Устройство для очистки и сушки подложек
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
В 08 В 3/02 Гасударственный комитет (23) Приоритет Опубликоваио07.08.80. Бюллетень № 29 Дата опубли ковани я описания 10.08. 80 йо пенам изобретений и открытий (53) УДК 621..024.06 . (088. 8) (72) Автор: изобретения С. П. Олеськив (7I) заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОЧИСТКИ И СУШКИ ПОДЛОЖН< Изобретение относится к технологии очистки поверхностей от загрязнений и их сушки от влаги перед вакуумным нанесением тонкопленочных покрытий. Известно устройство для очистки, выполненное в виде перфорированной трубча5 той головки, имеющей форму симметрично расположенных контуров, соед,иненных в средней части Ч -образным коленом, штуцер для подвода моющего агента и держа10 тели El) Недостатком известного устройства является невозможность сушки подложек после проведения вакуумной обработки перед нанесением на поверхность подложек тонкопле-» ночных покрытий. 11ель изобретения — обеспечение равномерного нагрева контуров электрическим током путем подачи напряжения на держа20 тели Гоковводы, Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для очистки и сушки подложек, выполненном в виде перфорированной трубчатой головки, имеющей,форму симметрично расположенных контуров, соединенных в средней части V -с>бразггым коленом, штуцер для подвода моющего агента и держатели, контуры жестко соединены между собой с образованием параллельной электрической цепи и выполнены из электропроводного матер нала. На чертеже изображено устройство для очистки и сушки подложек. Устройство состоит из перфорированной трубчатой головки, выполненной из электропроводного материала и имеющей форму симметрично расположенных контуров 1, соединенных в средней части V -образным коленом 2. На 1/30 высоты V -образного колена а жестко укреплен штуцер 3 для подвода моющего агента. Для крепления устройства к передвижной каретке выполнены держатели 4 в виде колодок, охватьеваюших торцы трубок V -образного колена с проушинами 5, Крепление держателей 4 к трубчатой головке осуществляется винта ми 6. 3 753 Для распыления воды или пара в V -образном колене 2 и двух контурах 1 просверлены отверстия 7. Работает устройство следующим образом. С помощью держателей 4 устройство крепигся к токовым штырям подвижной zaрстки камеры (на чертеже не показано). К штуцеру 3 присоединяется шланг для подвода воды или водяного пара noä давлением 2-4 атм. 1О Под действием каретки, перемещаемой алектромеханическим приводом, устройство со верша ег возвратно — поступательное движение вдоль фронта подложек, установленных в контейнере. Вода или пар под давлением распыляются через перфори- рованные трубки головки, интенсивно промывая запыленные очищающим веществом поверхности подложек и контейнера. Вследствие того, что контуры 1 укреплены на 20 1/30 высоты V -образног.о колена 2 устройство при перемещении не задевает за контейнер По окончании очистки перекрывается подача моющего агента, выключается алектромеханический привод 25 перемещения каретки, отсоединяется шланг со штуцера 3. Для сушки контейнера с подложками подастся напряжение на держатели 4. Под действием карегки нагрегое устройство совершает возвратно-поступательное движение вдоль контейнера с подложками и прогревает его до температуры испарения водяной влаги. 498 ф Ta K Ka K KoHT hI 1 жестко связаны между собой с образованием параллельной электрической цепи, то обеспечивается равномерный нагрев юнтуров алектрическим током. По окончании сушки выключают подачу напряжения на устройство и электромеханический привод перемещения каретки. Осушенные подложки готовы к запылению тонкопленочным окрыгием. Изобретение позволяет значигельно улучшить качество обрабатываемых поверхностей подложек и механизировать процесс их очистки и сушки. Формула изобретения Устройство для очистки и сушки подложек, выполненное в виде перфорированной трубчатой головки, имеющей форму симметрично расположенных контуров, соединенных в средней части Ч -образным коленом, штуцер для подвода моющего агента и держатели,отличающееся тем,что,с целью равномерного нагрева контуров электрическим током путем подачи напряжения на держатели — токовводы, контуры жесгко соединены между собой с образованием параллельной электрической цепи и выполнены из электропроводного материала. Источники информации, принятые во внимание при акспертизе 1. Авторское свидетельство СССР hh 3BO371, кл. В OS В 3/02, 1971. ЦНИИПИ Заказ 4803/6 Тираж 636 Подписное филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4
