Камера для рентгеновской топографии

 

ОП ИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

< 69480) Сеее Севвтеик

Фецнааиетечееап

Рвееуеик (61) Дополнительное к авт. свнд-ву— (22) Заявлено 15.11.77 (21) 2543935/18-25 .с пртесоеди нением заявки №вЂ” (23) П риоритет— (43) Опубликовано 30.10,79. Бюллетснь ¹ 40 (45) Дата опубликования описания 30.10.79 (51) М Кч б 01N 23 20

Мееударетееввй кеиитет

ЮЦСР ае дмам изобретений в етерыткй (53) УДК 621.386 (088.8) Н. И. Мамалыга и H. К. Сорокина (72) Авторы изобретеяи я (7.1) Заявитель (54) КАМЕРА ДЛЯ РЕНТГЕНОВСКОЙ

ТОПОГРАФИИ

Изобретение относится к области мвкро;рентгеновской дифракционной тоаогпафии и может быть ислользовано в рентгеновских лабораториях для исследования,структуры реальных кристаллов, в том числе монокристаллов лолупроводников.

Известна рентгеновская камера обратной съемщики чипа КРОС,,в которой фотокассета смонтирована параллельно поверхности образца и может совершать с ним совместно вращение вокруг оси, параллельной пучку рентгеновских .лучей (1).

Известна также рентгенотопографическая камера, IB которой .поBGpxiHocTb образца располагается параллельно или под небольшим углом,к плоакости фотокас сеты, причем последняя, может совершать вместе с образцом поворот вокруг гониометрической оси и сканирование от носительно оси пучка рентгеновских лучей (2).

Ближайшим техническим решением является камера для рентгеновской топог рафии, содержащая колли матор, кри1сталлодержатель, держатель фотокассеты, щелевое и сканирующее устройство (3).

Недостаток прототипа состоит в том, что при исследовании .монокристалличеоких объектов, поверхность которых имеет отклонение в пределах нескольких градусов от простых кристаллографических плоскостсй, резко ухудшается . разрешающая способность метода и качество получаемых то погр ам м.

Цель изобретения состоит в повышении разрешающей способности съемки.

Для решения поставленной задачи в камере для рентгеновской топопрафии, содержащей колли матор, крнсталлодержатель, держатель фотокассеты, щелевое и скани10 рующее устройства, держатель фото кассе ты смонтирован с возможностью совместного наклона и поступательного движения с кристаллодержателем, а щелевое устрой ство снабжено механизмом на клона, сохра1; няющим параллельность щелей плоскости кристаллодержателя.

На чертеже показа|и узел предлагаемой камеры, обеспечивающий ориентирование изучаемого монокристалла .и регистрацию 0 рентгенотопографического изображения.

Этот узел монтируется на поворотном столе 1 гониометра и состоит из к ро нштейна 2, несущего щелевое устройство, которое смонтировано с возможностью поворота во5 круг оси 3 и образовано препаратоводителем 4 с направляющей 5 и сачаз ками 6, подвижной створ кой 7.и неподвиж ной относительно салазок препаратоводителя створкой 8. Регулируемый зазор между створ ка30 ми служит щелью для .прохождения дифрагиро ванного кристаллом рентгеновского луча. Стойка 9 кристаллодержателя 10 жестко закреплена на каретке 11 механизма аканирова ния.

На цристаллодержатсле 10 смонтирован дер жатсль 12 фотокасссты 13, который может перемещаться относительно кристалла по на правляющ им 14, с целью установки требуемого расстояния между фотока;сетой и образцом. Крнсталлодер>катсль 10 вместе с фотокассстой 13 и ее держателем 12 может наклонятыся, поворачиваясь вокруг оси 15.

П редлагаемая камера работает слсдующи,м образом.

В кристаллодер>катсль устанавливается образец. Стол 1 гониометра вместе с зацреплсннымн на нем узлами, т. е. вместе с образцом, кассетой, щелями и сканирующим устрой ством по ворачиваспся относительно первичного рентгеновского луча вокруг оси Л-А (т. с. в брегго веком на правлении) нс теоретичееки рассчитанной угол брегговского отражения, а счетчик 16 поворачивается вокруг оси Л-Л на двсйной угол брегговского отражения. Поочередно вращая образец вокруг оси Б-Б наклоняя его на угол,разориентаци и вокруг оси В-В| и,корректируя .положение стола гонпометра относительно рентгеновского луча, находят по счетчи ку положение образца, соответствуюгцсе м аксим альному брегговско му отр аженчю.

Во,время ориентации образца створки щели .раздвинуты полностью. После ориентирования образца, к нему пододвигают щель на минимальное расстояние и наклоняют на угол наклона образца. В держатель 12 уста па вливают фотокассету с пленкой и пододвигают ее возможно бли>ке к щели. При сканировании образца с ленкой щель остается непсдви жной, OIlcGlKBH прямопрошедший и про пуская диф рагироваяный луч, формирующий рентгено1опографическое изображение.

При исследовании неточно вырезанных

694801

4 образцов при о риентировании возникает необходимость их,наклона на сравнительно большие углы, вследствие чего створки щели и фотс кассета не могут быть пряближены к поверхности кристалла, если использовать камеру прототип, но ничто не препятствует этому ia предлагаемой камере.

Благодаря вышерассмотренному выполнению камера позволяет,производить ис:О следование и контроль несовершенств в мопокристаллах и монокристалличеаких и зделиях без ухудшения разрешающей способности рентгенотопографичеакого метода вследствие неточного кристаллографическо15 го положения поверхности изучаемых пластин.

Формула пзобретсния

20 Камера для рентгеновокой чопографии, содержащая,коллиматор, плоский кристаллодержатель, держатель фотакасссты, щелевос н сканирующее устройства, о т л и ч аю щ а я с я тем, что, с целью повышения

"5. разрешающей способности съемки, держа тель фотокассеты смонтирован с возможностью совместного наклона и поступательного дви>ксния с кристаллодер>кателем. а щелевое устройство снабжено механизмом

ЗЗ на клона, сохраняющим параллельность щслей плоскости кристаллодержателя.

Источнкки информации, принятые во .внимание п ри экспертизе

1. Горельник С.,С,, Расторгуев Л. Н. и зз Скачко в Ю. А, Ренттснографический и электроногра!фичеекий анализ металлов. М., «Металлургия», 1963, с. 36.

2, Llàáá Ц. У. Рентгеновская дифракционная топография. о Сб. «Прямое наблюдение несовершенств в кристаллах». М., Металлургия», 1964, с. 7.3.

3. Миуоков В. Ф. Камера для рентгенографирован ия дислокаций,в объеме боль45 ших,иристаллов. Кри сталлопрафия, 1963, 8, № 2, стр. 255 — 258 (прототип).

694801

1 ! ! — — + ! !

76

I ! у/

li

Составитель E. Сидохин

Текред Н. Строганова Корректор Т. Добровольская Редактор Н. Коляда

Заказ 7508 Изд № 512 Тираж 1090 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открь!тпй!

113035, Москва Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Загорская типография Упрполиграфиздата Мособлисполкома