Вакуумная установка

 

1ц724793

ОП ИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Своа Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 21.02.78 (21) 2584580/25-06 (51) М. Кл а

F 04В 37/08 с присоединением заявки №

Государственный комитет (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.03.80. Бюллетень № 12 (45) Дата опубликования описания 30.03.80 (53) УДК 621.527.8 (088.8) по делам изобретеиий и открытий (72) Авторы изобретения Э. В. Августинович, Л. А. Дембровский, Б. В. Егоров, В. В. Леонов и Н. В. Филин (71) Заявитель (54) ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА

Формула изобретения

Изобретение относится к вакуумной технике и касается вакуумных установок.

Известны вакуумные установки, содержащие корпус, расположенную в нем охлаждаемую камеру, на стенке которой закреплен змеевик крионасоса, и криосорбционный насос, выполненный в виде змеевика (1).

В известных установках криосорбционный насос размещен внутри камеры, что при сохранении полезного объема последней при- 10 водит к увеличению габаритов.

Цель изобретения — сохранение габаритов.

Указанная цель достигается тем, что змеевик криосорбционного насоса закреплен на 15 стенке камеры и его витки размещены между витками змеевика крионасоса.

На фиг. 1 изображена предлагаемая установка, продольный разрез; на фиг. 2 — разрез А — А на фиг. 1; на фиг. 3 — узел Б íà 20 фиг. 1 в увеличенном масштабе.

Вакуумная установка содержит корпус 1, расположенную в нем охлаждаемую камеру 2, на стенке которой закреплен змеевик

3 крионасоса, и криосорбционный насос, вы-. 25 полненный в виде змеевика 4. Змеевик 4 криосорбционного насоса закреплен на стенке камеры и его витки размещены, между витками змеевика 3 крионасоса. Змеевик 3 выполнен в виде двух полуторовых оболочек 5 и 6, которые сообщены с коллекторами 7 и 8 трубопроводами 9 и между собой— отверстиями 10. Змеевик 4 снабжен теплозащитным экраном 11 и сообщен с коллекторами 12 и 13 трубопроводами 14. Между экраном 11 и стенкой камеры 2 размещен адсорбент 15.

Размещение витков змеевика 4 криосорбционного насоса между витками змеевика 3 крионасоса позволяет сократить габариты установки.

Вакуумная установка, содержащая корпус, расположенную в нем охлаждаемую камеру, на стенке которой закреплен змеевик крионасоса, и криосорбционный насос, выполненный в виде змеевика, отличающая с я тем, что, с целью сокращения габаритов, змеевик криосорбционного насоса закреплен на стенке камеры и его витки размещены между витками змеевика крионасоса.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 391286, кл. F 04В 37/08, 1971 (прототип), 724793

Риг У гРыг 2

Редактор Г. Прусова

Заказ 355/11 Изд. № 205 Тираж 729 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4j5

Типография, пр. Сапунова, 2

Составитель В. Лазуткин

Техред А. Камышникова

Корректоры: А. Галахова и Р. Беркович