную камеру с отверстиями для подачи и выпуска инертного газа, отличаюи1ееся тем, что, с целью уменьшения габаритных размеров и исключения попадания в прибор воздуха путем изменения потока инертного газа внутри устройства, в него введена съемная вакуумная камера с гнездом для установки электронно †оптическ системы прибора и с отверстием для подачи и выпуска инертного газа, а стационарная камера выполнена из двух частей— подвижной и неподвижной, причем подвижная часть камеры состоит из двух цилиндров с размешеннь1ми в них механизмами захвата колбы прибора и крышки съемной вакуумной камеры и снабжена отверстиями для подачй и выпуска инертного газа. расположенными на торце неподвижной час661638

Риг. / ти камеры и цилиндре с механизмом захвата колбы прибора.

2, Устройство по п. 1, отличающееся тем, что подвижная и неподвижная части . камеры соединены между собой при помощи ползуна.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 192089, кл. В 25 J 21/02, 1967.

2. Отчет по теме «Кубрик — 1» г. Ленинград, 1973, с. 55 — 59.

661638

Составитель А. Сенчихнн

Редактор В. Фельдман Техред О. Луговая Корректор Е. Лукач

Заказ 2490/56 Тираж 922 .:. -: " Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская иаб., д. 4/Б

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4