Способ изготовления многокамерного электроннооптического преобразователя

 

о п и Йчт -те-е

Союз Советских

Социалистических

Реслублик ()l) 669427

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 02.01.78 (21) 2562931/18-25 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) M. Кл.

Н 01 J 9/42

Государственный комитет

СССР оо делам нзооретеннй н открытий (53) УДК 621.383..292 (088.8) Опубликовано 25.06.79. Бюллетень % 23

Дата опубликования описания 03.07.79 (72) Авторы изобретения

А. Г. Берковский, Ю. И. Губанов и С. И. Г(авлов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОКАМЕРНОГО

ЭЛЕКТРОННООПТИЧЕСКОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ

Изобретение относится к электронной технике, в частности к способам изготовления электроннооптических преобразователей (ЭОП) и усилителей яркости изображения.

Способы изготовления многокамерных

ЭОП делятся в основном на две категории: в одном варианте каждую камеру ЭОП обрабатывают в отдельности, в другом — осуществляют одновременную обработку двух камер, а потом-следующих пар камер, если количество камер превышает две.

Известен способ изготовления многокамерного ЭОП, в котором каждая камера оорабатывается в отдельности (1).

Поочередная обработка камер ЭОП существенно увеличивает время технологического процесса, кроме того, уменьшается вероятность получения высокочувствительного фотокатода. Это обусловлено тем, что по ряду причин обработку камер производят в одном рабочем объеме и изоляция камер друг от друга практически не применяется, в результате при обработке фотокатода в следующей камере избытки щелочных металлов попадают в ранее обработанную камеру и ухудшают чувствительность фотокатода.

Известен также другой способ изготовления многокамерного электроннооптического преобразователя, содержащий обезгаживание прибора на откачном пост, одновременную ооработку фотокатодов двуx соседних камер, отпайку прибора с откачного I)оста и поворот промежуточного фотокатода на 180 (2).

Последовательность операций способа при обработке двух камер одновременно следующая: в исходном состоянии обе подложки для фотокатода находятся в одной камере (для чего подвижный узел повернут подложкой в сторону первой камеры, в другом торце которой расположена вторая подложка); прибор напапвают на откачной пост и производят обезгаживание; обрабатывают фотокатод, отпаивают прибор с откачного поста. Далее поворачивают его на 180, при этом поворотный узел также поворачивается на 180 и фиксируется в этом положении.

Недостатком этого способа изготовления многокамерного ЭОП является относительно малый коэффициент преобразования и большая величина шума.

669417 з

Указанные перераспределения в объеме на внутренней стороне колбы и электродах прибора и определяют уменьшение шума и повышение рабочего напряжения, а следовательно, и коэффициенты преобразования

<о прибора.

Результаты испытаний четырехкамерных усилителей яркости изображения показали, что высоковольтная тренировка на откачном посту позволяет примерно на 20—

30о о повысить рабочее напряжение по сравнению с аналогичными приборами, обработанными по известной технологии. Это соответственно обеспечивает увеличение коэффициента преобразования четырехкамерного ЭОП более чем в 10 раз.

Кроме того, высоковольтная тренировка на откачном посту уменьшает на 15 — 20оjp количество приборов, имеющих шумы на люминесцентных экранах ЭОП. формула изобретения

Сос гавитель В. Ь локонь

Редактор М. Рогова Техред О. Луговая Корректор Е. Папп

Заказ 3670 44 Тираж 022 Подписное!

1НИ И ПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

I I 3035, Москва. Ж вЂ” 35, Раугиская наб., д. 4 5

Филиал ППП «Патент»,. о Ужгород, ул. Проектная, 4

Целью изобретения является увеличение коэффициента преобразования и уменьшение шума.

Это достигается тем, что поворот промежуточного фотокатода производят после обработки фотокатодов, затем осуществляют тренировку прибора высоковольтным напряжением при непрерывной откачке, после чего прибор отпаивают с откачного поста.

Предлагаемый способ изготовления приоора обеспечивает необходимые условия его тренировки в рабочем состоянии при непрерывной откачке на откачном посту. Переворот промежуточного узла (фотокатода-люминесцентного экрана) на откачном посту можно произвести различными путями: при обработке фотокатода удерживают его подложку в нерабочем состоянии с помощью пружины, которая находится в напряженном состоянии, например. удерживается проволочкой, которую затем пережигают.

Пружина раскручивается и IIepeeopa«IIвает подложку на 180, плотно прижимая ее к специальному фиксатору. Или перевoрот подложки с фотокатодом можно осу— гцествить путем перемещения ее с помощьк) магнита и последующей фиксации. Когда фотокатод установлен в рабочее состояние, 25 производят тренировку прибора высоковольтным напряжением при непрерывной откачке. Тренировку проводят повышенным, пнг> сравнению с рабочим, напряжением питания, так как в этом случае вероятность стабильной работы прибора при рабочем напряже- зб нии повышается. Многокамерные электроннооптические преобразователи дон ускакуг запас прочности IIo напряженик) 1,2-,3+g. Дальнейшее увеличение может привес ти к высоковольтному пробою межэлектродных промежутков и вызвать, например, прожиг люминесцентного экрана, существенное снижение чувствительности фотокатоца и т. д.

В результате тренировки II3 откачцом посту избыточные н1елочныс металлы, возможные остаточные загрязнения, окислы и газы, нахо. ящиеся в обьеме на внутренней стороне колбы либо на электродах прибора, начинают интенсивно перемещаться. Частично они Осаждаются на х )астки приоора, которые не определяют его электрическую прочность, т. е. на которые не подается напряжение во время тренировки. Большая часть перемещающихся частиц и газов откачивается за пределы объема прибора.

Гпособ изготовления многокамерного элсктроннооптического преобразователя, содержащий обезгаживание прибора на откачном посту, одновременную обработку фотокатотов двух соседних камер, отпайку прибора с откачного поста и поворот промежуточного фотокатода на 180, отличающееся тем, что, с целью увеличения коэффициента преобразования и уменьшения шума, IloBoрот промежуточного фотокатода производят после обработки фотокатодов, затем осуществляют тренировку прибора высоковольтным напряжением при непрерывной откачке, IIocле чего прибор отпаивают с откачного поста.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

I. Берковский А. Г. и др. Вакуумныс фотоэлектронные приборы М., Энергия, 1976, с. 300- 301.

2. Патент CLLIA ЛЪ 303! 580, кл. 250- 21 3, опубл. !962,